logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 سیستم پمپ خلاء خشک 600 L/min KF40 PMSM درایو کارآمد انرژی برای پوشش خلاء نیمه هادی

  • برجسته کردن

    سیستم پمپ خلاء خشک GRM41

    ,

    پمپ محرک کارآمد انرژی PMSM

    ,

    محلول پوشش خلاء نیمه هادی

  • مدل
    GRM41
  • تایپ کنید
    سیستم پمپ خلاء خشک
  • حداکثر سرعت پمپاژ
    600 لیتر در دقیقه (36 متر مکعب در ساعت)
  • فشار نهایی (باز بالاست گاز)
    ≤10 Pa
  • فشار نهایی (بالاست گاز بسته)
    ≤1 Pa
  • حداکثر فشار ورودی پیوسته
    1000 مگابایت
  • فشار اگزوز
    ≤3000 Pa
  • قدرت موتور
    0.75 کیلو وات
  • نوع موتور
    PMSM (موتور همزمان مگنت دائمی)
  • منبع تغذیه
    200-240 ولت، تک فاز، 50/60 هرتز
  • جریان رتبه بندی شده
    2.4 A
  • اتصال ورودی
    KF40
  • اتصال خروجی
    KF25
  • اتصال بالاست گاز
    PT1/4
  • فشار بالاست گاز
    0.02-0.05 مگاپاسکال
  • حداکثر ظرفیت بخار آب
    350 گرم در ساعت
  • سطح نویز
    ≤65 دسی بل
  • حجم روغن
    0.25 لیتر
  • وزن
    54 کیلوگرم
  • ابعاد
    630×347×400 میلی متر
  • کلاس حفاظت
    IP20D
  • رابط کنترل
    نظارت از راه دور RS485
  • دمای محیط
    ۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد
  • محل منبع
    ژجیانگ، چین
  • نام تجاری
    OEM
  • شماره مدل
    GRM41
  • مقدار حداقل تعداد سفارش
    1 مجموعه
  • قیمت
    negotiable
  • جزئیات بسته بندی
    جعبه تخته سه لا صادراتی با درج فوم ضد ضربه و مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء
  • زمان تحویل
    15-30 روز کاری پس از تایید سفارش
  • شرایط پرداخت
    T/T
  • قابلیت ارائه
    200 ست در ماه

GRM41 سیستم پمپ خلاء خشک 600 L/min KF40 PMSM درایو کارآمد انرژی برای پوشش خلاء نیمه هادی

سیستم پمپ خلاء خشک GRM41

GRM41 یک سیستم پمپ خلاء خشک بدون روغن با کارایی بالا است که برای فرآیندهای خلاء خالص در تولید نیمه هادی، تولید سلول های فتوولتائیک،و ساخت صفحه نمایش تختمجهز به یک PMSM (موتور هم زمان مقناطیسی دائمی) محرک انرژی کارآمد با تولید 0.75 kW،این سیستم جمع و جور به سرعت پمپاژ حداکثر 600 L/min (36 m3/h) با فشار نهایی ≤1 Pa می رسد.رابط کنترل از راه دور RS485 یکپارچه امکان ادغام یکپارچه در محیط های تولید خودکار را فراهم می کند.

ویژگی های کلیدی

  • PMSM درایو کارآمد انرژی:فناوری موتور هم زمان مغناطیس دائمی با مصرف قدرت 0.75 کیلو وات بهره وری انرژی برتر را ارائه می دهد و هزینه های عملیاتی را کاهش می دهد در حالی که عملکرد بالا را حفظ می کند.
  • عملیات خشک بدون روغن:خطر آلودگی روغن در اتاق های فرآیند وجود ندارد، که شرایط خلاء بسیار تمیز را برای تولید نیمه هادی و فتوولتائیک ضروری می کند.
  • عملکرد بالا در خلاء:فشار نهایی ≤1 Pa (بالاست گاز بسته) و ≤10 Pa (بالاست گاز باز) را به دست می آورد، مناسب برای کاربردهای پرطلب با خلاء بالا است.
  • سیستم بالاست گازی یکپارچهدریچه بالاست گاز داخلی با اتصال PT1/4 بخار آب را تا 350 گرم در ساعت کنترل می کند، جلوگیری از تهویه و افزایش عمر پمپ.
  • RS485 کنترل از راه دور:رابط کنترل هوشمند از عملکرد از راه دور، نظارت بر پارامترها و قابلیت های تشخیصی برای ادغام صنعت 4.0 پشتیبانی می کند.
  • طراحی کمکت سبک وزن:ابعاد 630*347*400 میلی متر و وزن تنها 54 کیلوگرم امکان نصب آسان در محیط های اتاق تمیز با فضای محدود را فراهم می کند.
  • عملکرد کم سر و صداسطح سر و صدا ≤65 دبیل با خاموش کننده و دریچه باز کن یکپارچه که محیط کار راحت را تضمین می کند.
  • ساخت و ساز محکم:آلیاژ آلومینیوم و محفظه آهن ریخته شده با مهر و موم فلوروالستومر (FKM) اطمینان از قابلیت اطمینان طولانی مدت و سازگاری شیمیایی را تضمین می کند.
  • رابط های استاندارد KF:اتصال ورودی KF40 و خروجی KF25 برای مونتاژ سریع و بدون ابزار با اجزای خلاء استاندارد.

مشخصات فنی

پارامترمشخصات
مدلGRM41
نوعسیستم پمپ خلاء خشک
حداکثر سرعت پمپ۶۰۰ لیتری در دقیقه (۳۶ متر در ساعت)
فشار نهایی (باز کردن گازهای گازی)≤10 Pa
فشار نهایی (بالاست گاز بسته شده)≤1 Pa
حداکثر فشار پیوسته ورودی1000 mbar
فشار خروجی≤3000 Pa
قدرت موتور0.75 کيلو وات
نوع موتورPMSM (موتور هم زمان مقناطیسی دائمی)
منبع برق200-240V، تک فاز، 50/60Hz
جریان نامی2.4 A
اتصال ورودیKF40
اتصال خروجیKF25
اتصال بالاست گازPT1/4
فشار گاز بالاست0.02-0.05 MPa
حداکثر ظرفیت بخار آب۳۵۰ گرم در ساعت
سطح سر و صدا≤65 دبیل
حجم روغن0.25 لیتر
وزن۵۴ کیلوگرم
ابعاد (L*W*H)630*347*400 میلی متر
کلاس حفاظتIP20D
رابط کنترلRS485 نظارت از راه دور
دمای محیط۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد

کاربردهای معمول

  • فرآوری و تولید وافرهای نیمه هادی
  • تولید سلول های خورشیدی (PVD، PECVD، حکاکی)
  • نمایش صفحه تخت و تولید OLED
  • پوشش خلاء و رسوب فیلم نازک
  • تحقیقات و آزمایشگاه سیستم های خلاء بالا
  • صنعت لیزر و نوری
  • پمپ پشتیبان ابزار تحلیلی
  • تخلیه اتاق قفل بار