Bomba de vacío en seco GRH1202 1200 M³/H para semiconductores fotovoltaicos
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Resaltar
Bomba de vacío en seco para semiconductores
,Bomba de vacío en seco de 1200 m³/h
,Bomba de vacío en seco fotovoltaica
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Tipo de bombabomba de vacío en seco
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Velocidad de bombeo1200 m3/h
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Presión máxima≤0,5Pa
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Tipo de motorMotor síncrono de imanes permanentes (PMSM)
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Potencia nominal7,5+1,9 kilovatios
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Voltaje380V trifásico
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Temperatura del agua de enfriamiento5-30 ° C
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Flujo de agua de refrigeración≥4,7 l/min
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Flujo de purga de N24-96 l/min
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Conexión de entradaISO100
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Conexión de salidaKF40
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Nivel de ruido≤ 70 dB (A)
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Peso220 kilogramos
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Dimensiones (L × W × H)821×420×791 milímetros
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Interfaz de controlE/S y RS485 (Protocolo Modbus)
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Sistema de selladoSello de labio + Sello de laberinto con purga de N2
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Lugar de origenPorcelana
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Nombre de la marcaGRH
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CertificaciónISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Número de modeloGRH1202
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Cantidad de orden mínima1 juego
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PrecioUSD 8,000-12,000 / Set
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Detalles de empaquetadoCaja de madera contrachapada de exportación con barrera contra la humedad sellada al vacío e inserto
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Tiempo de entrega15-30 días laborables
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Condiciones de pagoT/T, carta de crédito, Western Union
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Capacidad de la fuente500 juegos por mes
Bomba de vacío en seco GRH1202 1200 M³/H para semiconductores fotovoltaicos
Bomba de vacío seco GRH1202
La GRH1202 es una bomba de vacío seco de 1200 m³/h diseñada para procesos de fabricación de semiconductores, fotovoltaicos y de baterías de litio. Cuenta con una cámara de bombeo completamente libre de aceite, un tamaño compacto y bajo consumo de energía, ofreciendo un rendimiento fiable con un bajo coste total de propiedad.
Características Principales
- Motor Síncrono de Imán Permanente — Ofrece una eficiencia energética superior y un menor consumo de energía en comparación con los motores de inducción convencionales.
- Estructura Avanzada del Rotor — Capacidad mejorada de extracción de polvo, lo que hace que la bomba sea muy tolerante a los gases de proceso cargados de partículas.
- Tolerante al Polvo y al Vapor de Agua — Insensible al polvo y al vapor de agua arrastrados en el flujo de gas bombeado.
- Diseño Compacto e Integrado — Pequeña huella con alta integración del sistema para una fácil instalación en entornos de fábrica abarrotados.
- Protección Integral — Funciones de protección integradas con una gran capacidad de adaptación a las condiciones variables del proceso.
- Baja Vibración y Ruido — Funciona a ≤70 dB(A) a presión final para un lugar de trabajo más silencioso.
- Sistema de Sellado Avanzado — El sello de labio y el sello laberíntico combinados con purga de nitrógeno evitan eficazmente el retroceso de aceite, asegurando una alta limpieza del vacío en la cámara de proceso.
- Control y Monitorización Remotos — Soporta interfaz de E/S y comunicación RS485 (protocolo Modbus) para una integración perfecta en sistemas de automatización de fábrica.
Especificaciones Técnicas
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Velocidad de Bombeo | 1200 m³/h |
| Presión Final | ≤0.5 Pa |
| Potencia Nominal | 7.5+1.9 kW |
| Voltaje | 380V Trifásico |
| Presión de Agua de Refrigeración | 0.1-0.6 MPa |
| Flujo de Agua de Refrigeración | ≥4.7 L/min |
| Temperatura del Agua de Refrigeración | 5-30 °C |
| Conexión de Agua de Refrigeración | G3/8 |
| Presión de Purga de N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flujo de Purga de N2 | 4-96 L/min |
| Conexión de Purga de N2 | G1/4 |
| Conexión de Entrada | ISO100 |
| Conexión de Salida | KF40 |
| Nivel de Ruido | ≤70 dB(A) |
| Entorno de Operación | 5~40°C; ≤80% HR |
| Peso | 220 kg |
| Dimensiones (L*A*H) | 821*420*791 mm |
Procesos de Aplicación
Procesos Limpios
Load-Lock, Transferencia, Metrología, Litografía
Procesos Medios
Proceso PVD, Pre-Limpieza PVD, RTA, Strip/Ashing, Grabado de Óxido, Grabado de Silicio, Fuente de Implantación, Grabado de Metal
Procesos Severos
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
Industrias Objetivo
- Semiconductor: Grabado, implantación iónica, CVD y otras aplicaciones de procesos limpios, medios y severos.
- Fotovoltaica: Hornos de crecimiento de cristales, procesos de fabricación de células.
- Batería de Litio: Procesos de secado al vacío de celdas, llenado de electrolitos y desgasificación.
- Pantalla Plana y LED: Procesos de fabricación que requieren entornos de vacío de alta limpieza.
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