logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Suchopompowa Pompa Próżniowa 600 L/min KF40 PMSM Energooszczędny Napęd do Półprzewodnikowych Powłok Próżniowych

  • Podkreślić

    Suchopompowa Pompa Próżniowa GRM41

    ,

    Pompa z Energooszczędnym Napędem PMSM

    ,

    Rozwiązanie do Półprzewodnikowych Powłok Próżniowych

  • Model
    GRM41
  • Typ
    System suchej pompy próżniowej
  • Maksymalna prędkość pompowania
    600 l/min (36 m³/h)
  • Maksymalne ciśnienie (otwarty balast gazowy)
    ≤10 Pa
  • Ciśnienie maksymalne (balast gazowy zamknięty)
    ≤1 Pa
  • Maksymalne ciągłe ciśnienie wlotowe
    1000 mbarów
  • Ciśnienie spalin
    ≤3000 Pa
  • Moc silnika
    0,75 kW
  • Typ silnika
    PMSM (silnik synchroniczny magnesu stałego)
  • Zasilanie
    200–240 V, jednofazowe, 50/60 Hz
  • Prąd znamionowy
    2,4 A
  • Połączenie wlotowe
    KF40
  • Połączenie wylotowe
    KF25
  • Podłączenie balastu gazowego
    PT1/4
  • Ciśnienie balastu gazowego
    0,02-0,05 MPa
  • Maksymalna pojemność pary wodnej
    350 g/godz
  • Poziom hałasu
    ≤65dB
  • Objętość oleju
    0,25 litra
  • Waga
    54 kg
  • Wymiary
    630×347×400 mm
  • Klasa ochrony
    IP20D
  • Interfejs sterowania
    Zdalne monitorowanie RS485
  • Temperatura otoczenia
    5-40 ℃
  • Miejsce pochodzenia
    Zhejiang, Chiny
  • Nazwa handlowa
    OEM
  • Numer modelu
    GRM41
  • Minimalne zamówienie
    1 zestaw
  • Cena
    negotiable
  • Szczegóły pakowania
    Obudowa ze sklejki klasy eksportowej z wkładką z pianki odpornej na wstrząsy i uszczelnioną próżniow
  • Czas dostawy
    15-30 dni roboczych po potwierdzeniu zamówienia
  • Zasady płatności
    T/T
  • Możliwość Supply
    200 zestawów miesięcznie

GRM41 Suchopompowa Pompa Próżniowa 600 L/min KF40 PMSM Energooszczędny Napęd do Półprzewodnikowych Powłok Próżniowych

GRM41 System suchej pompy próżniowej

GRM41 to wysokiej wydajności, bezolejowy, suchy system pomp próżniowych, zaprojektowany do wymagających procesów próżniowych o wysokiej czystości w produkcji półprzewodników, ogniw fotowoltaicznych,Produkcja wyświetlaczy płaskich. wyposażony w energooszczędny napęd PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) o mocy wyjściowej 0,75 kW,ten kompaktowy system osiąga imponującą maksymalną prędkość pompowania 600 l/min (36 m3/h) przy ciśnieniu maksymalnym ≤1 PaZintegrowany interfejs zdalnego monitorowania RS485 umożliwia płynną integrację z zautomatyzowanymi środowiskami produkcyjnymi.

Kluczowe cechy

  • PMSM Energooszczędny napęd:Technologia silników synchronicznych z magnetem stałym zapewnia wyższą wydajność energetyczną przy zużyciu energii 0,75 kW, zmniejszając koszty eksploatacji przy zachowaniu wysokiej wydajności.
  • Bezolejowa operacja sucha:Brak ryzyka zanieczyszczenia olejem w komorach procesowych, co zapewnia bardzo czyste warunki próżni, niezbędne do produkcji półprzewodników i urządzeń fotowoltaicznych.
  • Wysoka wydajność pod próżnią:osiąga ciśnienie maksymalne ≤1 Pa (zamknięty balast gazowy) i ≤10 Pa (otwarty balast gazowy), odpowiednie do wymagających zastosowań w wysokiej próżni.
  • Zintegrowany system balastu gazowego:Wbudowany zawór balastu gazowego z podłączeniem PT1/4 obsługuje parę wodną do 350 g/h, zapobiegając kondensacji i wydłużając żywotność pompy.
  • Odległe monitorowanie RS485.Inteligentny interfejs sterowania obsługuje zdalną obsługę, monitorowanie parametrów i możliwości diagnostyczne w celu integracji z przemysłem 4.0.
  • Kompaktowy, lekki projekt:Wymiary 630*347*400 mm i waga zaledwie 54 kg pozwalają na łatwą instalację w środowiskach czystych pomieszczeń o ograniczonej przestrzeni.
  • Wykonanie pracy z niskim poziomem hałasuPoziom hałasu ≤ 65 dB z zintegrowanym tłumikiem i zaworem awaryjnym, zapewniającym komfortowe środowisko pracy.
  • Robustna konstrukcja:Zestaw aluminium i obudowa z żeliwa z uszczelnieniami z fluoroelastomeru (FKM) zapewniają długoterminową niezawodność i kompatybilność chemiczną.
  • Standardowe interfejsy KF:Połączenia wejściowe KF40 i wydechowe KF25 do szybkiego montażu bez narzędzi z standardowymi komponentami próżniowymi.

Specyfikacje techniczne

ParametrySpecyfikacja
ModelGRM41
RodzajSystem suchej pompy próżniowej
Maksymalna prędkość pompowania600 l/min (36 m3/h)
Ciśnienie ostateczne (otwarte balasty gazowe)≤ 10 Pa
Ciśnienie ostateczne (zamyka się balast gazowy)≤ 1 Pa
Maksymalne ciągłe ciśnienie wejściowe1000 mbar
Ciśnienie spalin≤ 3000 Pa
Moc silnika00,75 kW
Rodzaj silnikaPMSM (permanent magnet synchronous motor)
Zasilanie200-240V, jednofazowa, 50/60Hz
Prąd nominalny2.4 A
Połączenie wejścioweKF40
Połączenie z gniazdkiemKF25
Połączenie ballastu gazowegoPT1/4
Ciśnienie paliwa gazowego00,02 do 0,05 MPa
Maksymalna pojemność pary wodnej350 g/h
Poziom hałasu≤ 65 dB
Objętość oleju00,25 l
Waga54 kg
Wymiary (L*W*H)630*347*400 mm
Klasa ochronyIP20D
Interfejs sterowaniaRS485 Telemonitorowanie
Temperatura otoczenia5-40 °C

Typowe zastosowania

  • Przetwarzanie i wytwarzanie płyt półprzewodnikowych
  • Produkcja ogniw fotowoltaicznych (PVD, PECVD, grafowanie)
  • Wyświetlacze płaskich ekranów i produkcja OLED
  • Połowienie próżniowe i osadzenie cienkich folii
  • Badania i laboratoryjne systemy wysokiej próżni
  • Przemysł laserowo-optyczny
  • Pompy wspierające przyrządy analityczne
  • Ewakuacja komory blokady ładunku