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강조하다
영구 자석 모터 건식 진공 펌프
,3000 m³/h 건식 진공 펌프
,반도체 PV 건식 진공 펌프
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펌프 유형건조 진공 펌프
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펌핑 속도3000 m3/h
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궁극의 압력≤0.5Pa
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모터 유형영구자석 동기모터(PMSM)
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정격 출력11+7.5kW
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전압380V 삼상
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냉각수 온도5-30 ° C
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냉각수 흐름≥11L/분
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N2 퍼지 흐름43-123L/분
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입구 연결ISO160
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콘센트 연결KF40
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소음 수준70DB(A) 이하
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무게770kg
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치수 (L × W × H)922×516×988mm
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제어 인터페이스I/O 및 RS485(Modbus 프로토콜)
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씰링 시스템N2 퍼지가 포함된 립 씰 + 래버린스 씰
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원래 장소중국
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브랜드 이름GRH
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인증ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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모델 번호GRH3001
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최소 주문 수량1세트
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가격USD 18,000-25,000 / Set
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포장 세부 사항진공 밀봉된 수분 장벽과 충격 방지 폼 인서트를 갖춘 수출용 합판 케이스
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배달 시간15-30 영업일
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지불 조건T/T, L/C, 웨스턴 유니온
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공급 능력달 당 500 세트
GRH3001 3000 m³/h 건식 진공 펌프 (영구 자석 동기 모터)
GRH3001 건조 진공 펌프
GRH3001는 중~대 규모의 반도체 및 태양광 제조를 위해 만들어진 3000 m3/h 건조 진공 펌프입니다. 그것은 기름 없는 펌프 챔버, 컴팩트 디자인,그리고 높은 용량의 신뢰성 높은 성능을 위해 낮은 에너지 소비.
주요 특징
- 영구 자석 동기 모터 (Permanent Magnet Synchronous Motor) 는 전통적인 인덕션 모터에 비해 뛰어난 에너지 효율과 낮은 전력 소비를 제공합니다.
- 첨단 로터 구조 (Advanced Rotor Structure) ◎ 더 나은 먼지 추출 능력, 펌프가 입자로 가득 찬 공정 기체에 매우 견딜 수 있도록합니다.
- 먼지 및 수증기 내성이- 펌프 가스 흐름에 흡수되는 먼지와 수증기에 민감하지 않습니다.
- 콤팩트 하고 통합 된 디자인∙ 밀집된 공장 환경에서 쉽게 설치할 수 있도록 높은 시스템 통합을 가진 작은 발자국
- 포괄적 인 보호다양한 프로세스 조건에 대한 강력한 적응 능력을 갖춘 내장 보호 기능
- 낮은 진동 과 소음더 조용한 작업 공간을 위해 최대의 압력에서 ≤70 dB ((A) 에서 작동합니다.
- 첨단 밀폐 시스템입술 밀폐 및 미로 밀폐는 질소 정화와 결합하여 기름의 역류를 효과적으로 방지하여 공정 챔버의 높은 진공 청결을 보장합니다.
- 원격 제어 및 모니터링I/O 인터페이스와 RS485 통신 (Modbus 프로토콜) 을 지원하여 공장 자동화 시스템에 원활한 통합을 제공합니다.
기술 사양
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 펌프 속도 | 3000m3/h |
| 극심 한 압력 | ≤0.5 Pa |
| 등급 전력 | 11+7.5kW |
| 전압 | 380V 3단계 |
| 냉각 물 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| 냉각 물 흐름 | ≥11 L/min |
| 냉각 물 온도 | 5~30 °C |
| 냉각용 물 연결 | G3/8 |
| N2 정화 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| N2 정화 흐름 | 43-123 L/min |
| N2 정화 연결 | G1/4 |
| 입구 연결 | ISO160 |
| 전원 연결 | KF40 |
| 소음 수준 | ≤70 dB (A) |
| 운영 환경 | 5~40°C, RH ≤80% |
| 무게 | 770kg |
| 크기 (L*W*H) | 922*516*988mm |
신청 과정
깨끗 한 과정
로드 잠금, 전송, 측정, 리토그래피
중간 과정
PVD 프로세스, PVD 사전 정화, RTA, 스트립/ Ashing, 산화물 에치, 실리콘 에치, 임플란트 소스, 금속 에치
가혹 한 과정
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
대상 산업
- 반도체:에칭, 이온 이식, CVD, 그리고 다른 청정, 중간, 그리고 가혹한 프로세스 응용.
- 태양 전지:크리스탈 성장 오븐, 세포 제조 프로세스
- 리?? 배터리:세포 진공 건조, 전해질 채우기, 가스 제거 과정
- 플래트 패널 디스플레이와 LED:높은 청결을 요구하는 진공 환경의 제조 과정
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