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강조하다
기름 없는 건조 진공 펌프
,4200 m3/h 건조 진공 펌프
,HJT 리?? 배터리 건조 진공 펌프
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펌프 유형건조 진공 펌프
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펌핑 속도4200m³/h
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궁극의 압력≤0.5Pa
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모터 유형영구자석 동기모터(PMSM)
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정격 출력13+10kW
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전압380V 삼상
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냉각수 온도5~25 °C
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냉각수 흐름8-10L/분
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N2 퍼지 흐름0-120L/분
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입구 연결ISO160
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콘센트 연결KF50
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소음 수준≤75 dB (a)
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무게269 KG
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치수 (L × W × H)1695×600×1450mm
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제어 인터페이스I/O 및 RS485(Modbus 프로토콜)
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씰링 시스템N2 퍼지가 포함된 립 씰 + 래버린스 씰
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베어링 설계듀얼 엔드 베어링 지원
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제어 모드원버튼 시작/정지 기능을 갖춘 스마트 PLC
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원래 장소중국
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브랜드 이름GRM
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인증ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
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모델 번호GRM4201
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최소 주문 수량1세트
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가격USD 25,000-45,000 / Set
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포장 세부 사항진공 밀봉된 수분 장벽과 충격 방지 폼 인서트를 갖춘 수출용 합판 케이스
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배달 시간25-40 영업일
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지불 조건T/T, L/C, 웨스턴 유니온
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공급 능력달 당 100 세트
GRM4201 건조 진공 펌프 4200 M3/H 기름 없는 PMSM 드라이브 ISO160 KF50 HJT 리?? 배터리
GRM4201 건식 진공 펌프
GRM4201은 4200 m³/h의 고용량 건식 진공 펌프로, 넓은 작동 압력 범위와 뛰어난 먼지 처리 능력으로 탁월한 진공 수준을 달성합니다. 듀얼 엔드 베어링 지지대, 수냉식 완전 밀폐 모터, 스마트 PLC 원 버튼 제어 기능을 갖추고 있어 HJT 셀 제조, 리튬 배터리 생산 및 반도체 로드락 신속 배기에 이상적입니다.
주요 특징
- VFD 드라이브가 장착된 수냉식 완전 밀폐 영구 자석 동기 모터는 까다로운 공정에 대한 토크 출력을 극대화하는 동시에 오일 누출 위험을 제거합니다.
- 첨단 장비로 제조된 독특한 로터 설계는 뛰어난 기하학적 정밀도를 제공하며, 저소음 및 긴 서비스 수명을 위해 완벽하게 교체 가능합니다.
- 먼지 및 수증기 내성 — 펌핑되는 가스 스트림에 포함된 먼지 및 수증기에 영향을 받지 않습니다.
- 컴팩트하고 통합된 디자인 — 좁은 공장 환경에 쉽게 설치할 수 있도록 높은 시스템 통합성을 갖춘 작은 설치 공간.
- 포괄적인 보호 — 다양한 공정 조건에 대한 강력한 적응성을 갖춘 내장 보호 기능.
- 저진동 및 저소음 — 최종 압력에서 ≤75 dB(A)로 작동하여 더 조용한 작업 환경을 제공합니다.
- 첨단 밀봉 시스템 — 미로 오일 배리어가 있는 고급 립 씰은 뛰어난 밀봉 성능과 긴 서비스 수명을 제공합니다. 질소 가스 씰 퍼지와 결합하여 오일 저장소의 공정 매체 오염을 방지하고 완전한 오일 프리 진공 환경을 달성합니다.
- 원격 제어 및 모니터링 — I/O 인터페이스 및 RS485 통신(Modbus 프로토콜)을 지원하여 공장 자동화 시스템에 원활하게 통합됩니다.
- 듀얼 엔드 베어링 지지대 설계 — 안정적인 로터 지지, 극도로 낮은 진동 및 뛰어난 시동 신뢰성을 제공하여 열악한 공정 조건에 이상적입니다.
- 수냉식 완전 밀폐 모터 — VFD 드라이브가 장착된 고효율 PMSM은 토크 출력을 극대화합니다. 완전 밀폐 모터 설계는 오일 누출 위험을 제거하여 작동 신뢰성을 향상시키고 서비스 수명을 연장합니다.
- 지능형 PLC 제어 시스템 — 스마트 프로그래밍을 통해 원 버튼 시작/중지가 가능합니다. 원격 제어 및 모니터링 통합을 위해 외부 I/O 인터페이스 및 RS485 통신(Modbus-RTU 프로토콜)을 지원합니다.
기술 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 펌핑 속도 | 4200 m³/h |
| 최종 압력 | ≤0.5 Pa |
| 정격 출력 | 13+10 kW |
| 전압 | 380V 삼상 |
| 냉각수 압력 | 0.2-0.5 MPa |
| 냉각수 유량 | 8-10 L/min |
| 냉각수 온도 | 5-25 °C |
| 냉각수 연결 | G3/8 |
| N2 퍼지 압력 | 0.1-0.7 MPa |
| N2 퍼지 유량 | 0-120 L/min |
| N2 퍼지 연결 | G1/4 |
| 흡입구 연결 | ISO160 |
| 배출구 연결 | KF50 |
| 소음 수준 | ≤75 dB(A) |
| 작동 환경 | 5~40°C; ≤80% RH |
| 무게 | 269 kg |
| 치수 (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
응용 공정
클린 공정
로드락, 이송, 계측, 리소그래피
중간 공정
PVD 공정, PVD 사전 세척, RTA, 스트립/애싱, 산화물 에칭, 실리콘 에칭, 이온 주입 소스, 금속 에칭
열악한 공정
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
대상 산업
- 이종접합(HJT) 태양전지: PECVD 공정 진공 요구 사항.
- 리튬 배터리 산업: 대규모 진공 건조 및 전해질 처리.
- 반도체: 로드락 신속 배기 및 공정 챔버 러핑.
- 진공 코팅: 산업용 PVD/CVD 코팅 시스템 로드락 응용.
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