Bomba de vacío tipo seco GRH3001 3000 M³/H con motor síncrono de imanes permanentes
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Resaltar
Bomba de vacío seca con motor de imanes permanentes
,Bomba de vacío seca de 3000 m³/h
,Bomba de vacío seca para semiconductores fotovoltaicos
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Tipo de bombabomba de vacío en seco
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Velocidad de bombeo³ /h de 3000 m
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Presión máxima≤0,5Pa
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Tipo de motorMotor síncrono de imanes permanentes (PMSM)
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Potencia nominal11+7,5 kilovatios
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Voltaje380V trifásico
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Temperatura del agua de enfriamiento5-30 ° C
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Flujo de agua de refrigeración≥11 L/min
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Flujo de purga de N243-123 L/min
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Conexión de entradaISO160
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Conexión de salidaKF40
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Nivel de ruido≤ 70 dB (A)
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Peso770 kg
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Dimensiones (L × W × H)922×516×988 milímetros
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Interfaz de controlE/S y RS485 (Protocolo Modbus)
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Sistema de selladoSello de labio + Sello de laberinto con purga de N2
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Lugar de origenPorcelana
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Nombre de la marcaGRH
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CertificaciónISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Número de modeloGRH3001
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Cantidad de orden mínima1 juego
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PrecioUSD 18,000-25,000 / Set
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Detalles de empaquetadoCaja de madera contrachapada de exportación con barrera contra la humedad sellada al vacío e inserto
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Tiempo de entrega15-30 días laborables
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Condiciones de pagoT/T, carta de crédito, Western Union
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Capacidad de la fuente500 juegos por mes
Bomba de vacío tipo seco GRH3001 3000 M³/H con motor síncrono de imanes permanentes
GRH3001 Bomba de vacío seca
La GRH3001 es una bomba de vacío seco de 3000 m3/h construida para la fabricación de semiconductores y fotovoltaicos a mediana y gran escala.y bajo consumo de energía para un rendimiento fiable de gran volumen.
Características clave
- El motor síncrono de imán permanente ofrece una eficiencia energética superior y un menor consumo de energía en comparación con los motores de inducción convencionales.
- Estructura avanzada del rotor
- Tolerancia al polvo y al vapor de agua¢ Insensible al polvo y al vapor de agua que entra en el flujo de gas bombeado.
- Diseño compacto e integrado¢ Pequeña huella con una alta integración del sistema para una instalación fácil en entornos de fábricas llenos de gente.
- Protección integral- Funciones de protección integradas con una gran capacidad de adaptación a diferentes condiciones de proceso.
- Baja vibración y ruido¢ Funciona a ≤ 70 dB (A) a presión máxima para un lugar de trabajo más silencioso.
- Sistema de sellado avanzadoEl sello labial y el sello del laberinto combinados con la purga de nitrógeno impiden eficazmente el reflujo del aceite, garantizando una alta limpieza del vacío en la cámara de proceso.
- Control y seguimiento a distanciaApoya la interfaz de E/S y la comunicación RS485 (protocolo Modbus) para una integración perfecta en los sistemas de automatización de fábrica.
Especificaciones técnicas
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de bombeo | 3000 m3/h |
| La mayor presión | ≤ 0,5 Pa |
| Potencia nominal | 11+7,5 kW |
| Válvula de tensión | 380 V de tres fases |
| Presión del agua de enfriamiento | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de agua de refrigeración | ≥ 11 L/min |
| Temperatura del agua de enfriamiento | 5-30 °C |
| Conexión de agua de refrigeración | G3/8 |
| Presión de depuración de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de depuración de N2 | 43-123 L/min |
| Conexión de purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de entrada | Se trata de la norma ISO 160. |
| Conexión de salida | KF40 |
| Nivel de ruido | Se aplicarán las siguientes medidas: |
| Medio ambiente de funcionamiento | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% de HRC |
| Peso | 770 kg |
| Dimensiones (L*W*H) | 922*516*988 mm |
Procesos de solicitud
Procesos limpios
Las condiciones de los productos de este tipo son las siguientes:
Procesos medianos
Proceso de PVD, Preliminación de PVD, RTA, tira / ceniza, grabado de óxido, grabado de silicio, fuente de implantes, grabado de metal
Procesos difíciles
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.
Industria objetivo
- Las demás:El grabado, la implantación iónica, el CVD y otras aplicaciones de procesos limpios, medios y duros.
- Las instalaciones fotovoltaicas:Hornos de crecimiento de cristales, procesos de fabricación de células.
- Batería de litio:Procesos de secado al vacío de las células, llenado de electrolitos y desgasificación.
- Display de panel plano y LED:Procesos de fabricación que requieren ambientes de vacío de alta limpieza.
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