Bomba de funcionamiento en seco GRH6001 6000 m³/H sin aceite 380V trifásica
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Resaltar
Bomba de vacío seca sin aceite
,Bomba de vacío en seco de 6000 m³/h
,Bomba de vacío en seco trifásica
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Tipo de bombabomba de vacío en seco
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Velocidad de bombeo6 000 m3/h
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Presión máxima≤0,5Pa
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Tipo de motorMotor síncrono de imanes permanentes (PMSM)
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Potencia nominal11+7,5 kilovatios
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Voltaje380V Trifásico
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Temperatura del agua de enfriamiento5-30 ° C
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Flujo de agua de refrigeración≥11 L/min
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Flujo de purga de N243-123 L/min
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Conexión de entradaISO250
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Conexión de salidaKF40
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Nivel de ruido≤ 70 dB (A)
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Peso846 kilogramos
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Dimensiones (L × W × H)1076×516×988 milímetros
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Interfaz de controlE/S y RS485 (Protocolo Modbus)
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Sistema de selladoSello de labio + Sello de laberinto con purga de N2
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Lugar de origenPorcelana
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Nombre de la marcaGRH
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CertificaciónISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Número de modeloGRH6001
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Cantidad de orden mínima1 juego
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PrecioUSD 25,000-35,000 / Set
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Detalles de empaquetadoCaja de madera contrachapada de exportación con barrera contra la humedad sellada al vacío e inserto
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Tiempo de entrega15-30 días laborables
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Condiciones de pagoT/T, carta de crédito, Western Union
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Capacidad de la fuente500 juegos por mes
Bomba de funcionamiento en seco GRH6001 6000 m³/H sin aceite 380V trifásica
Bomba de vacío seco GRH6001
La GRH6001 es una bomba de vacío seco de alta capacidad de 6000 m³/h diseñada para líneas de producción de semiconductores y fotovoltaicas a gran escala. Cuenta con una cámara de bombeo sin aceite, un tamaño compacto y un bajo consumo de energía para aplicaciones exigentes de alto volumen.
Características Principales
- Motor Síncrono de Imán Permanente — Ofrece una eficiencia energética superior y un menor consumo de energía en comparación con los motores de inducción convencionales.
- Estructura Avanzada del Rotor — Capacidad de extracción de polvo mejorada, lo que hace que la bomba sea muy tolerante a los gases de proceso cargados de partículas.
- Tolerante al Polvo y al Vapor de Agua — Insensible al polvo y al vapor de agua arrastrados en el flujo de gas bombeado.
- Diseño Compacto e Integrado — Pequeña huella con alta integración del sistema para una fácil instalación en entornos de fábrica abarrotados.
- Protección Integral — Funciones de protección integradas con una gran capacidad de adaptación a las condiciones variables del proceso.
- Baja Vibración y Ruido — Funciona a ≤70 dB(A) a presión final para un lugar de trabajo más silencioso.
- Sistema de Sellado Avanzado — Sello de labio y sello laberíntico combinados con purga de nitrógeno evitan eficazmente el retroceso de aceite, asegurando una alta limpieza del vacío en la cámara de proceso.
- Control y Monitoreo Remoto — Soporta interfaz de E/S y comunicación RS485 (protocolo Modbus) para una integración perfecta en sistemas de automatización de fábrica.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de Bombeo | 6000 m³/h |
| Presión Final | ≤0.5 Pa |
| Potencia Nominal | 11+7.5 kW |
| Voltaje | 380V Trifásico |
| Presión de Agua de Refrigeración | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de Agua de Refrigeración | ≥11 L/min |
| Temperatura del Agua de Refrigeración | 5-30 °C |
| Conexión de Agua de Refrigeración | G3/8 |
| Presión de Purga de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de Purga de N2 | 43-123 L/min |
| Conexión de Purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de Entrada | ISO250 |
| Conexión de Salida | KF40 |
| Nivel de Ruido | ≤70 dB(A) |
| Entorno Operativo | 5~40°C; ≤80% HR |
| Peso | 846 kg |
| Dimensiones (L*A*H) | 1076*516*988 mm |
Procesos de Aplicación
Procesos Limpios
Carga-Descarga, Transferencia, Metrología, Litografía
Procesos Medios
Proceso PVD, Pre-Limpieza PVD, RTA, Stripping/Ashing, Grabado de Óxido, Grabado de Silicio, Fuente de Implantación, Grabado de Metal
Procesos Severos
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industrias Objetivo
- Semiconductores: Grabado, implantación iónica, CVD y otras aplicaciones de procesos limpios, medios y severos.
- Fotovoltaica: Hornos de crecimiento de cristales, procesos de fabricación de celdas.
- Batería de Litio: Procesos de secado al vacío de celdas, llenado de electrolitos y desgasificación.
- Pantalla Plana y LED: Procesos de fabricación que requieren entornos de vacío de alta limpieza.
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