GRH6001 হল একটি উচ্চ ক্ষমতা 6000 m3/h শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প যা বড় আকারের অর্ধপরিবাহী এবং ফোটোভোলটাইক উত্পাদন লাইনগুলির জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এটিতে একটি তেল মুক্ত পাম্প চেম্বার রয়েছে, কমপ্যাক্ট ফুটপ্রিন্ট,এবং উচ্চ ভলিউম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য কম শক্তি খরচ.
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং গতি | ৬০০০ m3/h |
| চূড়ান্ত চাপ | ≤0.5 Pa |
| নামমাত্র শক্তি | ১১+৭.৫ কিলোওয়াট |
| ভোল্টেজ | ৩৮০ ভোল্ট থ্রি-ফেজ |
| শীতল জল চাপ | 0.2-0.6 এমপিএ |
| শীতল জল প্রবাহ | ≥১১ লিটার/মিনিট |
| শীতল পানির তাপমাত্রা | ৫-৩০ ডিগ্রি সেলসিয়াস |
| শীতল জল সংযোগ | জি৩/৮ |
| N2 শুদ্ধকরণ চাপ | 0.2-0.6 এমপিএ |
| N2 শুদ্ধিকরণ প্রবাহ | ৪৩-১২৩ লিটার/মিনিট |
| N2 শুদ্ধকরণ সংযোগ | G1/4 |
| ইনলেট সংযোগ | আইএসও ২৫০ |
| আউটলেট সংযোগ | KF40 |
| গোলমাল স্তর | ≤70 ডিবি ((এ) |
| অপারেটিং পরিবেশ | 5 ~ 40°C; ≤ 80% RH |
| ওজন | ৮৪৬ কেজি |
| মাত্রা (L*W*H) | ১০৭৬*৫১৬*৯৮৮ মিমি |
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
পিভিডি প্রক্রিয়া, পিভিডি প্রাক-পরিষ্কার, আরটিএ, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড ইটচ, সিলিকন ইটচ, ইমপ্লান্ট উত্স, ধাতব ইটচ
এইচডিপি-সিভিডি, আরটিপি, এসএসিভিডি, এমওসিভিডি, পিইসিভিডি, এলপিসিভিডি, এলডি