-
বিশেষভাবে তুলে ধরা
ISO100 ইনলেট শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
,600 m3/h শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
,KF25 আউটলেট শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
-
পাম্পের ধরনশুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
-
পাম্পিং গতি600 m³/ঘণ্টা
-
চূড়ান্ত চাপ≤0.15 Pa
-
মোটর প্রকারস্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর (PMSM)
-
রেট পাওয়ার1.9+1.9 কিলোওয়াট
-
ভোল্টেজ380V তিন-ফেজ
-
শীতল জলের তাপমাত্রা5-30 °সে
-
শীতল জল প্রবাহ≥4 লি/মিনিট
-
N2 পার্জ ফ্লো12-50 লি/মিনিট
-
ইনলেট সংযোগISO100
-
আউটলেট সংযোগKF25
-
নয়েজ লেভেল≤63 dB(A)
-
ওজন260 কেজি
-
মাত্রা (L×W×H)865×344×751 মিমি
-
কন্ট্রোল ইন্টারফেসI/O এবং RS485 (মডবাস প্রোটোকল)
-
সিলিং সিস্টেমN2 পার্জ সহ ঠোঁট সীল + গোলকধাঁধা সীল
-
গ্যাস সামঞ্জস্যতাদাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাস
-
উৎপত্তি স্থলচীন
-
পরিচিতিমুলক নামGRM
-
সাক্ষ্যদানISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
মডেল নম্বারGRM601
-
ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ1 সেট
-
মূল্যUSD 8,000-13,000 / Set
-
প্যাকেজিং বিবরণভ্যাকুয়াম-সিল করা আর্দ্রতা বাধা এবং শক-প্রুফ ফোম সন্নিবেশ সহ এক্সপোর্ট-গ্রেড প্লাইউড কেস
-
ডেলিভারি সময়15-30 কার্যদিবস
-
পরিশোধের শর্তটি/টি, এল/সি, ওয়েস্টার্ন ইউনিয়ন
-
যোগানের ক্ষমতাপ্রতি মাসে 300 সেট
GRM601 600 M3/H শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প ISO100 KF25
GRM601 শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
GRM601 একটি 600 m3/h শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প যা কম শক্তি খরচ এবং উচ্চ পাম্পিং গতি প্রদান করে। এটি নিরাপদে জ্বলনযোগ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি পরিচালনা করে, যা PECVD, MOCVD,এবং এসআইসি-সিভিডি সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস.
মূল বৈশিষ্ট্য
- স্থায়ী চুম্বক সমন্বয়কারী মোটর ∙ শিল্পের শীর্ষস্থানীয় কম শক্তি খরচ সহ উচ্চতর শক্তি দক্ষতা সরবরাহ করে।
- উন্নত রোটর কাঠামো ধুলো নিষ্কাশন ক্ষমতা উন্নত কণা-ভারী প্রক্রিয়া পরিবেশে নির্ভরযোগ্য অপারেশন নিশ্চিত করে।
- ধুলো এবং জলীয় বাষ্প সহনশীল√ পাম্প করা গ্যাস প্রবাহের মধ্যে ধুলো এবং জলীয় বাষ্পের প্রতি সংবেদনশীল নয়।
- কম্প্যাক্ট এবং ইন্টিগ্রেটেড ডিজাইনজনাকীর্ণ কারখানা পরিবেশে সহজেই ইনস্টলেশনের জন্য উচ্চ সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন সহ ছোট পদচিহ্ন।
- ব্যাপক সুরক্ষাবিভিন্ন প্রক্রিয়া অবস্থার জন্য শক্তিশালী অভিযোজনযোগ্যতার সাথে অন্তর্নির্মিত সুরক্ষা ফাংশন।
- কম কম্পন এবং গোলমালএকটি নীরব কর্মক্ষেত্রের জন্য সর্বোচ্চ চাপে ≤63 ডিবিএল (এ) এ কাজ করে।
- উন্নত সিলিং ব্যবস্থা✓ লিপ সিল এবং ল্যাবরেন্ট সিল নাইট্রোজেন শুদ্ধকরণের সাথে একত্রে কার্যকরভাবে তেল ব্যাক-স্ট্রিমিং রোধ করে, প্রক্রিয়া চেম্বারে উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিষ্কারতা বজায় রাখে।
- রিমোট কন্ট্রোল এবং মনিটরিংফ্যাক্টরি অটোমেশন সিস্টেমে নির্বিঘ্নে সংহতকরণের জন্য I/O ইন্টারফেস এবং RS485 যোগাযোগ (মডবাস প্রোটোকল) সমর্থন করে।
- বিপজ্জনক গ্যাস সামঞ্জস্যপূর্ণ∙ জ্বলনযোগ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির সাথে নিরাপদ অপারেশন।
টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | ৬০০ মি৩/ঘন্টা |
| চূড়ান্ত চাপ | ≤0.15 Pa |
| নামমাত্র শক্তি | 1.9+1.9 কিলোওয়াট |
| ভোল্টেজ | ৩৮০ ভোল্ট থ্রি-ফেজ |
| শীতল জল চাপ | 0.2-0.6 এমপিএ |
| শীতল জল প্রবাহ | ≥4 L/min |
| শীতল পানির তাপমাত্রা | ৫-৩০ ডিগ্রি সেলসিয়াস |
| শীতল জল সংযোগ | জি৩/৮ |
| N2 শুদ্ধকরণ চাপ | 0.2-0.6 এমপিএ |
| N2 শুদ্ধিকরণ প্রবাহ | ১২-৫০ লিটার/মিনিট |
| N2 শুদ্ধকরণ সংযোগ | G1/4 |
| ইনলেট সংযোগ | আইএসও ১০০ |
| আউটলেট সংযোগ | কেএফ২৫ |
| গোলমাল স্তর | ≤63 dB ((A) |
| অপারেটিং পরিবেশ | 5 ~ 40°C; ≤ 80% RH |
| ওজন | ২৬০ কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | ৮৬৫*৩৪৪*৭৫১ মিমি |
আবেদন প্রক্রিয়া
পরিষ্কার প্রক্রিয়া
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
মাঝারি প্রক্রিয়া
পিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি প্রাক-পরিষ্কার, আরটিএ, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড ইটচ, সিলিকন ইটচ, ইমপ্লান্ট উত্স, ধাতব ইটচ
কঠোর প্রক্রিয়া
এইচডিপি-সিভিডি, আরটিপি, এসএসিভিডি, এমওসিভিডি, পিইসিভিডি, এলপিসিভিডি, এলডি
লক্ষ্য শিল্প
- সেমিকন্ডাক্টর:ইটচিং, আইওন ইমপ্লান্টেশন, সিভিডি, পিইসিভিডি, এমওসিভিডি এবং এসআইসি-সিভিডি পরিষ্কার / মাঝারি / কঠোর প্রক্রিয়া অ্যাপ্লিকেশন।
- ফোটোভোলটাইকঃক্রিস্টাল গ্রোথ ফার্নেস, সেল উৎপাদন প্রক্রিয়া।
- লিথিয়াম ব্যাটারি:সেল ভ্যাকুয়াম শুকানোর, ইলেক্ট্রোলাইট ভরাট, এবং ডিগ্যাসিং প্রক্রিয়া।
- ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে এবং এলইডিঃউচ্চ পরিচ্ছন্নতা ভ্যাকুয়াম পরিবেশে প্রয়োজন উত্পাদন প্রক্রিয়া।
সংশ্লিষ্ট পণ্য
আমাদের পণ্যগুলি সারা বিশ্ব জুড়ে বিক্রি হয় You আপনি আমাদের পণ্যগুলির সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া সম্পর্কে নিশ্চিত থাকতে পারেন।
