logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH6001 6000 M³/H Dry Running Pump Oil Free 380V Three Phase

پمپ GRH6001 با ظرفیت 6000 متر مکعب بر ساعت، بدون روغن و با برق سه فاز 380 ولت

  • برجسته کردن

    پمپ خلاء خشک بدون روغن

    ,

    پمپ خلاء خشک 6000 متر مکعب بر ساعت

    ,

    پمپ خلاء خشک سه فاز

  • نوع پمپ
    پمپ خلاء خشک
  • سرعت پمپاژ
    6000 متر مکعب در ساعت
  • فشار نهایی
    ≤0.5 Pa
  • نوع موتور
    موتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
  • قدرت امتیازی
    11+7.5 کیلو وات
  • ولتاژ
    380 ولت سه فاز
  • دمای آب خنک کننده
    5-30 درجه سانتی گراد
  • جریان آب خنک کننده
    ≥11 لیتر در دقیقه
  • N2 Purge Flow
    43-123 لیتر در دقیقه
  • اتصال ورودی
    ISO250
  • اتصال خروجی
    KF40
  • سطح نویز
    ≤70 DB(A)
  • وزن
    846 کیلوگرم
  • ابعاد (L×W×H)
    1076×516×988 میلی متر
  • رابط کنترل
    I/O و RS485 (پروتکل Modbus)
  • سیستم آب بندی
    مهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
  • محل منبع
    چین
  • نام تجاری
    GRH
  • گواهی
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • شماره مدل
    GRH6001
  • مقدار حداقل تعداد سفارش
    1 مجموعه
  • قیمت
    USD 25,000-35,000 / Set
  • جزئیات بسته بندی
    قاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
  • زمان تحویل
    15-30 روز کاری
  • شرایط پرداخت
    T/T، L/C، Western Union
  • قابلیت ارائه
    500 ست در ماه

پمپ GRH6001 با ظرفیت 6000 متر مکعب بر ساعت، بدون روغن و با برق سه فاز 380 ولت

GRH6001 پمپ خلاء خشک

GRH6001 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت 6000 m3/h است که برای خطوط تولید نیمه هادی و فتوولتائیک در مقیاس بزرگ طراحی شده است.و مصرف انرژی کم برای درخواست های پرطلب.

ویژگی های کلیدی

  • موتور هم زمان مقناطیسی دائمی
  • ساختار روتور پیشرفته قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، باعث می شود پمپ به گاز های فرآوری باردار از ذرات بسیار تحمل کند.
  • قابل تحمل گرد و غبار و بخار آب✓ نسبت به گرد و غبار و بخار آب که در جریان گاز پمپاژ می شود حساس نیست.
  • طراحی کامپکت و یکپارچه✓ اثر کوچک با یکپارچه سازی سیستم بالا برای نصب آسان در محیط های کارخانه شلوغ.
  • حفاظت جامع- عملکردهای محافظتی داخلی با توانایی انعطاف پذیری قوی برای شرایط فرآیند مختلف.
  • لرزش و سر و صدا کم️ کار در ≤70 dB ((A) در فشار نهایی برای یک محل کار آرام تر.
  • سيستم امضاء پیشرفته- مهر و موم لب و مهر و موم لابراتوار در ترکیب با پاکسازی نیتروژن به طور موثر مانع از جریان برگشت روغن می شود و تمیز بودن خلاء را در اتاق فرآیند تضمین می کند.
  • کنترل و نظارت از راه دورپشتیبانی از رابط I / O و ارتباطات RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه.

مشخصات فنی

پارامتر مشخصات
سرعت پمپ کردن ۶۰۰۰ متر در ساعت
فشار نهایی ≤0.5 Pa
قدرت نامی 11+7.5 کیلو وات
ولتاژ ۳۸۰ ولت سه فاز
فشار آب خنک کننده 0.2-0.6 MPa
جریان آب خنک کننده ≥11 لیتر/ دقیقه
دمای آب خنک کننده ۵ تا ۳۰ درجه سانتیگراد
اتصال آب خنک کننده G3/8
فشار پاکسازی N2 0.2-0.6 MPa
جریان پاکسازی N2 43 تا 123 لیتری/دقیقه
اتصال پاک کننده N2 G1/4
اتصال ورودی ISO250
اتصال خروجی KF40
سطح سر و صدا ≤70 dB ((A)
محیط عملیاتی ۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد؛ ≤ ۸۰٪ RH
وزن 846 کیلوگرم
ابعاد (L*W*H) 1076*516*988 میلی متر

فرآیند های درخواست

فرآیندهای تمیز

قفل بار، انتقال، متروولوژی، لیتوگرافی

فرایندهای متوسط

فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، نوار / خاکستری، اکسید اتش، سیلیکون اتش، منبع ایمپلنت، اتش فلزی

پروسه های سخت

HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD

صنایع هدف

  • نیمه هادی:حکاکی، کاشت یون، CVD، و سایر کاربردهای فرآیند تمیز، متوسط و خشن.
  • فتوولتائیک:کوره های رشد کریستال، فرآیند تولید سلول.
  • باتری لیتیوم:خشک کردن خلا سلول، پر کردن الکترولیت، و فرآیندهای گاز زدایی.
  • صفحه نمایش تخت و LED:فرایندهای تولیدی که نیاز به محیط های خلاء با تمیز بودن بالا دارند.