La GRM201 es una bomba de vacío seco de 200 m3/h que ofrece un bajo consumo de energía y una alta velocidad de bombeo.Se trata de un sistema de control., y procesos de semiconductores SIC-CVD con alta fiabilidad y bajos costos de mantenimiento.
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de bombeo | 200 m3/h |
| La mayor presión | ≤ 0,5 Pa |
| Potencia nominal | 1.9 kW |
| Válvula de tensión | 380 V de tres fases |
| Presión del agua de enfriamiento | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de agua de refrigeración | ≥ 3 L/min |
| Temperatura del agua de enfriamiento | 5-30 °C |
| Conexión de agua de refrigeración | G3/8 |
| Presión de depuración de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de depuración de N2 | Entre 12 y 50 l/min |
| Conexión de purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de entrada | Las normas ISO 63 |
| Conexión de salida | KF25 |
| Nivel de ruido | Se aplican las siguientes medidas: |
| Medio ambiente de funcionamiento | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% de HRC |
| Peso | 150 kg de peso |
| Dimensiones (L*W*H) | 741*344*466 mm |
Las condiciones de los productos de este tipo son las siguientes:
Proceso de PVD, Preliminación de PVD, RTA, tira / ceniza, grabado de óxido, grabado de silicio, fuente de implantes, grabado de metal
El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.