-
Podkreślić
380V Trójfazowa sucha pompa próżniowa
,1800 m3/h suchej pompy próżniowej
,Pompy próżniowe w procesie półprzewodnikowym
-
Typ pompySucha pompa próżniowa
-
Prędkość pompowania1800 m³/godz
-
Ostateczne ciśnienie≤0,5 Pa
-
Typ silnikaSilnik synchroniczny z magnesami trwałymi (PMSM)
-
Moc znamionowa7,5+4,5 kW
-
WoltażTrójfazowy 380 V
-
Temperatura wody chłodzącej10-30°C
-
Przepływ wody chłodzącej6 l/min
-
Przepływ oczyszczania N24-96 l/min
-
Połączenie wlotoweISO160
-
Połączenie wylotoweKF40
-
Poziom hałasu＜70 dB(A)
-
Waga472 kg
-
Wymiary (dł. × szer. × wys.)935×420×795 mm
-
Interfejs sterowaniaWe/Wy i RS485 (protokół Modbus)
-
System uszczelniającyUszczelka wargowa + uszczelka labiryntowa z przedmuchem N2
-
Miejsce pochodzeniaChiny
-
Nazwa handlowaGRH
-
OrzecznictwoISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Numer modeluGRH1802
-
Minimalne zamówienie1 zestaw
-
CenaUSD 12,000-18,000 / Set
-
Szczegóły pakowaniaObudowa ze sklejki klasy eksportowej z uszczelnioną próżniowo barierą przeciw wilgoci i wkładką z pi
-
Czas dostawy15-30 dni roboczych
-
Zasady płatnościT/T, akredytywa, Western Union
-
Możliwość Supply500 zestawów miesięcznie
380V Trójfazowa suszna pompa próżniowa GRH1802 1800 M3/H
GRH1802 Sucha pompa próżniowa
GRH1802 to sucha pompa próżniowa o pojemności 1800 m3/h zaprojektowana do wymagających procesów półprzewodnikowych i fotowoltaicznych.zapewnia niezawodną wydajność z solidną zdolnością do obsługi pyłu.
Kluczowe cechy
- Permanent Magnet Synchronous Motor zapewnia wyższą wydajność energetyczną i niższe zużycie energii w porównaniu z konwencjonalnymi silnikami indukcyjnymi.
- Zaawansowana struktura wirnika ️ Zwiększona zdolność ekstrakcji pyłu, dzięki czemu pompa jest bardzo odporna na gazy procesowe obciążone cząstkami stałymi.
- Tolerancja pyłu i pary wodnejNiewrażliwy na pył i parę wodną wprowadzane w pompowany strumień gazu.
- Kompaktny i zintegrowany projektMałe działanie z wysoką integracją systemu dla łatwej instalacji w tłoczonych środowiskach fabrycznych.
- Całkowita ochronaWbudowane funkcje ochronne z silną zdolnością adaptacyjną do różnych warunków procesu.
- Niskie wibracje i hałas️ Działa przy ciśnieniu < 70 dB (A) przy najwyższym ciśnieniu dla cichszego miejsca pracy.
- Zaawansowany system uszczelniający¢ uszczelnienie ust i uszczelnienie labiryntu w połączeniu z oczyszczeniem azotowym skutecznie zapobiegają odprowadzaniu oleju, zapewniając wysoką czystość próżni w komorze procesowej.
- Teleregulacja i monitorowanieWspiera interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus) w celu bezproblemowej integracji z systemami automatyki fabrycznej.
Specyfikacje techniczne
| Parametry | Specyfikacja |
|---|---|
| Prędkość pompowania | 1800 m3/h |
| Największa presja | ≤ 0,5 Pa |
| Moc nominalna | 7.5+4,5 kW |
| napięcie | 380 V trójfazowe |
| Ciśnienie wody chłodzącej | 00,3-0,6 MPa |
| Przepływ wody chłodzącej | 6 l/min |
| Temperatura wody chłodzącej | 10-30 °C |
| Połączenie wody chłodzącej | G3/8 |
| N2 Ciśnienie oczyszczania | 00,3-0,6 MPa |
| Przepływ N2 | 4-96 l/min |
| Połączenie oczyszczania N2 | G1/4 |
| Połączenie wejściowe | ISO 160 |
| Połączenie z gniazdkiem | KF40 |
| Poziom hałasu | < 70 dB (A) |
| Środowisko operacyjne | 5~40°C; ≤80% RH |
| Waga | 472 kg |
| Wymiary (L*W*H) | 935*420*795 mm |
Procesy składania wniosków
Czyste procesy
Ładowanie, przeniesienie, metrologia, litografia
Procesy średnie
Proces PVD, pre-cleaning PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Implant Source, Metal Etch
Ciężkie procesy
Wymagania w zakresie bezpieczeństwa i bezpieczeństwa
Branże docelowe
- Półprzewodnik:Ety, implantacja jonów, CVD i inne czyste, średnie i surowe zastosowania procesowe.
- Elektrownia fotowoltaiczna:Piece do wzrostu kryształów, procesy wytwarzania komórek.
- Akumulator litowy:Procesy suszenia komórek pod próżnią, napełniania elektrolitami i odgazowania.
- Płaski panel wyświetlacz i LED:Procesy produkcyjne wymagające środowisk próżniowych o wysokiej czystości.
Produkty powiązane
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
