-
বিশেষভাবে তুলে ধরা
৩৮০ ভোল্ট থ্রি ফেজ শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
,1800 m3/h শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
,সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
-
পাম্পের ধরনশুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প
-
পাম্পিং গতি1800 m³/ঘণ্টা
-
চূড়ান্ত চাপ≤0.5 Pa
-
মোটর প্রকারস্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর (PMSM)
-
রেট পাওয়ার৭.৫+৪.৫ কিলোওয়াট
-
ভোল্টেজ380V থ্রি ফেজ
-
শীতল জলের তাপমাত্রা10-30 °সে
-
শীতল জল প্রবাহ6 লি/মিনিট
-
N2 পার্জ ফ্লো4-96 লি/মিনিট
-
ইনলেট সংযোগISO160
-
আউটলেট সংযোগKF40
-
নয়েজ লেভেল~70 dB(A)
-
ওজন472 কেজি
-
মাত্রা (L×W×H)935×420×795 মিমি
-
কন্ট্রোল ইন্টারফেসI/O এবং RS485 (মডবাস প্রোটোকল)
-
সিলিং সিস্টেমN2 পার্জ সহ ঠোঁট সীল + গোলকধাঁধা সীল
-
উৎপত্তি স্থলচীন
-
পরিচিতিমুলক নামGRH
-
সাক্ষ্যদানISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
মডেল নম্বারGRH1802
-
ন্যূনতম চাহিদার পরিমাণ1 সেট
-
মূল্যUSD 12,000-18,000 / Set
-
প্যাকেজিং বিবরণভ্যাকুয়াম-সিল করা আর্দ্রতা বাধা এবং শক-প্রুফ ফোম সন্নিবেশ সহ এক্সপোর্ট-গ্রেড প্লাইউড কেস
-
ডেলিভারি সময়15-30 কার্যদিবস
-
পরিশোধের শর্তটি/টি, এল/সি, ওয়েস্টার্ন ইউনিয়ন
-
যোগানের ক্ষমতাপ্রতি মাসে 500 সেট
৩৮০ ভোল্ট থ্রি ফেজ ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প GRH1802 1800 M3/H
GRH1802 ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প
GRH1802 একটি 1800 m³/h ড্রাই ভ্যাকুয়াম পাম্প যা সেমিকন্ডাক্টর এবং ফটোভোলটাইক প্রক্রিয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। তেল-মুক্ত পাম্প চেম্বার, কমপ্যাক্ট ফুটপ্রিন্ট এবং কম শক্তি খরচ সহ, এটি শক্তিশালী ধুলো হ্যান্ডলিং ক্ষমতা সহ নির্ভরযোগ্য কর্মক্ষমতা প্রদান করে।
মূল বৈশিষ্ট্য
- স্থায়ী চুম্বক সিঙ্ক্রোনাস মোটর — প্রচলিত ইন্ডাকশন মোটরগুলির তুলনায় উন্নত শক্তি দক্ষতা এবং কম বিদ্যুৎ খরচ প্রদান করে।
- উন্নত রোটর কাঠামো — উন্নত ধুলো নিষ্কাশন ক্ষমতা, পাম্পটিকে পার্টিকুলেট-যুক্ত প্রক্রিয়া গ্যাসগুলির প্রতি অত্যন্ত সহনশীল করে তোলে।
- ধুলো এবং জলীয় বাষ্প সহনশীল — পাম্প করা গ্যাস প্রবাহে থাকা ধুলো এবং জলীয় বাষ্পের প্রতি সংবেদনশীল নয়।
- কমপ্যাক্ট এবং সমন্বিত নকশা — ভিড়যুক্ত ফ্যাব পরিবেশগুলিতে সহজ ইনস্টলেশনের জন্য উচ্চ সিস্টেম ইন্টিগ্রেশন সহ ছোট ফুটপ্রিন্ট।
- ব্যাপক সুরক্ষা — পরিবর্তনশীল প্রক্রিয়া অবস্থার জন্য শক্তিশালী অভিযোজিত ক্ষমতা সহ বিল্ট-ইন সুরক্ষা ফাংশন।
- কম কম্পন এবং শব্দ — একটি শান্ত কর্মক্ষেত্রের জন্য আল্টিমেট চাপে <70 dB(A) তে কাজ করে।
- উন্নত সিলিং সিস্টেম — লিপ সিল এবং ল্যাবিরিন্থ সিল নাইট্রোজেন পার্জের সাথে মিলিতভাবে তেল ব্যাক-স্ট্রিম প্রতিরোধ করে, প্রক্রিয়া চেম্বারে উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে।
- দূরবর্তী নিয়ন্ত্রণ এবং পর্যবেক্ষণ — ফ্যাক্টরি অটোমেশন সিস্টেমগুলিতে নির্বিঘ্ন ইন্টিগ্রেশনের জন্য I/O ইন্টারফেস এবং RS485 যোগাযোগ (মডবাস প্রোটোকল) সমর্থন করে।
প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন
| প্যারামিটার | স্পেসিফিকেশন |
|---|---|
| পাম্পিং স্পিড | 1800 m³/h |
| আল্টিমেট প্রেসার | ≤0.5 Pa |
| রেটেড পাওয়ার | 7.5+4.5 kW |
| ভোল্টেজ | 380V থ্রি-ফেজ |
| কুলিং ওয়াটার প্রেসার | 0.3-0.6 MPa |
| কুলিং ওয়াটার ফ্লো | 6 L/min |
| কুলিং ওয়াটার টেম্পারেচার | 10-30 °C |
| কুলিং ওয়াটার কানেকশন | G3/8 |
| N2 পার্জ প্রেসার | 0.3-0.6 MPa |
| N2 পার্জ ফ্লো | 4-96 L/min |
| N2 পার্জ কানেকশন | G1/4 |
| ইনলেট কানেকশন | ISO160 |
| আউটলেট কানেকশন | KF40 |
| নয়েজ লেভেল | <70 dB(A) |
| অপারেটিং এনভায়রনমেন্ট | 5~40°C; ≤80% RH |
| ওজন | 472 কেজি |
| ডাইমেনশন (L*W*H) | 935*420*795 মিমি |
অ্যাপ্লিকেশন প্রসেস
ক্লিন প্রসেস
লোড-লক, ট্রান্সফার, মেট্রোলজি, লিথোগ্রাফি
মিডিয়াম প্রসেস
PVD প্রসেস, PVD প্রি-ক্লিন, RTA, স্ট্রিপ/অ্যাশিং, অক্সাইড এচ, সিলিকন এচ, ইমপ্লান্ট সোর্স, মেটাল এচ
হার্শ প্রসেস
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
টার্গেট ইন্ডাস্ট্রিজ
- সেমিকন্ডাক্টর: এচিং, আয়ন ইমপ্লান্টেশন, সিভিড, এবং অন্যান্য ক্লিন, মিডিয়াম এবং হার্শ প্রসেস অ্যাপ্লিকেশন।
- ফটোভোলটাইক: ক্রিস্টাল গ্রোথ ফার্নেস, সেল ম্যানুফ্যাকচারিং প্রসেস।
- লিথিয়াম ব্যাটারি: সেল ভ্যাকুয়াম ড্রাইং, ইলেক্ট্রোলাইট ফিলিং, এবং ডিগ্যাসিং প্রসেস।
- ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে এবং এলইডি: উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা ভ্যাকুয়াম পরিবেশের প্রয়োজন এমন ম্যানুফ্যাকচারিং প্রসেস।
সংশ্লিষ্ট পণ্য
আমাদের পণ্যগুলি সারা বিশ্ব জুড়ে বিক্রি হয় You আপনি আমাদের পণ্যগুলির সম্পূর্ণ প্রক্রিয়া সম্পর্কে নিশ্চিত থাকতে পারেন।
