logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH6001 6000 M³/H Dry Running Pump Oil Free 380V Three Phase

GRH6001 6000 M3/h Pompy suchej pracy bez oleju 380V Trójfazowa

  • Podkreślić

    Bezolejna sucha pompa próżniowa

    ,

    6000 m3/h suchej pompy próżniowej

    ,

    Pompa próżniowa trójfazowa

  • Typ pompy
    Sucha pompa próżniowa
  • Prędkość pompowania
    6000 m3/h
  • Ostateczne ciśnienie
    ≤0,5 Pa
  • Typ silnika
    Silnik synchroniczny z magnesami trwałymi (PMSM)
  • Moc znamionowa
    11+7,5 kW
  • Woltaż
    Trójfazowy 380 V
  • Temperatura wody chłodzącej
    5-30°C
  • Przepływ wody chłodzącej
    ≥11 l/min
  • Przepływ oczyszczania N2
    43-123 l/min
  • Połączenie wlotowe
    ISO250
  • Połączenie wylotowe
    KF40
  • Poziom hałasu
    ≤70 DB(A)
  • Waga
    846 kg
  • Wymiary (dł. × szer. × wys.)
    1076×516×988 mm
  • Interfejs sterowania
    We/Wy i RS485 (protokół Modbus)
  • System uszczelniający
    Uszczelka wargowa + uszczelka labiryntowa z przedmuchem N2
  • Miejsce pochodzenia
    Chiny
  • Nazwa handlowa
    GRH
  • Orzecznictwo
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • Numer modelu
    GRH6001
  • Minimalne zamówienie
    1 zestaw
  • Cena
    USD 25,000-35,000 / Set
  • Szczegóły pakowania
    Obudowa ze sklejki klasy eksportowej z uszczelnioną próżniowo barierą przeciw wilgoci i wkładką z pi
  • Czas dostawy
    15-30 dni roboczych
  • Zasady płatności
    T/T, akredytywa, Western Union
  • Możliwość Supply
    500 zestawów miesięcznie

GRH6001 6000 M3/h Pompy suchej pracy bez oleju 380V Trójfazowa

GRH6001 Sucha Pompa Próżniowa

GRH6001 to sucha pompa próżniowa o dużej wydajności 6000 m³/h, zaprojektowana dla wielkoskalowych linii produkcyjnych półprzewodników i fotowoltaiki. Charakteryzuje się bezolejową komorą pompy, zwartą konstrukcją i niskim zużyciem energii, co czyni ją idealną do wymagających zastosowań o dużej objętości.

Kluczowe Cechy

  • Silnik Synchroniczny z Magnesami Trwałymi — Zapewnia doskonałą efektywność energetyczną i niższe zużycie energii w porównaniu do konwencjonalnych silników indukcyjnych.
  • Zaawansowana Struktura Wirnika — Zwiększona zdolność do usuwania pyłu, co sprawia, że pompa jest wysoce odporna na gazy procesowe obciążone cząstkami stałymi.
  • Odporna na Pył i Parę Wodną — Niewrażliwa na pył i parę wodną zawarte w strumieniu gazu pompowanego.
  • Kompaktowa i Zintegrowana Konstrukcja — Mała powierzchnia zabudowy z wysoką integracją systemu dla łatwej instalacji w zatłoczonych środowiskach fabrycznych.
  • Kompleksowa Ochrona — Wbudowane funkcje ochronne z silną zdolnością adaptacji do zmiennych warunków procesowych.
  • Niskie Wibracje i Hałas — Pracuje przy ≤70 dB(A) przy ciśnieniu końcowym, zapewniając cichsze miejsce pracy.
  • Zaawansowany System Uszczelniania — Uszczelnienie wargowe i labiryntowe w połączeniu z przedmuchem azotem skutecznie zapobiega cofaniu się oleju, zapewniając wysoką czystość próżni w komorze procesowej.
  • Zdalne Sterowanie i Monitorowanie — Obsługuje interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus) dla płynnej integracji z systemami automatyki fabrycznej.

Specyfikacje Techniczne

Parametr Specyfikacja
Prędkość Pompowania 6000 m³/h
Ciśnienie Końcowe ≤0.5 Pa
Moc Znamionowa 11+7.5 kW
Napięcie 380V Trójfazowe
Ciśnienie Wody Chłodzącej 0.2-0.6 MPa
Przepływ Wody Chłodzącej ≥11 L/min
Temperatura Wody Chłodzącej 5-30 °C
Przyłącze Wody Chłodzącej G3/8
Ciśnienie Przedmuchu N2 0.2-0.6 MPa
Przepływ Przedmuchu N2 43-123 L/min
Przyłącze Przedmuchu N2 G1/4
Przyłącze Wlotowe ISO250
Przyłącze Wylotowe KF40
Poziom Hałasu ≤70 dB(A)
Środowisko Pracy 5~40°C; ≤80% RH
Waga 846 kg
Wymiary (D*S*W) 1076*516*988 mm

Procesy Aplikacyjne

Procesy Czyste

Load-Lock, Transfer, Metrologia, Litografia

Procesy Średnie

Proces PVD, Czyszczenie Wstępne PVD, RTA, Strip/Ashing, Wytrawianie Tlenków, Wytrawianie Krzemu, Źródło Implantacji, Wytrawianie Metali

Procesy Agresywne

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Docelowe Branże

  • Półprzewodniki: Wytrawianie, implantacja jonów, CVD i inne procesy czyste, średnie i agresywne.
  • Fotowoltaika: Piece do wzrostu kryształów, procesy produkcji ogniw.
  • Baterie Litowe: Procesy suszenia próżniowego ogniw, napełniania elektrolitem i odgazowywania.
  • Wyświetlacze Płaskie i LED: Procesy produkcyjne wymagające środowisk próżniowych o wysokiej czystości.