GRM1201 to sucha pompa próżniowa o wydajności 1200 m³/h, charakteryzująca się niskim zużyciem energii i wysoką prędkością pompowania do zastosowań wymagających dużej objętości wywiewu. Pompa obsługuje palne, wybuchowe i kondensujące gazy procesowe, zaprojektowana do wymagających procesów PECVD, MOCVD i SIC-CVD.
| Parametr | Specyfikacja |
|---|---|
| Prędkość pompowania | 1200 m³/h |
| Ciśnienie końcowe | ≤0,15 Pa |
| Moc znamionowa | 1,9+1,9 kW |
| Napięcie | 380V Trójfazowe |
| Ciśnienie wody chłodzącej | 0,2-0,6 MPa |
| Przepływ wody chłodzącej | ≥4 l/min |
| Temperatura wody chłodzącej | 5-30 °C |
| Przyłącze wody chłodzącej | G3/8 |
| Ciśnienie przedmuchu N2 | 0,2-0,6 MPa |
| Przepływ przedmuchu N2 | 12-50 l/min |
| Przyłącze przedmuchu N2 | G1/4 |
| Przyłącze wlotowe | ISO160 |
| Przyłącze wylotowe | KF25 |
| Poziom hałasu | ≤63 dB(A) |
| Środowisko pracy | 5~40°C; ≤80% RH |
| Waga | 260 kg |
| Wymiary (dł.*szer.*wys.) | 865*344*751 mm |
Load-Lock, Transfer, Metrologia, Litografia
Proces PVD, czyszczenie wstępne PVD, RTA, Strip/Ashing, wytrawianie tlenków, wytrawianie krzemu, źródło implantacji, wytrawianie metali
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD