GRH6001은 대규모 반도체 및 태양광 생산 라인을 위해 설계된 고용량 6000 m³/h 건식 진공 펌프입니다. 오일 프리 펌프 챔버, 컴팩트한 설치 공간, 낮은 에너지 소비를 특징으로 하여 대량 생산에 적합합니다.
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 펌핑 속도 | 6000 m³/h |
| 최종 압력 | ≤0.5 Pa |
| 정격 전력 | 11+7.5 kW |
| 전압 | 380V 삼상 |
| 냉각수 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| 냉각수 유량 | ≥11 L/min |
| 냉각수 온도 | 5-30 °C |
| 냉각수 연결 | G3/8 |
| N2 퍼지 압력 | 0.2-0.6 MPa |
| N2 퍼지 유량 | 43-123 L/min |
| N2 퍼지 연결 | G1/4 |
| 흡입구 연결 | ISO250 |
| 배출구 연결 | KF40 |
| 소음 수준 | ≤70 dB(A) |
| 작동 환경 | 5~40°C; ≤80% RH |
| 무게 | 846 kg |
| 치수 (L*W*H) | 1076*516*988 mm |
로드락, 트랜스퍼, 계측, 리소그래피
PVD 공정, PVD 사전 세척, RTA, 스트립/애싱, 산화물 식각, 실리콘 식각, 이온 주입 소스, 금속 식각
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD