logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

GRM4201 Sucha pompa próżniowa 4200 M3/H Bez oleju napęd PMSM ISO160 KF50 dla baterii litowej HJT

Produkty - Suche pompy próżniowe
  • Podkreślić

    Bezolejna sucha pompa próżniowa

    ,

    4200 m3/h suchej pompy próżniowej

    ,

    Pompy próżniowe na litowe akumulatory HJT

  • Typ pompy
    Sucha pompa próżniowa
  • Prędkość pompowania
    4200 m3/godz
  • Ostateczne ciśnienie
    ≤0,5 Pa
  • Typ silnika
    Silnik synchroniczny z magnesami trwałymi (PMSM)
  • Moc znamionowa
    13+10 kW
  • Woltaż
    Trójfazowy 380V
  • Temperatura wody chłodzącej
    5-25°C
  • Przepływ wody chłodzącej
    8-10 l/min
  • Przepływ oczyszczania N2
    0-120 l/min
  • Połączenie wlotowe
    ISO160
  • Połączenie wylotowe
    KF50
  • Poziom hałasu
    ≤75 dB (a)
  • Waga
    269 kg
  • Wymiary (dł. × szer. × wys.)
    1695×600×1450 mm
  • Interfejs sterowania
    We/Wy i RS485 (protokół Modbus)
  • System uszczelniający
    Uszczelka wargowa + uszczelka labiryntowa z przedmuchem N2
  • Projekt łożyska
    Łożysko dwustronne
  • Tryb sterowania
    Inteligentny sterownik PLC z funkcją Start/Stop za pomocą jednego przycisku
  • Miejsce pochodzenia
    Chiny
  • Nazwa handlowa
    GRM
  • Orzecznictwo
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Numer modelu
    GRM4201
  • Minimalne zamówienie
    1 zestaw
  • Cena
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Szczegóły pakowania
    Obudowa ze sklejki klasy eksportowej z uszczelnioną próżniowo barierą przeciw wilgoci i wkładką z pi
  • Czas dostawy
    25-40 dni roboczych
  • Zasady płatności
    T/T, akredytywa, Western Union
  • Możliwość Supply
    100 zestawów miesięcznie

GRM4201 Sucha pompa próżniowa 4200 M3/H Bez oleju napęd PMSM ISO160 KF50 dla baterii litowej HJT

  • GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery
Uzyskaj cenę Skontaktuj się teraz

GRM4201 Sucha Pompa Próżniowa

GRM4201 to sucha pompa próżniowa o dużej wydajności 4200 m³/h, osiągająca wyjątkowe poziomy próżni przy szerokim zakresie ciśnienia roboczego i doskonałej odporności na pył. Dzięki podparciu łożysk po obu stronach, wodnemu chłodzeniu w pełni szczelnego silnika i inteligentnemu sterowaniu PLC jednym przyciskiem, idealnie nadaje się do produkcji ogniw HJT, produkcji baterii litowych i szybkiej ewakuacji Load-Lock w produkcji półprzewodników.

Kluczowe cechy

  • W pełni szczelny, chłodzony wodą silnik synchroniczny z magnesami trwałymi i napędem VFD maksymalizuje moment obrotowy dla wymagających procesów, eliminując ryzyko wycieku oleju.
  • Unikalna konstrukcja wirnika wykonana na zaawansowanym sprzęcie z doskonałą precyzją geometryczną, w pełni wymienna dla niskiego poziomu hałasu i przedłużonej żywotności.
  • Odporna na pył i parę wodną — Niewrażliwa na pył i parę wodną zawarte w strumieniu pompowanego gazu.
  • Kompaktowa i zintegrowana konstrukcja — Mała powierzchnia zajmowana przez urządzenie z wysoką integracją systemu dla łatwej instalacji w zatłoczonych środowiskach fabrycznych.
  • Kompleksowa ochrona — Wbudowane funkcje ochrony o silnej zdolności adaptacji do zmiennych warunków procesowych.
  • Niskie wibracje i hałas — Działa przy ≤75 dB(A) przy ciśnieniu końcowym, zapewniając cichsze miejsce pracy.
  • Zaawansowany system uszczelniania — Zaawansowane uszczelnienie wargowe z labiryntową barierą olejową zapewnia doskonałą wydajność uszczelniania i przedłużoną żywotność. W połączeniu z przedmuchem gazem azotowym zapobiega zanieczyszczeniu zbiornika oleju mediami procesowymi, osiągając całkowicie bezolejowe środowisko próżniowe.
  • Zdalne sterowanie i monitorowanie — Obsługuje interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus) dla bezproblemowej integracji z systemami automatyki fabrycznej.
  • Konstrukcja z podparciem łożysk po obu stronach — Zapewnia niezawodne podparcie wirnika, ekstremalnie niskie wibracje i doskonałą niezawodność rozruchu, co czyni ją idealną do trudnych warunków procesowych.
  • W pełni szczelny silnik chłodzony wodą — Wysokowydajny PMSM z napędem VFD maksymalizuje moment obrotowy. W pełni szczelna konstrukcja silnika eliminuje ryzyko wycieku oleju, zwiększając niezawodność operacyjną i przedłużając żywotność.
  • Inteligentny system sterowania PLC — Inteligentne programowanie umożliwia start/stop jednym przyciskiem. Obsługuje zewnętrzny interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus-RTU) dla integracji zdalnego sterowania i monitorowania.

Specyfikacje techniczne

Parametr Specyfikacja
Wydajność pompowania 4200 m³/h
Ciśnienie końcowe ≤0,5 Pa
Moc znamionowa 13+10 kW
Napięcie 380V Trójfazowe
Ciśnienie wody chłodzącej 0,2-0,5 MPa
Przepływ wody chłodzącej 8-10 L/min
Temperatura wody chłodzącej 5-25 °C
Przyłącze wody chłodzącej G3/8
Ciśnienie przedmuchu N2 0,1-0,7 MPa
Przepływ przedmuchu N2 0-120 L/min
Przyłącze przedmuchu N2 G1/4
Przyłącze wlotowe ISO160
Przyłącze wylotowe KF50
Poziom hałasu ≤75 dB(A)
Środowisko pracy 5~40°C; ≤80% RH
Waga 269 kg
Wymiary (D*S*W) 1695*600*1450 mm

Procesy aplikacyjne

Procesy czyste

Load-Lock, Transfer, Metrologia, Litografia

Procesy średnie

Proces PVD, Wstępne czyszczenie PVD, RTA, Strip/Ashing, Wytrawianie tlenków, Wytrawianie krzemu, Źródło implantacji, Wytrawianie metali

Procesy trudne

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

Docelowe branże

  • Ogniwa słoneczne heterozłączowe (HJT): Wymagania próżniowe dla procesu PECVD.
  • Przemysł baterii litowych: Wielkoskalowe suszenie próżniowe i przetwarzanie elektrolitu.
  • Półprzewodniki: Szybka ewakuacja Load-Lock i wstępne pompowanie komór procesowych.
  • Powlekanie próżniowe: Zastosowania w Load-Lock systemów powlekania PVD/CVD.
tagi:

Bezolejowa sucha pompa próżniowa

PMSM Energooszczędny napęd

Monitoring zdalnego sterowania RS485

Produkty powiązane

Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.

Uzyskaj wycenę