GRM201 হল একটি 200 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা কম বিদ্যুৎ খরচ এবং উচ্চ পাম্পিং গতি সরবরাহ করে। এটি নিরাপদে দাহ্য, বিস্ফোরক এবং ঘনীভূত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলি পরিচালনা করে, যা এটিকে উচ্চ নির্ভরযোগ্যতা এবং কম রক্ষণাবেক্ষণ খরচে PECVD, MOCVD এবং SIC-CVD সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | 200 m³/h |
| চূড়ান্ত চাপ | ≤0.5 Pa |
| রেট করা শক্তি | 1.9 kW |
| ভোল্টেজ | 380V তিন-ফেজ |
| কুলিং ওয়াটার প্রেসার | 0.2-0.6 MPa |
| কুলিং ওয়াটার ফ্লো | ≥3 L/min |
| কুলিং ওয়াটার টেম্পারেচার | 5-30 °C |
| কুলিং ওয়াটার কানেকশন | G3/8 |
| N2 পার্জ প্রেসার | 0.2-0.6 MPa |
| N2 পার্জ ফ্লো | 12-50 L/min |
| N2 পার্জ কানেকশন | G1/4 |
| ইনলেট কানেকশন | ISO63 |
| আউটলেট কানেকশন | KF25 |
| শব্দ স্তর | ≤63 dB(A) |
| অপারেটিং এনভায়রনমেন্ট | 5~40°C; ≤80% RH |
| ওজন | 150 কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | 741*344*466 মিমি |
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
PVD প্রক্রিয়া, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD