GRM4201 একটি উচ্চ ক্ষমতা 4200 m3/h শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প যা ব্যাপক কাজের চাপ পরিসীমা এবং উচ্চতর ধুলো হ্যান্ডলিংয়ের সাথে ব্যতিক্রমী ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জন করে।জল-শীতল সম্পূর্ণরূপে সিল করা মোটর, এবং স্মার্ট পিএলসি এক বোতাম নিয়ন্ত্রণ, এটি এইচজেটি সেল উত্পাদন, লিথিয়াম ব্যাটারি উত্পাদন, এবং অর্ধপরিবাহী লোড-লক দ্রুত সরানোর জন্য আদর্শ।
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | ৪২০০ m3/h |
| চূড়ান্ত চাপ | ≤0.5 Pa |
| নামমাত্র শক্তি | ১৩+১০ কিলোওয়াট |
| ভোল্টেজ | ৩৮০ ভোল্ট থ্রি-ফেজ |
| শীতল জল চাপ | 0.2-0.5 এমপিএ |
| শীতল জল প্রবাহ | ৮-১০ লিটার/মিনিট |
| শীতল পানির তাপমাত্রা | ৫-২৫ ডিগ্রি সেলসিয়াস |
| শীতল জল সংযোগ | জি৩/৮ |
| N2 শুদ্ধকরণ চাপ | 0.1-0.7 এমপিএ |
| N2 শুদ্ধিকরণ প্রবাহ | ০-১২০ লিটার/মিনিট |
| N2 শুদ্ধকরণ সংযোগ | G1/4 |
| ইনলেট সংযোগ | আইএসও ১৬০ |
| আউটলেট সংযোগ | KF50 |
| গোলমাল স্তর | ≤75 dB ((A) |
| অপারেটিং পরিবেশ | 5 ~ 40°C; ≤ 80% RH |
| ওজন | ২৬৯ কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | 1695*600*1450 মিমি |
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
পিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি প্রাক-পরিষ্কার, আরটিএ, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড ইটচ, সিলিকন ইটচ, ইমপ্লান্ট উত্স, ধাতব ইটচ
এইচডিপি-সিভিডি, আরটিপি, এসএসিভিডি, এমওসিভিডি, পিইসিভিডি, এলপিসিভিডি, এলডি