GRM1201 হল একটি 1200 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা কম বিদ্যুৎ খরচ এবং উচ্চ পাম্পিং গতি সহ বড় নিষ্কাশন ভলিউম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এটি দাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি পরিচালনা করে, যা PECVD, MOCVD এবং SIC-CVD-এর মতো কঠিন প্রক্রিয়াগুলির জন্য তৈরি।
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | 1200 m³/h |
| চূড়ান্ত চাপ | ≤0.15 Pa |
| রেট করা শক্তি | 1.9+1.9 kW |
| ভোল্টেজ | 380V তিন-ফেজ |
| কুলিং ওয়াটার চাপ | 0.2-0.6 MPa |
| কুলিং ওয়াটার ফ্লো | ≥4 L/min |
| কুলিং ওয়াটার তাপমাত্রা | 5-30 °C |
| কুলিং ওয়াটার সংযোগ | G3/8 |
| N2 পার্জ চাপ | 0.2-0.6 MPa |
| N2 পার্জ ফ্লো | 12-50 L/min |
| N2 পার্জ সংযোগ | G1/4 |
| ইনলেট সংযোগ | ISO160 |
| আউটলেট সংযোগ | KF25 |
| শব্দ স্তর | ≤63 dB(A) |
| অপারেটিং পরিবেশ | 5~40°C; ≤80% RH |
| ওজন | 260 কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | 865*344*751 মিমি |
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
PVD প্রক্রিয়া, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD