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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM601 600 M³/H Dry Vacuum Pump ISO100 KF25

GRM601 600 M3/H Bomba de vacío seca ISO100 KF25

  • Resaltar

    Bomba de vacío seca de entrada ISO100

    ,

    Bomba de vacío en seco de 600 m3/h

    ,

    KF25 Bomba de vacío seca de salida

  • Tipo de bomba
    bomba de vacío en seco
  • Velocidad de bombeo
    ³ /h de 600 m
  • Presión máxima
    ≤0,15 Pa
  • Tipo de motor
    Motor síncrono de imanes permanentes (PMSM)
  • Potencia nominal
    1,9+1,9 kilovatios
  • Voltaje
    380V trifásico
  • Temperatura del agua de enfriamiento
    5-30 ° C
  • Flujo de agua de refrigeración
    ≥4 L/min
  • Flujo de purga de N2
    12-50 L/min
  • Conexión de entrada
    ISO100
  • Conexión de salida
    KF25
  • Nivel de ruido
    ≤63dB(A)
  • Peso
    260 kg
  • Dimensiones (L × W × H)
    865×344×751 milímetros
  • Interfaz de control
    E/S y RS485 (Protocolo Modbus)
  • Sistema de sellado
    Sello de labio + Sello de laberinto con purga de N2
  • Compatibilidad de gases
    Gases de proceso inflamables, explosivos y condensables
  • Lugar de origen
    Porcelana
  • Nombre de la marca
    GRM
  • Certificación
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Número de modelo
    GRM601
  • Cantidad de orden mínima
    1 juego
  • Precio
    USD 8,000-13,000 / Set
  • Detalles de empaquetado
    Caja de madera contrachapada de exportación con barrera contra la humedad sellada al vacío e inserto
  • Tiempo de entrega
    15-30 días laborables
  • Condiciones de pago
    T/T, carta de crédito, Western Union
  • Capacidad de la fuente
    300 juegos por mes

GRM601 600 M3/H Bomba de vacío seca ISO100 KF25

GRM601 Bomba de vacío seca

La GRM601 es una bomba de vacío seca de 600 m3/h que ofrece un bajo consumo de energía y una alta velocidad de bombeo.y procesos de semiconductores SIC-CVD.

Características clave

  • El motor síncrono con imán permanente ofrece una eficiencia energética superior con un bajo consumo de energía líder en la industria.
  • Estructura avanzada del rotor  Una capacidad mejorada de extracción de polvo garantiza un funcionamiento confiable en entornos de proceso con gran cantidad de partículas.
  • Tolerancia al polvo y al vapor de agua¢ Insensible al polvo y al vapor de agua que entra en el flujo de gas bombeado.
  • Diseño compacto e integrado¢ Pequeña huella con una alta integración del sistema para una instalación fácil en entornos de fábricas llenos de gente.
  • Protección integral- Funciones de protección integradas con una gran capacidad de adaptación a diferentes condiciones de proceso.
  • Baja vibración y ruido¢ Funciona a ≤ 63 dB (A) a presión máxima para un lugar de trabajo más silencioso.
  • Sistema de sellado avanzadoEl sello labial y el sello del laberinto combinados con la purga de nitrógeno impiden eficazmente el reflujo del aceite, manteniendo una alta limpieza del vacío en la cámara de proceso.
  • Control y seguimiento a distanciaApoya la interfaz de E/S y la comunicación RS485 (protocolo Modbus) para una integración perfecta en los sistemas de automatización de fábrica.
  • Compatibilidad con los gases peligrosos¢ Funcionamiento seguro con gases inflamables, explosivos y condensables.

Especificaciones técnicas

Parámetro Especificación
Velocidad de bombeo 600 m3/h
La mayor presión ≤ 0,15 Pa
Potencia nominal 1.9 + 1,9 kW
Válvula de tensión 380 V de tres fases
Presión del agua de enfriamiento 0.2-0.6 MPa
Flujo de agua de refrigeración ≥ 4 L/min
Temperatura del agua de enfriamiento 5-30 °C
Conexión de agua de refrigeración G3/8
Presión de depuración de N2 0.2-0.6 MPa
Flujo de depuración de N2 Entre 12 y 50 l/min
Conexión de purga de N2 G1/4
Conexión de entrada Se trata de una norma ISO100
Conexión de salida KF25
Nivel de ruido Se aplican las siguientes medidas:
Medio ambiente de funcionamiento 5 ~ 40 °C; ≤ 80% de HRC
Peso 260 kg de peso
Dimensiones (L*W*H) 865*344*751 mm

Procesos de solicitud

Procesos limpios

Las condiciones de los productos de este tipo son las siguientes:

Procesos medianos

Proceso de PVD, Preliminación de PVD, RTA, tira / ceniza, grabado de óxido, grabado de silicio, fuente de implantes, grabado de metal

Procesos difíciles

El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.

Industria objetivo

  • Las demás:El proceso de grabación, implantación iónica, CVD, PECVD, MOCVD y SIC-CVD se aplican en procesos limpios/medianos/duros.
  • Las instalaciones fotovoltaicas:Hornos de crecimiento de cristales, procesos de fabricación de células.
  • Batería de litio:Procesos de secado al vacío de las células, llenado de electrolitos y desgasificación.
  • Display de panel plano y LED:Procesos de fabricación que requieren ambientes de vacío de alta limpieza.