پمپ خشک GRM1201 با ظرفیت 1200 متر مکعب بر ساعت، استاندارد ISO160، کانکتور KF25، مناسب برای صنعت نیمههادی و PV
-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک نیمههادی و PV
,پمپ خلاء خشک 1200 متر مکعب بر ساعت
,پمپ خلاء خشک ISO160 KF25
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ1200 متر مکعب در ساعت
-
فشار نهایی≤0.15 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی1.9 + 1.9 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده5-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده≥4 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow12-50 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO160
-
اتصال خروجیKF25
-
سطح نویز≤63 دسی بل (A)
-
وزن260 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)865×344×751 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
سازگاری با گازگازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل تراکم
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRM
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRM1201
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 13,000-20,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه300 ست در ماه
پمپ خشک GRM1201 با ظرفیت 1200 متر مکعب بر ساعت، استاندارد ISO160، کانکتور KF25، مناسب برای صنعت نیمههادی و PV
پمپ خلاء خشک GRM1201
GRM1201 یک پمپ خلاء خشک 1200 متر مکعب بر ساعت با مصرف انرژی کم و سرعت پمپاژ بالا برای کاربردهای حجم خروجی بزرگ است. این پمپ گازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل میعان را مدیریت می کند و برای فرآیندهای چالش برانگیز PECVD، MOCVD و SIC-CVD طراحی شده است.
ویژگی های کلیدی
- موتور سنکرون مغناطیس دائم — بازده انرژی برتر را با کمترین مصرف انرژی در صنعت ارائه می دهد.
- ساختار روتور پیشرفته — قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، عملکرد قابل اعتماد را در محیط های فرآیندی با ذرات سنگین تضمین می کند.
- مقاوم در برابر گرد و غبار و بخار آب— نسبت به گرد و غبار و بخار آب موجود در جریان گاز پمپ شده، حساس نیست.
- طراحی فشرده و یکپارچه— فضای اشغالی کم با یکپارچگی بالای سیستم برای نصب آسان در محیط های شلوغ کارخانه.
- حفاظت جامع— توابع حفاظتی داخلی با قابلیت انطباق قوی برای شرایط متغیر فرآیند.
- لرزش و صدای کم— در فشار نهایی با صدای کمتر از 63 دسی بل (A) کار می کند و محیط کاری آرام تری را فراهم می کند.
- سیستم آب بندی پیشرفته— ترکیب درزگیر لبه ای و درزگیر هزارتو با پاکسازی نیتروژن به طور موثر از برگشت روغن جلوگیری می کند و پاکیزگی خلاء بالا را در محفظه فرآیند حفظ می کند.
- کنترل و نظارت از راه دور— از رابط I/O و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه پشتیبانی می کند.
- سازگار با گازهای خطرناک— عملکرد ایمن با گازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل میعان.
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپاژ | 1200 متر مکعب بر ساعت |
| فشار نهایی | کمتر یا مساوی 0.15 پاسکال |
| توان نامی | 1.9+1.9 کیلووات |
| ولتاژ | 380 ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.2-0.6 مگاپاسکال |
| جریان آب خنک کننده | بزرگتر یا مساوی 4 لیتر در دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | 5-30 درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی نیتروژن | 0.2-0.6 مگاپاسکال |
| جریان پاکسازی نیتروژن | 12-50 لیتر در دقیقه |
| اتصال پاکسازی نیتروژن | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO160 |
| اتصال خروجی | KF25 |
| سطح صدا | کمتر یا مساوی 63 دسی بل (A) |
| محیط عملیاتی | 5~40 درجه سانتیگراد؛ کمتر یا مساوی 80% رطوبت نسبی |
| وزن | 260 کیلوگرم |
| ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) | 865*344*751 میلی متر |
فرآیندهای کاربردی
فرآیندهای تمیز
بارگذاری/تخلیه، انتقال، مترولوژی، لیتوگرافی
فرآیندهای متوسط
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، لایه برداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز
فرآیندهای سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
- نیمه هادی: کاربردهای فرآیندی تمیز/متوسط/سخت در اچینگ، کاشت یون، CVD، PECVD، MOCVD و SIC-CVD.
- فتovoltaیک: کوره های رشد کریستال، فرآیندهای تولید سلول.
- باتری لیتیوم: فرآیندهای خشک کردن خلاء سلول، پر کردن الکترولیت و تخلیه گاز.
- نمایشگر تخت و LED: فرآیندهای تولیدی که نیاز به محیط های خلاء با پاکیزگی بالا دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
