logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম 600 L/min KF40 PMSM সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম লেপ জন্য শক্তি দক্ষ ড্রাইভ

  • বিশেষভাবে তুলে ধরা

    শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম GRM41

    ,

    পিএমএসএম এনার্জি এফেক্টিভ ড্রাইভ পাম্প

    ,

    সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম লেপ সমাধান

  • মডেল
    GRM41
  • টাইপ
    শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম
  • সর্বোচ্চ পাম্পিং গতি
    600 L/মিনিট (36 m³/h)
  • চূড়ান্ত চাপ (গ্যাস ব্যালাস্ট ওপেন)
    ≤10 Pa
  • চূড়ান্ত চাপ (গ্যাস ব্যালাস্ট বন্ধ)
    ≤1 Pa
  • সর্বোচ্চ ক্রমাগত খাঁড়ি চাপ
    1000 এমবার
  • নিষ্কাশন চাপ
    ≤3000 Pa
  • মোটর পাওয়ার
    0.75 কিলোওয়াট
  • মোটর প্রকার
    পিএমএসএম (স্থায়ী চৌম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর)
  • পাওয়ার সাপ্লাই
    200-240V, একক ফেজ, 50/60Hz
  • রেট করা বর্তমান
    2.4 ক
  • ইনলেট সংযোগ
    KF40
  • আউটলেট সংযোগ
    KF25
  • গ্যাস ব্যালাস্ট সংযোগ
    পিটি 1/4
  • গ্যাস ব্যালাস্ট চাপ
    0.02-0.05 MPa
  • সর্বোচ্চ জলীয় বাষ্প ক্ষমতা
    350 গ্রাম/ঘণ্টা
  • নয়েজ লেভেল
    ≤65 ডিবি
  • তেলের পরিমাণ
    0.25 এল
  • ওজন
    54 কেজি
  • মাত্রা
    630×347×400 মিমি
  • সুরক্ষা ক্লাস
    IP20D
  • কন্ট্রোল ইন্টারফেস
    RS485 রিমোট মনিটরিং
  • পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা
    5-40 ℃
  • উৎপত্তি স্থল
    ঝেজিয়াং, চীন
  • পরিচিতিমুলক নাম
    OEM
  • মডেল নম্বার
    GRM41
  • ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
    1 সেট
  • মূল্য
    negotiable
  • প্যাকেজিং বিবরণ
    শক-প্রুফ ফোম সন্নিবেশ এবং ভ্যাকুয়াম-সিল করা আর্দ্রতা বাধা সহ এক্সপোর্ট-গ্রেড প্লাইউড কেস
  • ডেলিভারি সময়
    অর্ডার নিশ্চিতকরণের পরে 15-30 কার্যদিবস
  • পরিশোধের শর্ত
    টি/টি
  • যোগানের ক্ষমতা
    প্রতি মাসে 200 সেট

GRM41 শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম 600 L/min KF40 PMSM সেমিকন্ডাক্টর ভ্যাকুয়াম লেপ জন্য শক্তি দক্ষ ড্রাইভ

GRM41 শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম

GRM41 হল একটি উচ্চ পারফরম্যান্সের তেল মুক্ত শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম যা সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন, ফোটোভোলটাইক সেল উৎপাদন,এবং ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন উত্পাদন. একটি পিএমএসএম (স্থায়ী চুম্বকীয় সিঙ্ক্রোনাস মোটর) শক্তি দক্ষ ড্রাইভ দিয়ে সজ্জিত যা 0.75 কেডব্লিউ আউটপুট সরবরাহ করে,এই কম্প্যাক্ট সিস্টেমটি একটি চূড়ান্ত চাপ ≤ 1 Pa এর সাথে 600 L/min (36 m3/h) এর একটি চিত্তাকর্ষক সর্বাধিক পাম্পিং গতি অর্জন করে• ইন্টিগ্রেটেড আরএস ৪৮৫ রিমোট মনিটরিং ইন্টারফেস স্বয়ংক্রিয় উৎপাদন পরিবেশে নির্বিঘ্নে সংহতকরণ সক্ষম করে।

মূল বৈশিষ্ট্য

  • পিএমএসএম এনার্জি এফেক্টিভ ড্রাইভঃস্থায়ী চুম্বকীয় সিঙ্ক্রোন মোটর প্রযুক্তি 0.75 কিলোওয়াট শক্তি খরচ সহ উচ্চতর শক্তি দক্ষতা সরবরাহ করে, উচ্চ কর্মক্ষমতা বজায় রেখে অপারেটিং ব্যয় হ্রাস করে।
  • তেল মুক্ত শুকনো অপারেশনঃপ্রক্রিয়া চেম্বারে তেলের দূষণের ঝুঁকি নেই, যা অর্ধপরিবাহী এবং ফোটোভোলটাইক উত্পাদনের জন্য অত্যন্ত পরিষ্কার ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজনীয়তা নিশ্চিত করে।
  • উচ্চ ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্সঃচূড়ান্ত চাপ ≤1 Pa (গ্যাস ব্যালস্ট বন্ধ) এবং ≤10 Pa (গ্যাস ব্যালস্ট খোলা) অর্জন করে, উচ্চ শূন্যতা অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত।
  • ইন্টিগ্রেটেড গ্যাস ব্যালস্ট সিস্টেমঃপিটি 1/4 সংযোগ সহ অন্তর্নির্মিত গ্যাস ব্যালস্ট ভালভ 350 গ্রাম / ঘন্টা পর্যন্ত জলীয় বাষ্প পরিচালনা করে, ঘনীভবন রোধ করে এবং পাম্পের পরিষেবা জীবন বাড়ায়।
  • RS485 রিমোট মনিটরিং:ইন্টেলিজেন্ট কন্ট্রোল ইন্টারফেস ইন্ডাস্ট্রি ৪.০ ইন্টিগ্রেশনের জন্য রিমোট অপারেশন, প্যারামিটার মনিটরিং এবং ডায়াগনস্টিক ক্ষমতা সমর্থন করে।
  • কমপ্যাক্ট লাইটওয়েট ডিজাইনঃ৬৩০*৩৪৭*৪০০ মিমি আকারের এবং মাত্র ৫৪ কেজি ওজনের এই মেশিনটি স্পেস সীমিত ক্লিনরুমে সহজেই ইনস্টল করা যায়।
  • কম শব্দ অপারেশনঃসাউন্ড লেভেল ≤65 ডিবি ইন্টিগ্রেটেড সাইলেন্সার এবং চেক ভালভের সাথে, আরামদায়ক কাজের পরিবেশ নিশ্চিত করে।
  • দৃঢ় নির্মাণঃঅ্যালুমিনিয়াম খাদ এবং ফ্লুরো-ইলাস্টোমার (এফকেএম) সিল সহ কাস্ট আয়রন হাউজ দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা এবং রাসায়নিক সামঞ্জস্যতা নিশ্চিত করে।
  • কেএফ স্ট্যান্ডার্ড ইন্টারফেসঃস্ট্যান্ডার্ড ভ্যাকুয়াম উপাদানগুলির সাথে দ্রুত, টুল-মুক্ত সমাবেশের জন্য KF40 ইনলেট এবং KF25 নিষ্কাশন সংযোগ।

টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন

প্যারামিটারস্পেসিফিকেশন
মডেলGRM41
প্রকারশুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম
সর্বাধিক পাম্পিং গতি৬০০ লিটার/মিনিট (৩৬ মিটার/ঘন্টা)
চূড়ান্ত চাপ (গ্যাস ব্যালস্ট খোলা)≤10 Pa
চূড়ান্ত চাপ (গ্যাস ব্যালস্ট বন্ধ)≤১ Pa
সর্বাধিক অবিচ্ছিন্ন ইনলেট চাপ১০০০ এমবিআর
নিষ্কাশন চাপ≤৩০০০ পা
মোটর শক্তি0.75 কিলোওয়াট
মোটর প্রকারপিএমএসএম (স্থায়ী চুম্বকীয় সিঙ্ক্রোনিক মোটর)
পাওয়ার সাপ্লাই২০০-২৪০ ভোল্ট, একক ফেজ, ৫০/৬০ হার্জ
নামমাত্র বর্তমান2.4 এ
ইনলেট সংযোগKF40
আউটলেট সংযোগকেএফ২৫
গ্যাস ব্যালস্ট সংযোগPT1/4
গ্যাস ব্যালস্ট চাপ0.০২-০.০৫ এমপিএ
সর্বাধিক জলীয় বাষ্প ক্ষমতা৩৫০ গ্রাম/ঘন্টা
গোলমাল স্তর≤65 ডিবি
তেলের ভলিউম0.২৫ লিটার
ওজন৫৪ কেজি
মাত্রা (L*W*H)৬৩০*৩৪৭*৪০০ মিমি
সুরক্ষা শ্রেণিআইপি২০ডি
কন্ট্রোল ইন্টারফেসRS485 দূরবর্তী পর্যবেক্ষণ
পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা৫-৪০ ডিগ্রি সেলসিয়াস

সাধারণ অ্যাপ্লিকেশন

  • সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ ও উৎপাদন
  • ফোটোভোলটাইক সেল উৎপাদন (পিভিডি, পিইসিভিডি, ইটচিং)
  • ফ্ল্যাট প্যানেল প্রদর্শন এবং OLED উৎপাদন
  • ভ্যাকুয়াম লেপ এবং পাতলা ফিল্ম জমা
  • গবেষণা এবং পরীক্ষাগার উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম
  • লেজার ও অপটিক্স শিল্প
  • বিশ্লেষণাত্মক যন্ত্রপাতি সমর্থন পাম্প
  • লোড লক চেম্বার সরান