La GRM4201 es una bomba de vacío en seco de alta capacidad de 4200 m³/h que logra niveles de vacío excepcionales con un amplio rango de presión de trabajo y un manejo superior del polvo. Con soporte de rodamiento en ambos extremos, motor síncrono de imanes permanentes trifásico totalmente sellado y refrigerado por agua, y control inteligente PLC de un solo botón, es ideal para la fabricación de células HJT, la producción de baterías de litio y la evacuación rápida de esclusas de carga de semiconductores.
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de bombeo | 4200 m³/h |
| Presión final | ≤0.5 Pa |
| Potencia nominal | 13+10 kW |
| Voltaje | 380V Trifásico |
| Presión de agua de refrigeración | 0.2-0.5 MPa |
| Caudal de agua de refrigeración | 8-10 L/min |
| Temperatura del agua de refrigeración | 5-25 °C |
| Conexión de agua de refrigeración | G3/8 |
| Presión de purga de N2 | 0.1-0.7 MPa |
| Caudal de purga de N2 | 0-120 L/min |
| Conexión de purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de entrada | ISO160 |
| Conexión de salida | KF50 |
| Nivel de ruido | ≤75 dB(A) |
| Entorno operativo | 5~40°C; ≤80% HR |
| Peso | 269 kg |
| Dimensiones (L*A*H) | 1695*600*1450 mm |
Esclusa de carga, Transferencia, Metrología, Litografía
Proceso PVD, Pre-limpieza PVD, RTA, Stripping/Ashing, Grabado de óxido, Grabado de silicio, Fuente de implantación, Grabado de metal
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD