پمپ خلاء خشک GRH1202 با ظرفیت 1200 متر مکعب بر ساعت برای نیمههادی و فتوولتائیک
-
برجسته کردن
پمپ خلاء خشک نیمههادی
,پمپ خلاء خشک 1200 متر مکعب بر ساعت
,پمپ خلاء خشک فتوولتائیک
-
نوع پمپپمپ خلاء خشک
-
سرعت پمپاژ1200 متر مکعب در ساعت
-
فشار نهایی≤0.5 Pa
-
نوع موتورموتور سنکرون مغناطیس دائم (PMSM)
-
قدرت امتیازی7.5 + 1.9 کیلو وات
-
ولتاژ380 ولت سه فاز
-
دمای آب خنک کننده5-30 درجه سانتی گراد
-
جریان آب خنک کننده≥4.7 لیتر در دقیقه
-
N2 Purge Flow4-96 لیتر در دقیقه
-
اتصال ورودیISO100
-
اتصال خروجیKF40
-
سطح نویز≤70 DB(A)
-
وزن220 کیلوگرم
-
ابعاد (L×W×H)821×420×791 میلی متر
-
رابط کنترلI/O و RS485 (پروتکل Modbus)
-
سیستم آب بندیمهر لب + مهر و موم هزارتویی با N2 Purge
-
محل منبعچین
-
نام تجاریGRH
-
گواهیISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
شماره مدلGRH1202
-
مقدار حداقل تعداد سفارش1 مجموعه
-
قیمتUSD 8,000-12,000 / Set
-
جزئیات بسته بندیقاب تخته سه لا صادراتی با مانع رطوبت مهر و موم شده با خلاء و درج فوم ضد ضربه
-
زمان تحویل15-30 روز کاری
-
شرایط پرداختT/T، L/C، Western Union
-
قابلیت ارائه500 ست در ماه
پمپ خلاء خشک GRH1202 با ظرفیت 1200 متر مکعب بر ساعت برای نیمههادی و فتوولتائیک
پمپ خلاء خشک GRH1202
GRH1202 یک پمپ خلاء خشک 1200 متر مکعب بر ساعت است که برای فرآیندهای تولید نیمه هادی، فتوولتائیک و باتری لیتیومی مهندسی شده است. این پمپ دارای محفظه پمپ کاملاً بدون روغن، ابعاد فشرده و مصرف انرژی پایین است که عملکردی قابل اعتماد با هزینه کلی مالکیت پایین را ارائه می دهد.
ویژگی های کلیدی
- موتور سنکرون مغناطیس دائم — بازده انرژی برتر و مصرف برق کمتر را در مقایسه با موتورهای القایی معمولی ارائه می دهد.
- ساختار روتور پیشرفته — قابلیت استخراج گرد و غبار بهبود یافته، که پمپ را در برابر گازهای فرآیندی حاوی ذرات بسیار مقاوم می کند.
- مقاوم در برابر گرد و غبار و بخار آب — نسبت به گرد و غبار و بخار آب موجود در جریان گاز پمپ شده بی تفاوت است.
- طراحی فشرده و یکپارچه — ابعاد کوچک با یکپارچگی بالای سیستم برای نصب آسان در محیط های شلوغ کارخانه.
- حفاظت جامع — توابع حفاظتی داخلی با قابلیت انطباق قوی برای شرایط متغیر فرآیند.
- لرزش و صدای کم — در فشار نهایی با صدای کمتر از 70 دسی بل (A) کار می کند و محیط کاری آرام تری را فراهم می کند.
- سیستم آب بندی پیشرفته — ترکیب آب بند لب و آب بند هزارتو با پاکسازی نیتروژن به طور موثری از برگشت روغن جلوگیری می کند و تمیزی خلاء بالا را در محفظه فرآیند تضمین می کند.
- کنترل و نظارت از راه دور — از رابط I/O و ارتباط RS485 (پروتکل Modbus) برای ادغام یکپارچه در سیستم های اتوماسیون کارخانه پشتیبانی می کند.
مشخصات فنی
| پارامتر | مشخصات |
|---|---|
| سرعت پمپاژ | 1200 متر مکعب بر ساعت |
| فشار نهایی | کمتر یا مساوی 0.5 پاسکال |
| توان نامی | 7.5+1.9 کیلووات |
| ولتاژ | 380 ولت سه فاز |
| فشار آب خنک کننده | 0.1-0.6 مگاپاسکال |
| جریان آب خنک کننده | بزرگتر یا مساوی 4.7 لیتر در دقیقه |
| دمای آب خنک کننده | 5-30 درجه سانتیگراد |
| اتصال آب خنک کننده | G3/8 |
| فشار پاکسازی نیتروژن | 0.2-0.6 مگاپاسکال |
| جریان پاکسازی نیتروژن | 4-96 لیتر در دقیقه |
| اتصال پاکسازی نیتروژن | G1/4 |
| اتصال ورودی | ISO100 |
| اتصال خروجی | KF40 |
| سطح صدا | کمتر یا مساوی 70 دسی بل (A) |
| محیط عملیاتی | 5~40 درجه سانتیگراد؛ کمتر یا مساوی 80% RH |
| وزن | 220 کیلوگرم |
| ابعاد (طول*عرض*ارتفاع) | 821*420*791 میلی متر |
فرآیندهای کاربردی
فرآیندهای تمیز
بارگذاری، انتقال، مترولوژی، لیتوگرافی
فرآیندهای متوسط
فرآیند PVD، پیش تمیز کردن PVD، RTA، لایه برداری/خاکستر کردن، اچ اکسید، اچ سیلیکون، منبع کاشت، اچ فلز
فرآیندهای سخت
HDP-CVD، RTP، SACVD، MOCVD، PECVD، LPCVD، ALD
صنایع هدف
- نیمه هادی: اچ کردن، کاشت یون، CVD و سایر کاربردهای فرآیندی تمیز، متوسط و سخت.
- فتوولتائیک:کوره های رشد کریستال، فرآیندهای تولید سلول.
- باتری لیتیومی:فرآیندهای خشک کردن خلاء سلول، پر کردن الکترولیت و تخلیه گاز.
- نمایشگر صفحه تخت و LED:فرآیندهای تولیدی که به محیط های خلاء با تمیزی بالا نیاز دارند.
محصولات مرتبط
محصولات ما در سراسر جهان فروخته می شود. شما می توانید از کل روند محصولات ما اطمینان داشته باشید.
