logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor

GRH3001 3000 m³/h sucha pompa próżniowa z silnikiem synchronicznym z magnesami trwałymi

Produkty - Suche pompy próżniowe
  • Podkreślić

    Sucha pompa próżniowa z silnikiem z magnesami trwałymi

    ,

    Sucha pompa próżniowa 3000 m³/h

    ,

    Pumpy próżniowe PV półprzewodnikowe

  • Typ pompy
    Sucha pompa próżniowa
  • Prędkość pompowania
    3000 m³/godz
  • Ostateczne ciśnienie
    ≤0,5 Pa
  • Typ silnika
    Silnik synchroniczny z magnesami trwałymi (PMSM)
  • Moc znamionowa
    11+7,5 kW
  • Woltaż
    Trójfazowy 380V
  • Temperatura wody chłodzącej
    5-30°C
  • Przepływ wody chłodzącej
    ≥11 l/min
  • Przepływ oczyszczania N2
    43-123 l/min
  • Połączenie wlotowe
    ISO160
  • Połączenie wylotowe
    KF40
  • Poziom hałasu
    ≤70 DB(A)
  • Waga
    770 kg
  • Wymiary (dł. × szer. × wys.)
    922×516×988 mm
  • Interfejs sterowania
    We/Wy i RS485 (protokół Modbus)
  • System uszczelniający
    Uszczelka wargowa + uszczelka labiryntowa z przedmuchem N2
  • Miejsce pochodzenia
    Chiny
  • Nazwa handlowa
    GRH
  • Orzecznictwo
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Numer modelu
    GRH3001
  • Minimalne zamówienie
    1 zestaw
  • Cena
    USD 18,000-25,000 / Set
  • Szczegóły pakowania
    Obudowa ze sklejki klasy eksportowej z uszczelnioną próżniowo barierą przeciw wilgoci i wkładką z pi
  • Czas dostawy
    15-30 dni roboczych
  • Zasady płatności
    T/T, akredytywa, Western Union
  • Możliwość Supply
    500 zestawów miesięcznie

GRH3001 3000 m³/h sucha pompa próżniowa z silnikiem synchronicznym z magnesami trwałymi

  • GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor
Uzyskaj cenę Skontaktuj się teraz

GRH3001 Sucha pompa próżniowa

GRH3001 to sucha pompa próżniowa o pojemności 3000 m3/h przeznaczona do produkcji półprzewodników i fotowoltaiki w średniej i dużej skali.i niskie zużycie energii dla niezawodnej wydajności dużych objętości.

Kluczowe cechy

  • Permanent Magnet Synchronous Motor zapewnia wyższą wydajność energetyczną i niższe zużycie energii w porównaniu z konwencjonalnymi silnikami indukcyjnymi.
  • Zaawansowana struktura wirnika ️ Zwiększona zdolność ekstrakcji pyłu, dzięki czemu pompa jest bardzo odporna na gazy procesowe obciążone cząstkami stałymi.
  • Tolerancja pyłu i pary wodnejNiewrażliwy na pył i parę wodną wprowadzane w pompowany strumień gazu.
  • Kompaktny i zintegrowany projektMałe działanie z wysoką integracją systemu dla łatwej instalacji w tłoczonych środowiskach fabrycznych.
  • Całkowita ochronaWbudowane funkcje ochronne z silną zdolnością adaptacyjną do różnych warunków procesu.
  • Niskie wibracje i hałas Wykonuje pracę przy ciśnieniu maksymalnym ≤ 70 dB (A) dla cichszego miejsca pracy.
  • Zaawansowany system uszczelniający¢ uszczelnienie ust i uszczelnienie labiryntu w połączeniu z oczyszczeniem azotowym skutecznie zapobiegają odprowadzaniu oleju, zapewniając wysoką czystość próżni w komorze procesowej.
  • Teleregulacja i monitorowanieWspiera interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus) w celu bezproblemowej integracji z systemami automatyki fabrycznej.

Specyfikacje techniczne

Parametry Specyfikacja
Prędkość pompowania 3000 m3/h
Największa presja ≤ 0,5 Pa
Moc nominalna 11+7,5 kW
napięcie 380 V trójfazowe
Ciśnienie wody chłodzącej 0.2-0.6 MPa
Przepływ wody chłodzącej ≥ 11 l/min
Temperatura wody chłodzącej 5-30 °C
Połączenie wody chłodzącej G3/8
N2 Ciśnienie oczyszczania 0.2-0.6 MPa
Przepływ N2 43-123 l/min
Połączenie oczyszczania N2 G1/4
Połączenie wejściowe ISO 160
Połączenie z gniazdkiem KF40
Poziom hałasu ≤ 70 dB (A)
Środowisko operacyjne 5~40°C; ≤80% RH
Waga 770 kg
Wymiary (L*W*H) 922*516*988 mm

Procesy składania wniosków

Czyste procesy

Ładowanie, przeniesienie, metrologia, litografia

Procesy średnie

Proces PVD, pre-cleaning PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Implant Source, Metal Etch

Ciężkie procesy

Wymagania w zakresie bezpieczeństwa i bezpieczeństwa

Branże docelowe

  • Półprzewodnik:Ety, implantacja jonów, CVD i inne czyste, średnie i surowe zastosowania procesowe.
  • Elektrownia fotowoltaiczna:Piece do wzrostu kryształów, procesy wytwarzania komórek.
  • Akumulator litowy:Procesy suszenia komórek pod próżnią, napełniania elektrolitami i odgazowania.
  • Płaski panel wyświetlacz i LED:Procesy produkcyjne wymagające środowisk próżniowych o wysokiej czystości.
tagi:

Bezolejowa sucha pompa próżniowa

PMSM Energooszczędny napęd

Monitoring zdalnego sterowania RS485

Produkty powiązane

Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.

Uzyskaj wycenę