GRH6001 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت 6000 m3/h است که برای خطوط تولید نیمه هادی و فتوولتائیک در مقیاس بزرگ طراحی شده است.و مصرف انرژی کم برای درخواست های پرطلب.
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپ کردن | ۶۰۰۰ متر در ساعت |
| فشار نهایی | ≤0.5 Pa |
| قدرت نامی | 11+7.5 کیلو وات |
| ولتاژ | ۳۸۰ ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.2-0.6 MPa |
| جریان آب خنک کننده | ≥11 لیتر/ دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | ۵ تا ۳۰ درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی N2 | 0.2-0.6 MPa |
| جریان پاکسازی N2 | 43 تا 123 لیتری/دقیقه |
| اتصال پاک کننده N2 | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO250 |
| اتصال خروجی | KF40 |
| سطح سر و صدا | ≤70 dB ((A) |
| محیط عملیاتی | ۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد؛ ≤ ۸۰٪ RH |
| وزن | 846 کیلوگرم |
| ابعاد (L*W*H) | 1076*516*988 میلی متر |
قفل بار، انتقال، متروولوژی، لیتوگرافی
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، نوار / خاکستری، اکسید اتش، سیلیکون اتش، منبع ایمپلنت، اتش فلزی
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD