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강조하다
건조 진공 펌프 시스템 GRM41
,PMSM 에너지 효율 드라이브 펌프
,반도체 진공 코팅 솔루션
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모델GRM41
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유형건식 진공 펌프 시스템
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최대 펌핑 속도600L/분(36m³/h)
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최종 압력(가스 밸러스트 개방)10Pa 이하
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최종 압력(가스 밸러스트 폐쇄)1Pa 이하
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최대 연속 입구 압력1000 밀리바
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배기압력≤3000 Pa
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모터 파워0.75 kW
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모터 유형PMSM(영구자석 동기모터)
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전원공급장치200-240V, 단상, 50/60Hz
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정격전류2.4 A
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입구 연결KF40
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콘센트 연결KF25
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가스 밸러스트 연결PT1/4
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가스 밸러스트 압력0.02-0.05MPa
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최대 수증기 용량350g/시간
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소음 수준≤65 dB
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오일량0.25 Ｌ
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무게54kg
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치수630×347×400mm
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보호 등급IP20D
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제어 인터페이스RS485 원격 모니터링
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주변 온도5~40℃
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원래 장소중국 저장성
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브랜드 이름OEM
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모델 번호GRM41
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최소 주문 수량1세트
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가격negotiable
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포장 세부 사항충격 방지 폼 인서트와 진공 밀봉 수분 장벽을 갖춘 수출용 합판 케이스
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배달 시간주문 확인 후 영업일 기준 15~30일
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지불 조건티/티
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공급 능력달 당 200 세트
GRM41 건조 진공 펌프 시스템 600 L/min KF40 PMSM 반도체 진공 코팅을 위한 에너지 효율적인 드라이브
GRM41 건조 진공 펌프 시스템
GRM41은 고성능의 기름 없는 건조 진공 펌프 시스템입니다. 반도체 제조, 광전지 전지 생산,원판 디스플레이 제조에너지 효율적인 PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) 를 탑재하여 0.75kW의 출력을 제공합니다.이 콤팩트 시스템은 최고 압력 ≤1 Pa에서 인상적 인 600 L/min (36 m3/h) 최대 펌프 속도를 달성합니다.통합된 RS485 원격 모니터링 인터페이스는 자동 생산 환경에 원활한 통합을 가능하게합니다.
주요 특징
- PMSM 에너지 효율 드라이브:영구 자석 동기 모터 기술은 0.75 kW의 전력 소비로 뛰어난 에너지 효율을 제공하여 높은 성능을 유지하면서 운영 비용을 줄입니다.
- 기름 없는 건조 작업:프로세스 챔버에서 기름 오염 위험이 없으므로 반도체 및 태양광 제조에 필수적인 극정 깨끗한 진공 조건을 보장합니다.
- 높은 진공 성능:최후 압력은 ≤1 Pa (가스 발라스트 닫힌 상태) 및 ≤10 Pa (가스 발라스트 개방 상태) 로 요구되는 고 진공 애플리케이션에 적합합니다.
- 통합 가스 발라스트 시스템:PT1/4 연결이 장착된 가스 배러스트 밸브는 350g/h까지의 수증기를 처리하여 응축을 방지하고 펌프 사용 수명을 연장합니다.
- RS485 원격 모니터링:지능형 제어 인터페이스는 산업 4.0 통합을 위해 원격 조작, 매개 변수 모니터링 및 진단 기능을 지원합니다.
- 콤팩트한 가벼운 디자인:630*347*400mm의 크기와 54kg의 무게는 공간 제한된 청정실 환경에서 쉽게 설치 할 수 있습니다.
- 저소음 작동:소음 수준 ≤65dB, 소음 억제기와 차단 밸브가 통합되어 편안한 작업 환경을 보장합니다.
- 견고한 건축물:알루미늄 합금 및 플루오로 엘라스토머 (FKM) 밀폐로 된 주머니는 장기적인 신뢰성과 화학 호환성을 보장합니다.
- KF 표준 인터페이스:KF40 입구와 KF25 배기가스 연결을 통해 표준 진공 부품으로 도구 없이 빠르게 조립할 수 있습니다.
기술 사양
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 모델 | GRM41 |
| 종류 | 건조 진공 펌프 시스템 |
| 최대 펌프 속도 | 600 L/min (36 m3/h) |
| 최후 압력 (가스 발라스트 오픈) | ≤10 Pa |
| 최후 압력 (가스 발라스트 닫힌) | ≤1 Pa |
| 최대 연속 입기 압력 | 1000 mbar |
| 배기 압력 | ≤3000 Pa |
| 모터 전력 | 00.75kW |
| 모터 타입 | PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) |
| 전원 공급 | 200~240V, 단일 단계, 50/60Hz |
| 가속 전류 | 2.4 A |
| 입구 연결 | KF40 |
| 전원 연결 | KF25 |
| 가스 발라스트 연결 | PT1/4 |
| 가스 발라스트 압력 | 00.02-0.05 MPa |
| 최대 수증기 용량 | 350g/h |
| 소음 수준 | ≤ 65 dB |
| 기름 부피 | 0.25L |
| 무게 | 54kg |
| 크기 (L*W*H) | 630*347*400mm |
| 보호급 | IP20D |
| 제어 인터페이스 | RS485 원격 모니터링 |
| 환경 온도 | 5~40 °C |
전형적 사용법
- 반도체 웨이퍼 가공 및 제조
- 태양 전지 전지 제조 (PVD, PECVD, 에칭)
- 평면 화면 및 OLED 생산
- 진공 코팅 및 얇은 필름 퇴적
- 연구 및 실험실 고 진공 시스템
- 레이저 및 광학 산업
- 분석 기기 지원 펌프
- 부하 잠금실 대피
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