GRH6001 to sucha pompa próżniowa o dużej wydajności 6000 m³/h, zaprojektowana dla wielkoskalowych linii produkcyjnych półprzewodników i fotowoltaiki. Charakteryzuje się bezolejową komorą pompy, zwartą konstrukcją i niskim zużyciem energii, co czyni ją idealną do wymagających zastosowań o dużej objętości.
| Parametr | Specyfikacja |
|---|---|
| Prędkość Pompowania | 6000 m³/h |
| Ciśnienie Końcowe | ≤0.5 Pa |
| Moc Znamionowa | 11+7.5 kW |
| Napięcie | 380V Trójfazowe |
| Ciśnienie Wody Chłodzącej | 0.2-0.6 MPa |
| Przepływ Wody Chłodzącej | ≥11 L/min |
| Temperatura Wody Chłodzącej | 5-30 °C |
| Przyłącze Wody Chłodzącej | G3/8 |
| Ciśnienie Przedmuchu N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Przepływ Przedmuchu N2 | 43-123 L/min |
| Przyłącze Przedmuchu N2 | G1/4 |
| Przyłącze Wlotowe | ISO250 |
| Przyłącze Wylotowe | KF40 |
| Poziom Hałasu | ≤70 dB(A) |
| Środowisko Pracy | 5~40°C; ≤80% RH |
| Waga | 846 kg |
| Wymiary (D*S*W) | 1076*516*988 mm |
Load-Lock, Transfer, Metrologia, Litografia
Proces PVD, Czyszczenie Wstępne PVD, RTA, Strip/Ashing, Wytrawianie Tlenków, Wytrawianie Krzemu, Źródło Implantacji, Wytrawianie Metali
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD