-
Podkreślić
ISO100 Pompy próżniowe suchego wlewu
,600 m3/h suchej pompy próżniowej
,KF25 Wylotowa sucha pompa próżniowa
-
Typ pompySucha pompa próżniowa
-
Prędkość pompowania600 m³/godz
-
Ostateczne ciśnienie≤0,15 Pa
-
Typ silnikaSilnik synchroniczny z magnesami trwałymi (PMSM)
-
Moc znamionowa1,9+1,9 kW
-
WoltażTrójfazowy 380V
-
Temperatura wody chłodzącej5-30°C
-
Przepływ wody chłodzącej≥4 l/min
-
Przepływ oczyszczania N212-50 l/min
-
Połączenie wlotoweISO100
-
Połączenie wylotoweKF25
-
Poziom hałasu≤63 dB(A)
-
Waga260 kg
-
Wymiary (dł. × szer. × wys.)865×344×751 mm
-
Interfejs sterowaniaWe/Wy i RS485 (protokół Modbus)
-
System uszczelniającyUszczelka wargowa + uszczelka labiryntowa z przedmuchem N2
-
Kompatybilność z gazemGazy procesowe łatwopalne, wybuchowe i kondensujące
-
Miejsce pochodzeniaChiny
-
Nazwa handlowaGRM
-
OrzecznictwoISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
Numer modeluGRM601
-
Minimalne zamówienie1 zestaw
-
CenaUSD 8,000-13,000 / Set
-
Szczegóły pakowaniaObudowa ze sklejki klasy eksportowej z uszczelnioną próżniowo barierą przeciw wilgoci i wkładką z pi
-
Czas dostawy15-30 dni roboczych
-
Zasady płatnościT/T, akredytywa, Western Union
-
Możliwość Supply300 zestawów miesięcznie
GRM601 600 M3/h sucha pompa próżniowa ISO100 KF25
GRM601 Sucha pompa próżniowa
GRM601 to sucha pompa próżniowa o pojemności 600 m3/h o niskim zużyciu energii i dużej prędkości pompowania.i procesów półprzewodnikowych SIC-CVD.
Kluczowe cechy
- Permanent Magnet Synchronous Motor zapewnia wyższą wydajność energetyczną przy wiodącym w branży niskim zużyciu energii.
- Zaawansowana struktura wirnika Zwiększona zdolność ekstrakcji pyłu zapewnia niezawodną pracę w środowiskach procesów o dużej zawartości cząstek stałych.
- Tolerancja pyłu i pary wodnejNiewrażliwy na pył i parę wodną wprowadzane w pompowany strumień gazu.
- Kompaktny i zintegrowany projektMałe działanie z wysoką integracją systemu dla łatwej instalacji w tłoczonych środowiskach fabrycznych.
- Całkowita ochronaWbudowane funkcje ochronne z silną zdolnością adaptacyjną do różnych warunków procesu.
- Niskie wibracje i hałas— Operates at ≤63 dB(A) at ultimate pressure for a quieter workplace.
- Zaawansowany system uszczelniający¢ uszczelnienie warg i uszczelnienie labiryntu w połączeniu z oczyszczeniem azotowym skutecznie zapobiegają odpływowi oleju, utrzymując wysoką czystość próżni w komorze procesowej.
- Teleregulacja i monitorowanieWspiera interfejs I/O i komunikację RS485 (protokół Modbus) w celu bezproblemowej integracji z systemami automatyki fabrycznej.
- Kompatybilne z gazami niebezpiecznymiBezpieczna eksploatacja z działaniem gazów procesów łatwopalnych, wybuchowych i kondensacyjnych.
Specyfikacje techniczne
| Parametry | Specyfikacja |
|---|---|
| Prędkość pompowania | 600 m3/h |
| Największa presja | ≤ 0,15 Pa |
| Moc nominalna | 10,9+1,9 kW |
| napięcie | 380 V trójfazowe |
| Ciśnienie wody chłodzącej | 0.2-0.6 MPa |
| Przepływ wody chłodzącej | ≥ 4 l/min |
| Temperatura wody chłodzącej | 5-30 °C |
| Połączenie wody chłodzącej | G3/8 |
| N2 Ciśnienie oczyszczania | 0.2-0.6 MPa |
| Przepływ N2 | 12-50 l/min |
| Połączenie oczyszczania N2 | G1/4 |
| Połączenie wejściowe | ISO100 |
| Połączenie z gniazdkiem | KF25 |
| Poziom hałasu | ≤ 63 dB (A) |
| Środowisko operacyjne | 5~40°C; ≤80% RH |
| Waga | 260 kg |
| Wymiary (L*W*H) | 865*344*751 mm |
Procesy składania wniosków
Czyste procesy
Ładowanie, przeniesienie, metrologia, litografia
Procesy średnie
Proces PVD, pre-cleaning PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch Oxide, Etch Silicon, Implant Source, Metal Etch
Ciężkie procesy
Wymagania w zakresie bezpieczeństwa i bezpieczeństwa
Branże docelowe
- Półprzewodnik:Etywanie, implantacja jonów, CVD, PECVD, MOCVD i SIC-CVD w czystych/średnich/trudnych procesach.
- Elektrownia fotowoltaiczna:Piece do wzrostu kryształów, procesy wytwarzania komórek.
- Akumulator litowy:Procesy suszenia komórek pod próżnią, napełniania elektrolitami i odgazowania.
- Płaski panel wyświetlacz i LED:Procesy produkcyjne wymagające środowisk próżniowych o wysokiej czystości.
Produkty powiązane
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
