-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک ورودی ISO100
,پمپ خلاء خشک 600 متر مکعب بر ساعت
,پمپ خلاء خشک خروجی KF25
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ600 متر مکعب در ساعت
-
فشار نهایی≤0.15 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی1.9 + 1.9 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده5-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده≥4 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow12-50 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO100
-
اتصال خروجیKF25
-
سطح نویز≤63 دسی بل (A)
-
وزن260 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)865×344×751 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
سازگاری با گازگازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل تراکم
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRM
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRM601
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 8,000-13,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه300 ست در ماه
پمپ خلاء خشک GRM601 600 متر مکعب بر ساعت ISO100 KF25
پمپ خلاء خشک GRM601
GRM601 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت 600 متر مکعب بر ساعت است که مصرف انرژی پایین و سرعت پمپاژ بالا را ارائه میدهد. این پمپ با اطمینان گازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل میعان را مدیریت میکند و برای فرآیندهای نیمههادی PECVD، MOCVD و SIC-CVD مهندسی شده است.
ویژگیهای کلیدی
- موتور سنکرون مغناطیس دائم — بهرهوری انرژی برتر را با مصرف انرژی پایین پیشرو در صنعت ارائه میدهد.
- ساختار روتور پیشرفته — قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، عملکرد قابل اعتماد را در محیطهای فرآیندی با ذرات سنگین تضمین میکند.
- مقاوم در برابر گرد و غبار و بخار آب — نسبت به گرد و غبار و بخار آب موجود در جریان گاز پمپ شده، حساس نیست.
- طراحی فشرده و یکپارچه — فضای اشغالی کم با یکپارچگی بالای سیستم برای نصب آسان در محیطهای شلوغ کارخانه.
- حفاظت جامع — توابع حفاظتی داخلی با قابلیت انطباق قوی برای شرایط متغیر فرآیند.
- لرزش و صدای کم — در فشار نهایی با صدای کمتر از 63 دسیبل (A) کار میکند و محیط کاری آرامتری را فراهم میکند.
- سیستم آببندی پیشرفته — ترکیب درزگیر لب و درزگیر هزارتو با پاکسازی نیتروژن به طور موثر از برگشت روغن جلوگیری کرده و پاکیزگی خلاء بالا را در محفظه فرآیند حفظ میکند.
- کنترل و نظارت از راه دور — از رابط I/O و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستمهای اتوماسیون کارخانه پشتیبانی میکند.
- سازگار با گازهای خطرناک — عملکرد ایمن با گازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل میعان.
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپاژ | 600 متر مکعب بر ساعت |
| فشار نهایی | کمتر یا مساوی 0.15 پاسکال |
| توان نامی | 1.9+1.9 کیلووات |
| ولتاژ | 380 ولت سه فاز |
| فشار آب خنککننده | 0.2-0.6 مگاپاسکال |
| جریان آب خنککننده | بزرگتر یا مساوی 4 لیتر در دقیقه |
| دمای آب خنککننده | 5-30 درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنککننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی نیتروژن | 0.2-0.6 مگاپاسکال |
| جریان پاکسازی نیتروژن | 12-50 لیتر در دقیقه |
| اتصال پاکسازی نیتروژن | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO100 |
| اتصال خروجی | KF25 |
| سطح صدا | کمتر یا مساوی 63 دسیبل (A) |
| محیط عملیاتی | 5~40 درجه سانتیگراد؛ کمتر یا مساوی 80% رطوبت نسبی |
| وزن | 260 کیلوگرم |
| ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) | 865*344*751 میلیمتر |
فرآیندهای کاربردی
فرآیندهای تمیز
بارگذاری قفل، انتقال، اندازهگیری، لیتوگرافی
فرآیندهای متوسط
فرآیند PVD، پیشتمیزکاری PVD، RTA، لایهبرداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز
فرآیندهای سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
- نیمههادی: کاربردهای فرآیندی تمیز/متوسط/سخت در اچینگ، کاشت یون، CVD، PECVD، MOCVD و SIC-CVD.
- فتovoltaیک: کورههای رشد کریستال، فرآیندهای تولید سلول.
- باتری لیتیوم: فرآیندهای خشک کردن خلاء سلول، پر کردن الکترولیت و خارج کردن گاز.
- نمایشگر تخت و LED: فرآیندهای تولیدی که به محیطهای خلاء با پاکیزگی بالا نیاز دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
