logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM1201 1200 M³/H ISO160 KF25 Dry Pump For Semiconductor PV

GRM1201 1200 M³/H ISO160 KF25 ড্রাই পাম্প সেমিকন্ডাক্টর পিভি-এর জন্য

  • বিশেষভাবে তুলে ধরা

    সেমিকন্ডাক্টর পিভি ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

    ,

    1200 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

    ,

    ISO160 KF25 ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

  • পাম্পের ধরন
    শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
  • পাম্পিং গতি
    1200 m³/ঘণ্টা
  • চূড়ান্ত চাপ
    ≤0.15 Pa
  • মোটর প্রকার
    স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর (PMSM)
  • রেট পাওয়ার
    1.9+1.9 কিলোওয়াট
  • ভোল্টেজ
    380V তিন-ফেজ
  • শীতল জলের তাপমাত্রা
    5-30 °সে
  • শীতল জল প্রবাহ
    ≥4 লি/মিনিট
  • N2 পার্জ ফ্লো
    12-50 লি/মিনিট
  • ইনলেট সংযোগ
    ISO160
  • আউটলেট সংযোগ
    KF25
  • নয়েজ লেভেল
    ≤63 dB(A)
  • ওজন
    260 কেজি
  • মাত্রা (L×W×H)
    865×344×751 মিমি
  • কন্ট্রোল ইন্টারফেস
    I/O এবং RS485 (মডবাস প্রোটোকল)
  • সিলিং সিস্টেম
    N2 পার্জ সহ ঠোঁট সীল + গোলকধাঁধা সীল
  • গ্যাস সামঞ্জস্যতা
    দাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাস
  • উৎপত্তি স্থল
    চীন
  • পরিচিতিমুলক নাম
    GRM
  • সাক্ষ্যদান
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • মডেল নম্বার
    GRM1201
  • ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
    1 সেট
  • মূল্য
    USD 13,000-20,000 / Set
  • প্যাকেজিং বিবরণ
    ভ্যাকুয়াম-সিল করা আর্দ্রতা বাধা এবং শক-প্রুফ ফোম সন্নিবেশ সহ এক্সপোর্ট-গ্রেড প্লাইউড কেস
  • ডেলিভারি সময়
    15-30 কার্যদিবস
  • পরিশোধের শর্ত
    টি/টি, এল/সি, ওয়েস্টার্ন ইউনিয়ন
  • যোগানের ক্ষমতা
    প্রতি মাসে 300 সেট

GRM1201 1200 M³/H ISO160 KF25 ড্রাই পাম্প সেমিকন্ডাক্টর পিভি-এর জন্য

GRM1201 ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

GRM1201 হল একটি 1200 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা কম বিদ্যুৎ খরচ এবং উচ্চ পাম্পিং গতি সহ বড় নিষ্কাশন ভলিউম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এটি দাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি পরিচালনা করে, যা PECVD, MOCVD এবং SIC-CVD-এর মতো কঠিন প্রক্রিয়াগুলির জন্য তৈরি।

মূল বৈশিষ্ট্য

  • স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর — শিল্প-নেতৃস্থানীয় কম বিদ্যুৎ খরচ সহ উন্নত শক্তি দক্ষতা প্রদান করে।
  • উন্নত রোটর কাঠামো — উন্নত ধুলো নিষ্কাশন ক্ষমতা কণা-ভারী প্রক্রিয়া পরিবেশে নির্ভরযোগ্য অপারেশন নিশ্চিত করে।
  • ধুলো এবং জলীয় বাষ্প সহনশীল — পাম্প করা গ্যাস প্রবাহে থাকা ধুলো এবং জলীয় বাষ্পের প্রতি সংবেদনশীল নয়।
  • কম্প্যাক্ট এবং সমন্বিত নকশা — ছোট ফুটপ্রিন্ট সহ উচ্চ সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন যা ভিড়যুক্ত ফ্যাব পরিবেশে সহজে ইনস্টলেশনের জন্য উপযুক্ত।
  • ব্যাপক সুরক্ষা — পরিবর্তনশীল প্রক্রিয়া অবস্থার জন্য শক্তিশালী অভিযোজিত ক্ষমতা সহ বিল্ট-ইন সুরক্ষা ফাংশন।
  • কম কম্পন এবং শব্দ — চূড়ান্ত চাপে ≤63 dB(A) তে কাজ করে, যা একটি শান্ত কর্মক্ষেত্র তৈরি করে।
  • উন্নত সিলিং সিস্টেম — লিপ সিল এবং ল্যাবিরিন্থ সিল নাইট্রোজেন পার্জের সাথে মিলিত হয়ে তেল ব্যাক-স্ট্রিম প্রতিরোধ করে, প্রক্রিয়া চেম্বারে উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখে।
  • দূরবর্তী নিয়ন্ত্রণ এবং পর্যবেক্ষণ — ফ্যাক্টরি অটোমেশন সিস্টেমে নির্বিঘ্ন ইন্টিগ্রেশনের জন্য I/O ইন্টারফেস এবং RS485 যোগাযোগ (Modbus প্রোটোকল) সমর্থন করে।
  • বিপজ্জনক গ্যাস সামঞ্জস্যপূর্ণ — দাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির সাথে নিরাপদ অপারেশন।

প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন

প্যারামিটার স্পেসিফিকেশন
পাম্পিং গতি 1200 m³/h
চূড়ান্ত চাপ ≤0.15 Pa
রেট করা শক্তি 1.9+1.9 kW
ভোল্টেজ 380V তিন-ফেজ
কুলিং ওয়াটার চাপ 0.2-0.6 MPa
কুলিং ওয়াটার ফ্লো ≥4 L/min
কুলিং ওয়াটার তাপমাত্রা 5-30 °C
কুলিং ওয়াটার সংযোগ G3/8
N2 পার্জ চাপ 0.2-0.6 MPa
N2 পার্জ ফ্লো 12-50 L/min
N2 পার্জ সংযোগ G1/4
ইনলেট সংযোগ ISO160
আউটলেট সংযোগ KF25
শব্দ স্তর ≤63 dB(A)
অপারেটিং পরিবেশ 5~40°C; ≤80% RH
ওজন 260 কেজি
মাত্রা (L*W*H) 865*344*751 মিমি

প্রয়োগ প্রক্রিয়া

পরিষ্কার প্রক্রিয়া

লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি

মাঝারি প্রক্রিয়া

PVD প্রক্রিয়া, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ

কঠিন প্রক্রিয়া

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

লক্ষ্য শিল্প

  • সেমিকন্ডাক্টর: এচিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, সিভিড, পিইসিডভিড, এমওসিডভিড, এবং এসআইসি-সিডভিড পরিষ্কার/মাঝারি/কঠিন প্রক্রিয়া অ্যাপ্লিকেশন।
  • ফটোভোলটাইক: ক্রিস্টাল গ্রোথ ফার্নেস, সেল ম্যানুফ্যাকচারিং প্রক্রিয়া।
  • লিথিয়াম ব্যাটারি: সেল ভ্যাকুয়াম ড্রাইং, ইলেক্ট্রোলাইট ফিলিং, এবং ডিগ্যাসিং প্রক্রিয়া।
  • ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে এবং এলইডি: উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা ভ্যাকুয়াম পরিবেশের প্রয়োজন এমন উত্পাদন প্রক্রিয়া।