-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک PMSM
,پمپ خلاء خشک 200 m3/h
,پمپ خلاء خشک ISO63 KF25
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ200 متر مربع در ساعت
-
فشار نهایی≤0.5 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی1.9 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده5-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده≥3 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow12-50 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO63
-
اتصال خروجیKF25
-
سطح نویز≤63 دسی بل (A)
-
وزن150 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)741×344×466 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
سازگاری با گازگازهای فرآیندی قابل اشتعال، انفجاری و قابل تراکم
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRM
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRM201
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 5,000-8,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه300 ست در ماه
GRM201 PMSM 200 M3/H پمپ خلاء خشک ISO63 KF25
پمپ خلاء خشک GRM201
GRM201 یک پمپ خلاء خشک 200 m3 / h است که مصرف انرژی پایین و سرعت پمپاژ بالا را ارائه می دهد. این گاز قابل احتراق، انفجاری و فشرده سازی را به طور ایمن کنترل می کند، و این باعث می شود که برای PECVD مناسب باشد،MOCVD، و فرآیندهای نیمه هادی SIC-CVD با قابلیت اطمینان بالا و هزینه های نگهداری پایین.
ویژگی های کلیدی
- موتور هم زمان مقناطیس دائمی ️ کارایی انرژی برتر را با مصرف انرژی پایین در صنعت ارائه می دهد.
- ساختار روتور پیشرفته قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته عملکرد قابل اعتماد را در محیط های فرآیند ذرات سنگین تضمین می کند.
- قابل تحمل گرد و غبار و بخار آب✓ نسبت به گرد و غبار و بخار آب که در جریان گاز پمپاژ می شود حساس نیست.
- طراحی کامپکت و یکپارچه✓ اثر کوچک با یکپارچه سازی سیستم بالا برای نصب آسان در محیط های کارخانه شلوغ.
- حفاظت جامع- عملکردهای محافظتی داخلی با توانایی انعطاف پذیری قوی برای شرایط فرآیند مختلف.
- لرزش و سر و صدا کم️ کار در ≤63 دبیل ((A) در فشار نهایی برای یک محل کار آرام تر.
- سيستم امضاء پیشرفته- مهر و موم لب و مهر و موم لابراتوار در ترکیب با پاکسازی نیتروژن به طور موثر مانع از جریان برگشت روغن می شود و تمیز بودن خلاء را در اتاق فرآیند حفظ می کند.
- کنترل و نظارت از راه دورپشتیبانی از رابط I / O و ارتباطات RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه.
- سازگاری با گاز های خطرناک- استفاده ایمن از گاز های قابل احتراق، انفجاری و فشرده سازی
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپ کردن | 200 متر3/ساعت |
| فشار نهایی | ≤0.5 Pa |
| قدرت نامی | 1.9 کیلو وات |
| ولتاژ | ۳۸۰ ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.2-0.6 MPa |
| جریان آب خنک کننده | ≥3 لیتری/ دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | ۵ تا ۳۰ درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی N2 | 0.2-0.6 MPa |
| جریان پاکسازی N2 | 12-50 لیتری/دقیقه |
| اتصال پاک کننده N2 | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO63 |
| اتصال خروجی | KF25 |
| سطح سر و صدا | ≤63 دبیل ((A) |
| محیط عملیاتی | ۵ تا ۴۰ درجه سانتیگراد؛ ≤ ۸۰٪ RH |
| وزن | 150 کیلوگرم |
| ابعاد (L*W*H) | 741*344*466 میلی متر |
فرآیند های درخواست
فرآیندهای تمیز
قفل بار، انتقال، متروولوژی، لیتوگرافی
فرایندهای متوسط
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، نوار / خاکستری، اکسید اتش، سیلیکون اتش، منبع ایمپلنت، اتش فلزی
پروسه های سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
- نیمه هادی:حکاکی، کاشت یون، CVD، PECVD، MOCVD، و SIC-CVD برنامه های پردازش تمیز / متوسط / خشن.
- فتوولتائیک:کوره های رشد کریستال، فرآیند تولید سلول.
- باتری لیتیوم:خشک کردن خلا سلول، پر کردن الکترولیت، و فرآیندهای گاز زدایی.
- صفحه نمایش تخت و LED:فرایندهای تولیدی که نیاز به محیط های خلاء با تمیز بودن بالا دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
