پمپ خلاء خشک GRH3001 با ظرفیت 3000 متر مکعب بر ساعت با موتور سنکرون مغناطیس دائم
-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک موتور مغناطیس دائم
,پمپ خلاء خشک 3000 متر مکعب بر ساعت
,پمپ خلاء خشک نیمههادی و PV
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ3000 متر مکعب در ساعت
-
فشار نهایی≤0.5 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی11+7.5 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده5-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده≥11 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow43-123 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO160
-
اتصال خروجیKF40
-
سطح نویز≤70 DB(A)
-
وزن770 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)922×516×988 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRH
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRH3001
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 18,000-25,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه500 ست در ماه
پمپ خلاء خشک GRH3001 با ظرفیت 3000 متر مکعب بر ساعت با موتور سنکرون مغناطیس دائم
GRH3001 پمپ خلاء خشک
GRH3001 یک پمپ خلاء خشک 3000 m3 / h است که برای تولید نیمه هادی متوسط و بزرگ و تولید فتوولتائیک ساخته شده است.و مصرف انرژی کم برای عملکرد قابل اعتماد در حجم بالا.
ویژگی های کلیدی
- موتور هم زمان مقناطیسی دائمی
- ساختار روتور پیشرفته قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، باعث می شود پمپ به گاز های فرآوری باردار از ذرات بسیار تحمل کند.
- قابل تحمل گرد و غبار و بخار آب✓ نسبت به گرد و غبار و بخار آب که در جریان گاز پمپاژ می شود حساس نیست.
- طراحی کامپکت و یکپارچه✓ اثر کوچک با یکپارچه سازی سیستم بالا برای نصب آسان در محیط های کارخانه شلوغ.
- حفاظت جامع- عملکردهای محافظتی داخلی با توانایی انعطاف پذیری قوی برای شرایط فرآیند مختلف.
- لرزش و سر و صدا کم️ کار در ≤70 dB ((A) در فشار نهایی برای یک محل کار آرام تر.
- سيستم امضاء پیشرفته- مهر و موم لب و مهر و موم لابراتوار در ترکیب با پاکسازی نیتروژن به طور موثر مانع از جریان برگشت روغن می شود و تمیز بودن خلاء را در اتاق فرآیند تضمین می کند.
- کنترل و نظارت از راه دورپشتیبانی از رابط I / O و ارتباطات RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه.
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپ کردن | 3000 متر3/ساعت |
| فشار نهایی | ≤0.5 Pa |
| قدرت نامی | 11+7.5 کیلو وات |
| ولتاژ | ۳۸۰ ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.2-0.6 MPa |
| جریان آب خنک کننده | ≥11 لیتر/ دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | ۵ تا ۳۰ درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی N2 | 0.2-0.6 MPa |
| جریان پاکسازی N2 | 43 تا 123 لیتری/دقیقه |
| اتصال پاک کننده N2 | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO160 |
| اتصال خروجی | KF40 |
| سطح سر و صدا | ≤70 dB ((A) |
| محیط عملیاتی | ۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد؛ ≤ ۸۰٪ RH |
| وزن | ۷۷۰ کیلوگرم |
| ابعاد (L*W*H) | 922*516*988 میلی متر |
فرآیند های درخواست
فرآیندهای تمیز
قفل بار، انتقال، متروولوژی، لیتوگرافی
فرایندهای متوسط
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، نوار / خاکستری، اکسید اتش، سیلیکون اتش، منبع ایمپلنت، اتش فلزی
پروسه های سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
- نیمه هادی:حکاکی، کاشت یون، CVD، و سایر کاربردهای فرآیند تمیز، متوسط و خشن.
- فتوولتائیک:کوره های رشد کریستال، فرآیند تولید سلول.
- باتری لیتیوم:خشک کردن خلا سلول، پر کردن الکترولیت، و فرآیندهای گاز زدایی.
- صفحه نمایش تخت و LED:فرایندهای تولیدی که نیاز به محیط های خلاء با تمیز بودن بالا دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
