GRM1201 1200 M³/H ISO160 KF25 건식 펌프 (반도체 PV용)

주요 특징

• 영구 자석 동기 모터 — 업계 최고 수준의 낮은 전력 소비로 뛰어난 에너지 효율성을 제공합니다.
• 고급 로터 구조 — 향상된 먼지 추출 기능으로 입자가 많은 공정 환경에서도 안정적인 작동을 보장합니다.
• 먼지 및 수증기 내성 — 펌핑되는 가스 흐름에 포함된 먼지와 수증기에 영향을 받지 않습니다.
• 컴팩트하고 통합된 설계 — 작은 설치 공간과 높은 시스템 통합으로 혼잡한 팹 환경에 쉽게 설치할 수 있습니다.
• 포괄적인 보호 기능 — 다양한 공정 조건에 대한 강력한 적응성을 갖춘 내장 보호 기능.
• 낮은 진동 및 소음 — 최종 압력에서 ≤63 dB(A)로 작동하여 더 조용한 작업 환경을 제공합니다.
• 고급 밀봉 시스템 — 립 씰과 미로 씰을 질소 퍼지 기능과 결합하여 오일 역류를 효과적으로 방지하고 공정 챔버의 높은 진공 청결도를 유지합니다.
• 원격 제어 및 모니터링 — I/O 인터페이스 및 RS485 통신(Modbus 프로토콜)을 지원하여 공장 자동화 시스템에 원활하게 통합됩니다.
• 유해 가스 호환 — 가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스와 안전하게 작동합니다.