logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRH3001 3000 M³/H dry type vacuum pump with Permanent Magnet Synchronous Motor

GRH3001 3000 M3/H স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোন মোটর সঙ্গে শুকনো টাইপ ভ্যাকুয়াম পাম্প

  • বিশেষভাবে তুলে ধরা

    স্থায়ী চৌম্বক মোটর শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প

    ,

    3000 মি 3 / ঘন্টা শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প

    ,

    সেমিকন্ডাক্টর পিভি ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

  • পাম্পের ধরন
    শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
  • পাম্পিং গতি
    3000 m³/ঘণ্টা
  • চূড়ান্ত চাপ
    ≤0.5 Pa
  • মোটর প্রকার
    স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর (PMSM)
  • রেট পাওয়ার
    11+7.5 কিলোওয়াট
  • ভোল্টেজ
    380V তিন-ফেজ
  • শীতল জলের তাপমাত্রা
    5-30 °সে
  • শীতল জল প্রবাহ
    ≥11 লি/মিনিট
  • N2 পার্জ ফ্লো
    43-123 লি/মিনিট
  • ইনলেট সংযোগ
    ISO160
  • আউটলেট সংযোগ
    KF40
  • নয়েজ লেভেল
    ≤70 DB(A)
  • ওজন
    770 কেজি
  • মাত্রা (L×W×H)
    922×516×988 মিমি
  • কন্ট্রোল ইন্টারফেস
    I/O এবং RS485 (মডবাস প্রোটোকল)
  • সিলিং সিস্টেম
    N2 পার্জ সহ ঠোঁট সীল + গোলকধাঁধা সীল
  • উৎপত্তি স্থল
    চীন
  • পরিচিতিমুলক নাম
    GRH
  • সাক্ষ্যদান
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • মডেল নম্বার
    GRH3001
  • ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ
    1 সেট
  • মূল্য
    USD 18,000-25,000 / Set
  • প্যাকেজিং বিবরণ
    ভ্যাকুয়াম-সিল করা আর্দ্রতা বাধা এবং শক-প্রুফ ফোম সন্নিবেশ সহ এক্সপোর্ট-গ্রেড প্লাইউড কেস
  • ডেলিভারি সময়
    15-30 কার্যদিবস
  • পরিশোধের শর্ত
    টি/টি, এল/সি, ওয়েস্টার্ন ইউনিয়ন
  • যোগানের ক্ষমতা
    প্রতি মাসে 500 সেট

GRH3001 3000 M3/H স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোন মোটর সঙ্গে শুকনো টাইপ ভ্যাকুয়াম পাম্প

GRH3001 ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প

GRH3001 হল একটি 3000 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা মাঝারি থেকে বড় আকারের সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক উৎপাদনের জন্য নির্মিত। এটি একটি তেল-মুক্ত পাম্প চেম্বার, কমপ্যাক্ট ডিজাইন এবং নির্ভরযোগ্য উচ্চ-ভলিউম পারফরম্যান্সের জন্য কম শক্তি খরচকে একত্রিত করে।

মূল বৈশিষ্ট্য

  • স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর — প্রচলিত ইন্ডাকশন মোটরগুলির তুলনায় উন্নত শক্তি দক্ষতা এবং কম বিদ্যুৎ খরচ প্রদান করে।
  • উন্নত রোটর কাঠামো — উন্নত ধুলো নিষ্কাশন ক্ষমতা, পাম্পটিকে পার্টিকুলেট-যুক্ত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির প্রতি অত্যন্ত সহনশীল করে তোলে।
  • ধুলো এবং জলীয় বাষ্প সহনশীল — পাম্প করা গ্যাস প্রবাহে থাকা ধুলো এবং জলীয় বাষ্পের প্রতি সংবেদনশীল নয়।
  • কমপ্যাক্ট এবং সমন্বিত ডিজাইন — ভিড়যুক্ত ফ্যাব পরিবেশে সহজ ইনস্টলেশনের জন্য উচ্চ সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন সহ ছোট ফুটপ্রিন্ট।
  • ব্যাপক সুরক্ষা — পরিবর্তনশীল প্রক্রিয়া অবস্থার জন্য শক্তিশালী অভিযোজিত ক্ষমতা সহ বিল্ট-ইন সুরক্ষা ফাংশন।
  • কম কম্পন এবং শব্দ — একটি শান্ত কর্মক্ষেত্রের জন্য আল্টিমেট চাপে ≤70 dB(A) এ কাজ করে।
  • উন্নত সিলিং সিস্টেম — নাইট্রোজেন পার্জের সাথে মিলিত লিপ সিল এবং ল্যাবিরিন্থ সিল কার্যকরভাবে তেল ব্যাক-স্ট্রিম প্রতিরোধ করে, প্রক্রিয়া চেম্বারে উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে।
  • দূরবর্তী নিয়ন্ত্রণ এবং পর্যবেক্ষণ — ফ্যাক্টরি অটোমেশন সিস্টেমে নির্বিঘ্ন ইন্টিগ্রেশনের জন্য I/O ইন্টারফেস এবং RS485 যোগাযোগ (Modbus প্রোটোকল) সমর্থন করে।

প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন

প্যারামিটার স্পেসিফিকেশন
পাম্পিং গতি 3000 m³/h
আল্টিমেট চাপ ≤0.5 Pa
রেট করা শক্তি 11+7.5 kW
ভোল্টেজ 380V তিন-ফেজ
কুলিং ওয়াটার চাপ 0.2-0.6 MPa
কুলিং ওয়াটার ফ্লো ≥11 L/min
কুলিং ওয়াটার তাপমাত্রা 5-30 °C
কুলিং ওয়াটার সংযোগ G3/8
N2 পার্জ চাপ 0.2-0.6 MPa
N2 পার্জ ফ্লো 43-123 L/min
N2 পার্জ সংযোগ G1/4
ইনলেট সংযোগ ISO160
আউটলেট সংযোগ KF40
শব্দ স্তর ≤70 dB(A)
পরিচালনা পরিবেশ 5~40°C; ≤80% RH
ওজন 770 কেজি
মাত্রা (L*W*H) 922*516*988 মিমি

প্রয়োগ প্রক্রিয়া

পরিষ্কার প্রক্রিয়া

লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি

মাঝারি প্রক্রিয়া

PVD প্রক্রিয়া, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ

কঠিন প্রক্রিয়া

HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD

লক্ষ্য শিল্প

  • সেমিকন্ডাক্টর: এচিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, সিভিড, এবং অন্যান্য পরিষ্কার, মাঝারি এবং কঠিন প্রক্রিয়া অ্যাপ্লিকেশন।
  • ফটোভোলটাইক: ক্রিস্টাল গ্রোথ ফার্নেস, সেল ম্যানুফ্যাকচারিং প্রক্রিয়া।
  • লিথিয়াম ব্যাটারি: সেল ভ্যাকুয়াম ড্রাইং, ইলেক্ট্রোলাইট ফিলিং, এবং ডিগ্যাসিং প্রক্রিয়া।
  • ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে এবং এলইডি: উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা ভ্যাকুয়াম পরিবেশের প্রয়োজন এমন উত্পাদন প্রক্রিয়া।