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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM601 600 M³/H Dry Vacuum Pump ISO100 KF25

GRM601 600 M3/H 건조 진공 펌프 ISO100 KF25

  • 강조하다

    ISO100 입구 건조 진공 펌프

    ,

    600m3/h 건조 진공 펌프

    ,

    KF25 출구 건조 진공 펌프

  • 펌프 유형
    건조 진공 펌프
  • 펌핑 속도
    600 m3/h
  • 궁극의 압력
    ≤0.15 Pa
  • 모터 유형
    영구자석 동기모터(PMSM)
  • 정격 출력
    1.9+1.9kW
  • 전압
    380V 삼상
  • 냉각수 온도
    5-30 ° C
  • 냉각수 흐름
    ≥4L/분
  • N2 퍼지 흐름
    12-50L/분
  • 입구 연결
    ISO100
  • 콘센트 연결
    KF25
  • 소음 수준
    63dB(A) 이하
  • 무게
    260kg
  • 치수 (L × W × H)
    865×344×751mm
  • 제어 인터페이스
    I/O 및 RS485(Modbus 프로토콜)
  • 씰링 시스템
    N2 퍼지가 포함된 립 씰 + 래버린스 씰
  • 가스 호환성
    가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스
  • 원래 장소
    중국
  • 브랜드 이름
    GRM
  • 인증
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • 모델 번호
    GRM601
  • 최소 주문 수량
    1세트
  • 가격
    USD 8,000-13,000 / Set
  • 포장 세부 사항
    진공 밀봉된 수분 장벽과 충격 방지 폼 인서트를 갖춘 수출용 합판 케이스
  • 배달 시간
    15-30 영업일
  • 지불 조건
    T/T, L/C, 웨스턴 유니온
  • 공급 능력
    달 당 300 세트

GRM601 600 M3/H 건조 진공 펌프 ISO100 KF25

GRM601 건식 진공 펌프

GRM601은 낮은 소비 전력과 높은 펌핑 속도를 제공하는 600 m³/h 건식 진공 펌프입니다. PECVD, MOCVD 및 SIC-CVD 반도체 공정을 위해 설계되었으며 가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스를 안전하게 처리합니다.

주요 특징

  • 영구 자석 동기 모터 — 업계 최저 수준의 낮은 소비 전력으로 뛰어난 에너지 효율성을 제공합니다.
  • 고급 로터 구조 — 향상된 먼지 추출 기능으로 입자가 많은 공정 환경에서 안정적인 작동을 보장합니다.
  • 먼지 및 수증기 내성 — 펌핑되는 가스 흐름에 포함된 먼지와 수증기에 영향을 받지 않습니다.
  • 컴팩트하고 통합된 디자인 — 좁은 팹 환경에 쉽게 설치할 수 있도록 작은 공간 차지와 높은 시스템 통합성을 제공합니다.
  • 포괄적인 보호 — 다양한 공정 조건에 대한 강력한 적응성을 갖춘 내장 보호 기능.
  • 낮은 진동 및 소음 — 최종 압력에서 ≤63 dB(A)로 작동하여 더 조용한 작업 환경을 제공합니다.
  • 고급 밀봉 시스템 — 립 씰과 미로 씰이 질소 퍼지와 결합되어 오일 역류를 효과적으로 방지하고 공정 챔버의 고진공 청결도를 유지합니다.
  • 원격 제어 및 모니터링 — I/O 인터페이스 및 RS485 통신(Modbus 프로토콜)을 지원하여 공장 자동화 시스템에 원활하게 통합됩니다.
  • 유해 가스 호환 — 가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스와 안전하게 작동합니다.

기술 사양

매개변수 사양
펌핑 속도 600 m³/h
최종 압력 ≤0.15 Pa
정격 전력 1.9+1.9 kW
전압 380V 삼상
냉각수 압력 0.2-0.6 MPa
냉각수 유량 ≥4 L/min
냉각수 온도 5-30 °C
냉각수 연결 G3/8
질소 퍼지 압력 0.2-0.6 MPa
질소 퍼지 유량 12-50 L/min
질소 퍼지 연결 G1/4
흡입구 연결 ISO100
배출구 연결 KF25
소음 수준 ≤63 dB(A)
작동 환경 5~40°C; ≤80% RH
무게 260 kg
치수 (L*W*H) 865*344*751 mm

응용 공정

클린 공정

로딩 잠금, 전송, 계측, 리소그래피

중간 공정

PVD 공정, PVD 사전 세척, RTA, 스트립/애싱, 산화물 에칭, 실리콘 에칭, 이온 주입 소스, 금속 에칭

가혹 공정

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

대상 산업

  • 반도체: 에칭, 이온 주입, CVD, PECVD, MOCVD 및 SIC-CVD 클린/중간/가혹 공정 응용.
  • 태양광: 결정 성장로, 셀 제조 공정.
  • 리튬 배터리: 셀 진공 건조, 전해질 충전 및 탈기 공정.
  • 평판 디스플레이 및 LED: 고청정 진공 환경이 필요한 제조 공정.