GRM41 Sistema de bomba de vacío seco 600 L/min KF40 PMSM Dispositivo de eficiencia energética para revestimiento de vacío de semiconductores

Características Principales

• Unidad de Accionamiento de Bajo Consumo Energético PMSM: La tecnología de motor síncrono de imanes permanentes ofrece una eficiencia energética superior con un consumo de 0,75 kW, reduciendo los costes operativos y manteniendo un alto rendimiento.
• Operación Seca sin Aceite: Sin riesgo de contaminación por aceite en las cámaras de proceso, garantizando condiciones de vacío ultralimpias esenciales para la fabricación de semiconductores y fotovoltaica.
• Alto Rendimiento de Vacío: Alcanza una presión final de ≤1 Pa (balasto de gas cerrado) y ≤10 Pa (balasto de gas abierto), adecuado para aplicaciones de alto vacío exigentes.
• Sistema Integrado de Balasto de Gas: La válvula de balasto de gas incorporada con conexión PT1/4 maneja vapor de agua hasta 350 g/h, evitando la condensación y prolongando la vida útil de la bomba.
• Monitorización Remota RS485: La interfaz de control inteligente admite operación remota, monitorización de parámetros y capacidades de diagnóstico para la integración en la Industria 4.0.
• Diseño Compacto y Ligero: Dimensiones de 630*347*400 mm y un peso de solo 54 kg permiten una fácil instalación en entornos de sala limpia con espacio limitado.
• Operación de Bajo Ruido: Nivel de ruido ≤65 dB con silenciador y válvula antirretorno integrados, garantizando entornos de trabajo cómodos.
• Construcción Robusta: Carcasa de aleación de aluminio y hierro fundido con sellos de fluoroelastómero (FKM) garantizan fiabilidad a largo plazo y compatibilidad química.
• Interfaces Estándar KF: Conexiones de entrada KF40 y salida KF25 para un montaje rápido y sin herramientas con componentes de vacío estándar.