GRH3001 হল একটি 3000 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা মাঝারি থেকে বড় আকারের সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক উৎপাদনের জন্য নির্মিত। এটি একটি তেল-মুক্ত পাম্প চেম্বার, কমপ্যাক্ট ডিজাইন এবং নির্ভরযোগ্য উচ্চ-ভলিউম পারফরম্যান্সের জন্য কম শক্তি খরচকে একত্রিত করে।
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | 3000 m³/h |
| আল্টিমেট চাপ | ≤0.5 Pa |
| রেট করা শক্তি | 11+7.5 kW |
| ভোল্টেজ | 380V তিন-ফেজ |
| কুলিং ওয়াটার চাপ | 0.2-0.6 MPa |
| কুলিং ওয়াটার ফ্লো | ≥11 L/min |
| কুলিং ওয়াটার তাপমাত্রা | 5-30 °C |
| কুলিং ওয়াটার সংযোগ | G3/8 |
| N2 পার্জ চাপ | 0.2-0.6 MPa |
| N2 পার্জ ফ্লো | 43-123 L/min |
| N2 পার্জ সংযোগ | G1/4 |
| ইনলেট সংযোগ | ISO160 |
| আউটলেট সংযোগ | KF40 |
| শব্দ স্তর | ≤70 dB(A) |
| পরিচালনা পরিবেশ | 5~40°C; ≤80% RH |
| ওজন | 770 কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | 922*516*988 মিমি |
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
PVD প্রক্রিয়া, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD