GRM4201 یک پمپ خلاء خشک با ظرفیت بالا 4200 متر مکعب بر ساعت است که به سطوح خلاء استثنایی با محدوده فشار کاری وسیع و قابلیت مدیریت گرد و غبار برتر دست می یابد. با پشتیبانی از بلبرینگ دو سر، موتور همزمان مغناطیس دائم کاملاً مهر و موم شده با خنک کننده آب، و کنترل هوشمند تک دکمه ای PLC، برای تولید سلول HJT، تولید باتری لیتیوم و تخلیه سریع Load-Lock نیمه هادی ایده آل است.
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپاژ | 4200 متر مکعب بر ساعت |
| فشار نهایی | ≤0.5 پاسکال |
| توان نامی | 13+10 کیلووات |
| ولتاژ | 380 ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.2-0.5 مگاپاسکال |
| جریان آب خنک کننده | 8-10 لیتر در دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | 5-25 درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی N2 | 0.1-0.7 مگاپاسکال |
| جریان پاکسازی N2 | 0-120 لیتر در دقیقه |
| اتصال پاکسازی N2 | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO160 |
| اتصال خروجی | KF50 |
| سطح صدا | ≤75 دسی بل (A) |
| محیط عملیاتی | 5~40 درجه سانتیگراد؛ ≤80% RH |
| وزن | 269 کیلوگرم |
| ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) | 1695*600*1450 میلی متر |
Load-Lock، انتقال، سنجش، لیتوگرافی
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، لایه برداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD