La GRM601 es una bomba de vacío seca de 600 m3/h que ofrece un bajo consumo de energía y una alta velocidad de bombeo.y procesos de semiconductores SIC-CVD.
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de bombeo | 600 m3/h |
| La mayor presión | ≤ 0,15 Pa |
| Potencia nominal | 1.9 + 1,9 kW |
| Válvula de tensión | 380 V de tres fases |
| Presión del agua de enfriamiento | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de agua de refrigeración | ≥ 4 L/min |
| Temperatura del agua de enfriamiento | 5-30 °C |
| Conexión de agua de refrigeración | G3/8 |
| Presión de depuración de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de depuración de N2 | Entre 12 y 50 l/min |
| Conexión de purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de entrada | Se trata de una norma ISO100 |
| Conexión de salida | KF25 |
| Nivel de ruido | Se aplican las siguientes medidas: |
| Medio ambiente de funcionamiento | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% de HRC |
| Peso | 260 kg de peso |
| Dimensiones (L*W*H) | 865*344*751 mm |
Las condiciones de los productos de este tipo son las siguientes:
Proceso de PVD, Preliminación de PVD, RTA, tira / ceniza, grabado de óxido, grabado de silicio, fuente de implantes, grabado de metal
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.