-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک سه فاز 380 ولت
,پمپ خلاء خشک 1800 m3/h
,پمپ خلاء خشک فرآیند نیمه هادی
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ1800 متر مکعب در ساعت
-
فشار نهایی≤0.5 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی7.5 + 4.5 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده10-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده6 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow4-96 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO160
-
اتصال خروجیKF40
-
سطح نویز70 دسی بل (A)
-
وزن472 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)935×420×795 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRH
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRH1802
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 12,000-18,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه500 ست در ماه
پمپ خلاء خشک سه فاز 380 ولت GRH1802 1800 M3/H
پمپ خلاء خشک GRH1802
GRH1802 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت 1800 متر مکعب بر ساعت است که برای فرآیندهای حساس نیمههادی و فتوولتائیک طراحی شده است. این پمپ با محفظه بدون روغن، ابعاد فشرده و مصرف انرژی پایین، عملکردی قابل اعتماد با قابلیت مدیریت قوی گرد و غبار را ارائه میدهد.
ویژگیهای کلیدی
- موتور سنکرون مغناطیس دائم — بازده انرژی برتر و مصرف برق کمتر نسبت به موتورهای القایی معمولی را ارائه میدهد.
- ساختار روتور پیشرفته — قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، که پمپ را در برابر گازهای فرآیندی حاوی ذرات بسیار مقاوم میسازد.
- مقاوم در برابر گرد و غبار و بخار آب — نسبت به گرد و غبار و بخار آب موجود در جریان گاز پمپ شده، بیتفاوت است.
- طراحی فشرده و یکپارچه — ابعاد کوچک با یکپارچگی بالای سیستم برای نصب آسان در محیطهای شلوغ کارخانه.
- حفاظت جامع — توابع حفاظتی داخلی با قابلیت انطباق قوی برای شرایط متغیر فرآیند.
- لرزش و صدای کم — در فشار نهایی با صدای کمتر از 70 دسیبل (A) کار میکند و محیط کاری آرامتری را فراهم میآورد.
- سیستم آببندی پیشرفته — ترکیب آببند لبهای و آببند هزارتو با پاکسازی نیتروژن به طور موثری از برگشت روغن جلوگیری کرده و تمیزی خلاء بالا را در محفظه فرآیند تضمین میکند.کنترل و نظارت از راه دور — از رابط ورودی/خروجی و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستمهای اتوماسیون کارخانه پشتیبانی میکند.
- مشخصات فنیپارامتر
مشخصات
| سرعت پمپاژ | 1800 متر مکعب بر ساعت |
|---|---|
| فشار نهایی | ≤ 0.5 پاسکال |
| توان نامی | 7.5+4.5 کیلووات |
| ولتاژ | 380 ولت سه فاز |
| فشار آب خنککننده | 0.3-0.6 مگاپاسکال |
| دبی آب خنککننده | 4-96 لیتر در دقیقه |
| دمای آب خنککننده | 10-30 درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنککننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی نیتروژن | 0.3-0.6 مگاپاسکال |
| دبی پاکسازی نیتروژن | 4-96 لیتر در دقیقه |
| اتصال پاکسازی نیتروژن | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO160 |
| اتصال خروجی | KF40 |
| سطح صدا | کمتر از 70 دسیبل (A) |
| محیط عملیاتی | 5~40 درجه سانتیگراد؛ ≤ 80% رطوبت نسبی |
| وزن | 472 کیلوگرم |
| ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) | 935*420*795 میلیمتر |
| فرآیندهای کاربردی | فرآیندهای تمیز |
بارگذاری قفل، انتقال، اندازهگیری، لیتوگرافی
فرآیندهای متوسط
فرآیند PVD، پیشتمیزکاری PVD، RTA، لایهبرداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز
فرآیندهای سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
نیمههادی:
اچینگ، کاشت یون، CVD و سایر کاربردهای فرآیندی تمیز، متوسط و سخت.
- فتوولتائیک: کورههای رشد کریستال، فرآیندهای تولید سلول.
- باتری لیتیوم: فرآیندهای خشک کردن خلاء سلول، پر کردن الکترولیت و تخلیه گاز.
- نمایشگر تخت و LED: فرآیندهای تولیدی که نیاز به محیطهای خلاء با تمیزی بالا دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
