logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

پمپ خلاء خشک GRM4201 4200 متر مکعب بر ساعت بدون روغن درایو PMSM ISO160 KF50 برای باتری لیتیوم HJT

  • برجسته کردن

    پمپ خلاء خشک بدون روغن

    ,

    پمپ خلاء خشک 4200 متر مکعب بر ساعت

    ,

    پمپ خلاء خشک باتری لیتیوم HJT

  • نوع پمپ
    پمپ خلاء خشک
  • سرعت پمپاژ
    4200 متر مکعب در ساعت
  • فشار نهایی
    ≤0.5 Pa
  • نوع موتور
    موتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
  • قدرت امتیازی
    13+10 کیلو وات
  • ولتاژ
    380 ولت سه فاز
  • دمای آب خنک کننده
    5-25 درجه سانتی گراد
  • جریان آب خنک کننده
    8-10 لیتر در دقیقه
  • N2 Purge Flow
    0-120 لیتر در دقیقه
  • اتصال ورودی
    ISO160
  • اتصال خروجی
    KF50
  • سطح نویز
    ≤75 dB (a)
  • وزن
    269 ​​کیلوگرم
  • ابعاد (L×W×H)
    1695×600×1450 میلی متر
  • رابط کنترل
    I/O و RS485 (پروتکل Modbus)
  • سیستم آب بندی
    مهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
  • طراحی بلبرینگ
    پشتیبانی از بلبرینگ دو طرفه
  • حالت کنترل
    PLC هوشمند با یک دکمه Start/Stop
  • محل منبع
    چین
  • نام تجاری
    GRM
  • گواهی
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • شماره مدل
    GRM4201
  • مقدار حداقل تعداد سفارش
    1 مجموعه
  • قیمت
    USD 25,000-45,000 / Set
  • جزئیات بسته بندی
    قاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
  • زمان تحویل
    25-40 روز کاری
  • شرایط پرداخت
    T/T، L/C، Western Union
  • قابلیت ارائه
    100 ست در ماه

پمپ خلاء خشک GRM4201 4200 متر مکعب بر ساعت بدون روغن درایو PMSM ISO160 KF50 برای باتری لیتیوم HJT

پمپ خلاء خشک GRM4201

GRM4201 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت بالا 4200 متر مکعب بر ساعت است که به سطوح خلاء استثنایی با محدوده فشار کاری وسیع و قابلیت مدیریت گرد و غبار برتر دست می یابد. با پشتیبانی از بلبرینگ دو سر، موتور همزمان مغناطیس دائم کاملاً مهر و موم شده با خنک کننده آب، و کنترل هوشمند تک دکمه ای PLC، برای تولید سلول HJT، تولید باتری لیتیوم و تخلیه سریع Load-Lock نیمه هادی ایده آل است.

ویژگی های کلیدی

  • موتور همزمان مغناطیس دائم کاملاً مهر و موم شده با خنک کننده آب و درایو VFD، حداکثر گشتاور خروجی را برای فرآیندهای پرتقاضا به حداکثر می رساند و در عین حال خطر نشت روغن را از بین می برد.
  • طراحی روتور منحصر به فرد ساخته شده بر روی تجهیزات پیشرفته با دقت هندسی عالی، کاملاً قابل تعویض برای نویز کم و عمر مفید طولانی.
  • مقاوم در برابر گرد و غبار و بخار آب — نسبت به گرد و غبار و بخار آب موجود در جریان گاز پمپ شده حساس نیست.
  • طراحی فشرده و یکپارچه — فضای اشغالی کم با یکپارچگی بالای سیستم برای نصب آسان در محیط های شلوغ کارخانه.
  • حفاظت جامع — توابع حفاظتی داخلی با قابلیت انطباق قوی برای شرایط متغیر فرآیند.
  • لرزش و نویز کم — در فشار نهایی با صدای ≤75 دسی بل (A) کار می کند تا محیط کاری آرام تری داشته باشد.
  • سیستم آب بندی پیشرفته — آب بند لبه ای پیشرفته با مانع روغن لابیرنت، عملکرد آب بندی برتر و عمر مفید طولانی را فراهم می کند. همراه با پاکسازی گاز نیتروژن، از آلودگی رسانه فرآیند به مخزن روغن جلوگیری می کند و به یک محیط خلاء کاملاً بدون روغن دست می یابد.
  • کنترل و نظارت از راه دور — از رابط I/O و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه پشتیبانی می کند.
  • طراحی پشتیبانی بلبرینگ دو سر — پشتیبانی قابل اعتماد روتور، لرزش بسیار کم و قابلیت اطمینان راه اندازی برتر را فراهم می کند و آن را برای شرایط فرآیند سخت ایده آل می کند.
  • موتور کاملاً مهر و موم شده با خنک کننده آب — PMSM با راندمان بالا با درایو VFD، حداکثر گشتاور خروجی را به حداکثر می رساند. طراحی موتور کاملاً مهر و موم شده، خطر نشت روغن را از بین می برد، قابلیت اطمینان عملیاتی را افزایش می دهد و عمر مفید را افزایش می دهد.
  • سیستم کنترل هوشمند PLC — برنامه نویسی هوشمند، استارت/استاپ تک دکمه ای را امکان پذیر می کند. از رابط I/O خارجی و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus-RTU) برای ادغام کنترل و نظارت از راه دور پشتیبانی می کند.

مشخصات فنی

پارامتر مشخصات
سرعت پمپاژ 4200 متر مکعب بر ساعت
فشار نهایی ≤0.5 پاسکال
توان نامی 13+10 کیلووات
ولتاژ 380 ولت سه فاز
فشار آب خنک کننده 0.2-0.5 مگاپاسکال
جریان آب خنک کننده 8-10 لیتر در دقیقه
دمای آب خنک کننده 5-25 درجه سانتیگراد
اتصال آب خنک کننده G3/8
فشار پاکسازی N2 0.1-0.7 مگاپاسکال
جریان پاکسازی N2 0-120 لیتر در دقیقه
اتصال پاکسازی N2 G1/4
اتصال ورودی ISO160
اتصال خروجی KF50
سطح صدا ≤75 دسی بل (A)
محیط عملیاتی 5~40 درجه سانتیگراد؛ ≤80% RH
وزن 269 کیلوگرم
ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) 1695*600*1450 میلی متر

فرآیندهای کاربردی

فرآیندهای تمیز

Load-Lock، انتقال، سنجش، لیتوگرافی

فرآیندهای متوسط

فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، لایه برداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز

فرآیندهای سخت

HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD

صنایع هدف

  • سلول خورشیدی هتروجانکشن (HJT): الزامات خلاء فرآیند PECVD.
  • صنعت باتری لیتیوم: خشک کردن خلاء در مقیاس بزرگ و پردازش الکترولیت.
  • نیمه هادی: تخلیه سریع Load-Lock و پیش تمیز کردن محفظه فرآیند.
  • پوشش خلاء: کاربردهای Load-Lock سیستم پوشش PVD/CVD صنعتی.