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강조하다
PMSM 건식 진공 펌프
,200 m³/h 건식 진공 펌프
,ISO63 KF25 건식 진공 펌프
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펌프 유형건조 진공 펌프
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펌핑 속도200 m³/h
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궁극의 압력≤0.5Pa
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모터 유형영구자석 동기모터(PMSM)
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정격 출력1.9 KW
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전압380V 삼상
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냉각수 온도5-30 ° C
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냉각수 흐름≥3L/분
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N2 퍼지 흐름12-50L/분
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입구 연결ISO63
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콘센트 연결KF25
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소음 수준63dB(A) 이하
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무게150kg
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치수 (L × W × H)741×344×466mm
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제어 인터페이스I/O 및 RS485(Modbus 프로토콜)
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씰링 시스템N2 퍼지가 포함된 립 씰 + 래버린스 씰
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가스 호환성가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스
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원래 장소중국
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브랜드 이름GRM
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인증ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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모델 번호GRM201
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최소 주문 수량1세트
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가격USD 5,000-8,000 / Set
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포장 세부 사항진공 밀봉된 수분 장벽과 충격 방지 폼 인서트를 갖춘 수출용 합판 케이스
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배달 시간15-30 영업일
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지불 조건T/T, L/C, 웨스턴 유니온
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공급 능력달 당 300 세트
GRM201 PMSM 200 m³/h 건식 진공 펌프 ISO63 KF25
GRM201 건식 진공 펌프
GRM201은 낮은 전력 소비와 높은 펌핑 속도를 제공하는 200 m³/h 건식 진공 펌프입니다. 가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스를 안전하게 처리하여 PECVD, MOCVD 및 SIC-CVD 반도체 공정에 높은 신뢰성과 낮은 유지보수 비용으로 적합합니다.
주요 특징
- 영구 자석 동기 모터 — 업계 최고의 낮은 전력 소비로 뛰어난 에너지 효율을 제공합니다.
- 고급 로터 구조 — 향상된 먼지 추출 기능으로 입자가 많은 공정 환경에서 안정적인 작동을 보장합니다.
- 먼지 및 수증기 내성 — 펌핑되는 가스 흐름에 포함된 먼지와 수증기에 영향을 받지 않습니다.
- 콤팩트하고 통합된 디자인 — 좁은 제조 환경에 쉽게 설치할 수 있도록 높은 시스템 통합성을 갖춘 작은 설치 공간.
- 포괄적인 보호 — 다양한 공정 조건에 대한 강력한 적응성을 갖춘 내장 보호 기능.
- 낮은 진동 및 소음 — 최종 압력에서 ≤63 dB(A)로 작동하여 더 조용한 작업 환경을 제공합니다.
- 고급 밀봉 시스템 — 립 씰과 미로 씰이 질소 퍼지와 결합하여 오일 역류를 효과적으로 방지하고 공정 챔버의 높은 진공 청결도를 유지합니다.
- 원격 제어 및 모니터링 — I/O 인터페이스 및 RS485 통신(Modbus 프로토콜)을 지원하여 공장 자동화 시스템에 원활하게 통합됩니다.
- 유해 가스 호환 — 가연성, 폭발성 및 응축성 공정 가스로 안전하게 작동합니다.
기술 사양
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 펌핑 속도 | 200 m³/h |
| 최종 압력 | ≤0.5 Pa |
| 정격 전력 | 1.9 kW |
| 전압 | 380V 삼상 |
| 냉각수 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| 냉각수 유량 | ≥3 L/min |
| 냉각수 온도 | 5-30 °C |
| 냉각수 연결 | G3/8 |
| N2 퍼지 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| N2 퍼지 유량 | 12-50 L/min |
| N2 퍼지 연결 | G1/4 |
| 흡입구 연결 | ISO63 |
| 배출구 연결 | KF25 |
| 소음 수준 | ≤63 dB(A) |
| 작동 환경 | 5~40°C; ≤80% RH |
| 무게 | 150 kg |
| 치수 (L*W*H) | 741*344*466 mm |
응용 공정
클린 공정
로드록, 전송, 계측, 리소그래피
중간 공정
PVD 공정, PVD 사전 세척, RTA, 스트립/애싱, 산화물 에칭, 실리콘 에칭, 이온 주입 소스, 금속 에칭
가혹 공정
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
대상 산업
- 반도체: 에칭, 이온 주입, CVD, PECVD, MOCVD 및 SIC-CVD 클린/중간/가혹 공정 응용 분야.
- 태양광: 결정 성장로, 셀 제조 공정.
- 리튬 배터리: 셀 진공 건조, 전해질 충전 및 탈기 공정.
- 평판 디스플레이 및 LED: 고청정 진공 환경을 요구하는 제조 공정.
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