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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

GRM4201 Bomba de vacío seco 4200 M3/H PMSM libre de aceite Dispositivo ISO160 KF50 Para batería de litio HJT

  • Resaltar

    Bomba de vacío seca sin aceite

    ,

    4200 m3/h de bomba de vacío seca

    ,

    Bomba de vacío seca de batería de litio HJT

  • Tipo de bomba
    bomba de vacío en seco
  • Velocidad de bombeo
    4200 m³/h
  • Presión máxima
    ≤0,5Pa
  • Tipo de motor
    Motor síncrono de imanes permanentes (PMSM)
  • Potencia nominal
    13+10 kilovatios
  • Voltaje
    380V trifásico
  • Temperatura del agua de enfriamiento
    5-25 °C
  • Flujo de agua de refrigeración
    8-10 L/min
  • Flujo de purga de N2
    0-120 l/min
  • Conexión de entrada
    ISO160
  • Conexión de salida
    50 KF
  • Nivel de ruido
    ≤75 dB (a)
  • Peso
    269 KILOGRAMOS
  • Dimensiones (L × W × H)
    1695×600×1450 milímetros
  • Interfaz de control
    E/S y RS485 (Protocolo Modbus)
  • Sistema de sellado
    Sello de labio + Sello de laberinto con purga de N2
  • Diseño del rodamiento
    Soporte de rodamiento de doble extremo
  • Modo de control
    PLC inteligente con inicio/parada con un solo botón
  • Lugar de origen
    Porcelana
  • Nombre de la marca
    GRM
  • Certificación
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Número de modelo
    GRM4201
  • Cantidad de orden mínima
    1 juego
  • Precio
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Detalles de empaquetado
    Caja de madera contrachapada de exportación con barrera contra la humedad sellada al vacío e inserto
  • Tiempo de entrega
    25-40 días laborables
  • Condiciones de pago
    T/T, carta de crédito, Western Union
  • Capacidad de la fuente
    100 juegos por mes

GRM4201 Bomba de vacío seco 4200 M3/H PMSM libre de aceite Dispositivo ISO160 KF50 Para batería de litio HJT

Bomba de vacío en seco GRM4201

La GRM4201 es una bomba de vacío en seco de alta capacidad de 4200 m³/h que logra niveles de vacío excepcionales con un amplio rango de presión de trabajo y un manejo superior del polvo. Con soporte de rodamiento en ambos extremos, motor síncrono de imanes permanentes trifásico totalmente sellado y refrigerado por agua, y control inteligente PLC de un solo botón, es ideal para la fabricación de células HJT, la producción de baterías de litio y la evacuación rápida de esclusas de carga de semiconductores.

Características Principales

  • Motor síncrono de imanes permanentes trifásico totalmente sellado y refrigerado por agua con variador de frecuencia (VFD) que maximiza la entrega de par para procesos exigentes, eliminando el riesgo de fugas de aceite.
  • Diseño de rotor único fabricado en equipos avanzados con excelente precisión geométrica, completamente intercambiable para un bajo nivel de ruido y una vida útil prolongada.
  • Tolerante al polvo y al vapor de agua — Insensible al polvo y al vapor de agua arrastrados en la corriente de gas bombeado.
  • Diseño compacto e integrado — Huella pequeña con alta integración del sistema para una fácil instalación en entornos de fábrica abarrotados.
  • Protección integral — Funciones de protección integradas con gran capacidad de adaptación a las cambiantes condiciones del proceso.
  • Baja vibración y ruido — Opera a ≤75 dB(A) a presión final para un lugar de trabajo más silencioso.
  • Sistema de sellado avanzado — Sello de labios avanzado con barrera de aceite laberíntica proporciona un rendimiento de sellado superior y una vida útil prolongada. Combinado con purga de gas nitrógeno, evita la contaminación del depósito de aceite por medios de proceso, logrando un entorno de vacío completamente libre de aceite.
  • Control y monitorización remotos — Soporta interfaz de E/S y comunicación RS485 (protocolo Modbus) para una integración perfecta en sistemas de automatización de fábrica.
  • Diseño de soporte de rodamiento en ambos extremos — Proporciona un soporte de rotor fiable, vibración extremadamente baja y una fiabilidad de arranque superior, lo que lo hace ideal para condiciones de proceso adversas.
  • Motor totalmente sellado y refrigerado por agua — PMSM de alta eficiencia con variador de frecuencia (VFD) que maximiza la entrega de par. El diseño del motor totalmente sellado elimina el riesgo de fugas de aceite, mejorando la fiabilidad operativa y prolongando la vida útil.
  • Sistema de control PLC inteligente — La programación inteligente permite el arranque/parada con un solo botón. Soporta interfaz de E/S externa y comunicación RS485 (protocolo Modbus-RTU) para la integración de control y monitorización remotos.

Especificaciones Técnicas

Parámetro Especificación
Velocidad de bombeo 4200 m³/h
Presión final ≤0.5 Pa
Potencia nominal 13+10 kW
Voltaje 380V Trifásico
Presión de agua de refrigeración 0.2-0.5 MPa
Caudal de agua de refrigeración 8-10 L/min
Temperatura del agua de refrigeración 5-25 °C
Conexión de agua de refrigeración G3/8
Presión de purga de N2 0.1-0.7 MPa
Caudal de purga de N2 0-120 L/min
Conexión de purga de N2 G1/4
Conexión de entrada ISO160
Conexión de salida KF50
Nivel de ruido ≤75 dB(A)
Entorno operativo 5~40°C; ≤80% HR
Peso 269 kg
Dimensiones (L*A*H) 1695*600*1450 mm

Procesos de aplicación

Procesos limpios

Esclusa de carga, Transferencia, Metrología, Litografía

Procesos medios

Proceso PVD, Pre-limpieza PVD, RTA, Stripping/Ashing, Grabado de óxido, Grabado de silicio, Fuente de implantación, Grabado de metal

Procesos adversos

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Industrias objetivo

  • Célula solar de heterounión (HJT): Requisitos de vacío para el proceso PECVD.
  • Industrial de baterías de litio: Secado al vacío a gran escala y procesamiento de electrolitos.
  • Semiconductor: Evacuación rápida de esclusas de carga y pre-bombeo de cámaras de proceso.
  • Recubrimiento al vacío: Aplicaciones de esclusas de carga en sistemas de recubrimiento PVD/CVD industriales.