GRM41 ระบบปั๊มสูญเปล่าแห้ง 600 L/min KF40 PMSM ไดรฟ์ประหยัดพลังงานสําหรับเคลือบคลุมสูญเปล่าครึ่งตัวนํา
-
เน้น
ระบบปั๊มสูบสูบแห้ง GRM41
,ปั๊มขับเคลื่อนประหยัดพลังงาน PMSM
,โซลูชั่นเคลือบคลุมระยะว่างของครึ่งตัวนํา
-
แบบอย่างGRM41
-
พิมพ์ระบบปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง
-
ความเร็วการสูบน้ำสูงสุด600 ลิตร/นาที (36 ลบ.ม./ชม.)
-
แรงดันสูงสุด (บัลลาสต์แก๊สเปิด)≤10ต่อปี
-
แรงดันสูงสุด (บัลลาสต์แก๊สปิด)≤1ปาสคาล
-
แรงดันขาเข้าสูงสุดต่อเนื่อง1,000 มิลลิบาร์
-
แรงดันไอเสีย≤3000ต่อปี
-
กำลังมอเตอร์0.75 kW
-
ประเภทมอเตอร์PMSM (มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร)
-
แหล่งจ่ายไฟ200-240V เฟสเดียว 50/60Hz
-
จัดอันดับปัจจุบัน2.4 ก
-
การเชื่อมต่อทางเข้าKF40
-
การเชื่อมต่อทางออกKF25
-
การเชื่อมต่อบัลลาสต์แก๊สพท.1/4
-
แรงดันบัลลาสต์แก๊ส0.02-0.05 เมกะพาสคัล
-
ความจุไอน้ำสูงสุด350 ก./ชม
-
ระดับเสียงรบกวน≤65เดซิเบล
-
ปริมาณน้ำมัน0.25 ลิตร
-
น้ำหนัก54 กิโลกรัม
-
ขนาด630×347×400 มม
-
ระดับการป้องกันIP20D
-
อินเตอร์เฟซการควบคุมRS485 การตรวจสอบระยะไกล
-
อุณหภูมิแวดล้อม5-40 ℃
-
สถานที่กำเนิดเจ้อเจียงประเทศจีน
-
ชื่อแบรนด์OEM
-
หมายเลขรุ่นGRM41
-
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ1 ชุด
-
ราคาnegotiable
-
รายละเอียดการบรรจุกล่องไม้อัดเกรดส่งออกพร้อมแผ่นโฟมกันกระแทกและแผงกั้นความชื้นปิดผนึกสูญญากาศ
-
เวลาการส่งมอบ15-30 วันทำการหลังจากยืนยันการสั่งซื้อ
-
เงื่อนไขการชำระเงินที/ที
-
สามารถในการผลิต200 ชุดต่อเดือน
GRM41 ระบบปั๊มสูญเปล่าแห้ง 600 L/min KF40 PMSM ไดรฟ์ประหยัดพลังงานสําหรับเคลือบคลุมสูญเปล่าครึ่งตัวนํา
ระบบปั๊มสุญญากาศแห้ง GRM41
GRM41 เป็นระบบปั๊มสุญญากาศแห้งแบบไร้น้ำมันประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการสุญญากาศความบริสุทธิ์สูงที่ต้องการในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ และการผลิตจอแบน ระบบขนาดกะทัดรัดนี้มาพร้อมกับไดรฟ์ประหยัดพลังงาน PMSM (Permanent Magnet Synchronous Motor) ที่ให้กำลังขับ 0.75 กิโลวัตต์ สามารถทำความเร็วในการปั๊มสูงสุดได้ถึง 600 ลิตร/นาที (36 ลบ.ม./ชม.) ด้วยแรงดันสุดท้ายที่ต่ำกว่าหรือเท่ากับ 1 Pa อินเทอร์เฟซการตรวจสอบระยะไกล RS485 ในตัวช่วยให้สามารถรวมเข้ากับสภาพแวดล้อมการผลิตอัตโนมัติได้อย่างราบรื่น
คุณสมบัติหลัก
- ไดรฟ์ประหยัดพลังงาน PMSM: เทคโนโลยีมอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวรให้ประสิทธิภาพการใช้พลังงานที่เหนือกว่าด้วยการใช้พลังงาน 0.75 กิโลวัตต์ ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานพร้อมทั้งรักษาประสิทธิภาพสูง
- การทำงานแบบไร้น้ำมันและแห้ง: ไม่มีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนของน้ำมันในห้องกระบวนการ ทำให้มั่นใจได้ถึงสภาวะสุญญากาศที่สะอาดเป็นพิเศษ ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์
- ประสิทธิภาพสุญญากาศสูง: สามารถทำแรงดันสุดท้ายได้ต่ำกว่าหรือเท่ากับ 1 Pa (เมื่อปิด Gas Ballast) และต่ำกว่าหรือเท่ากับ 10 Pa (เมื่อเปิด Gas Ballast) เหมาะสำหรับงานสุญญากาศสูงที่ต้องการ
- ระบบ Gas Ballast ในตัว: วาล์ว Gas Ballast ในตัวพร้อมการเชื่อมต่อ PT1/4 สามารถจัดการไอน้ำได้สูงสุด 350 กรัม/ชม. ป้องกันการควบแน่นและยืดอายุการใช้งานของปั๊ม
- การตรวจสอบระยะไกล RS485: อินเทอร์เฟซการควบคุมอัจฉริยะรองรับการทำงานระยะไกล การตรวจสอบพารามิเตอร์ และความสามารถในการวินิจฉัยสำหรับการรวมเข้ากับ Industry 4.0
- การออกแบบที่กะทัดรัดและน้ำหนักเบา: ขนาด 630*347*400 มม. และน้ำหนักเพียง 54 กก. ช่วยให้ติดตั้งได้ง่ายในสภาพแวดล้อมคลีนรูมที่มีพื้นที่จำกัด
- การทำงานเสียงรบกวนต่ำ: ระดับเสียงรบกวนต่ำกว่าหรือเท่ากับ 65 เดซิเบล พร้อมตัวเก็บเสียงและเช็ควาล์วในตัว ช่วยให้สภาพแวดล้อมการทำงานสะดวกสบาย
- โครงสร้างที่แข็งแรง: โครงสร้างอะลูมิเนียมอัลลอยด์และเหล็กหล่อ พร้อมซีลฟลูออโรอีลาสโตเมอร์ (FKM) รับประกันความน่าเชื่อถือในระยะยาวและความเข้ากันได้ทางเคมี
- อินเทอร์เฟซมาตรฐาน KF: การเชื่อมต่อขาเข้า KF40 และขาออก KF25 สำหรับการประกอบที่รวดเร็วโดยไม่ต้องใช้เครื่องมือกับส่วนประกอบสุญญากาศมาตรฐาน
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| รุ่น | GRM41 |
| ประเภท | ระบบปั๊มสุญญากาศแห้ง |
| ความเร็วในการปั๊มสูงสุด | 600 ลิตร/นาที (36 ลบ.ม./ชม.) |
| แรงดันสุดท้าย (เปิด Gas Ballast) | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 Pa |
| แรงดันสุดท้าย (ปิด Gas Ballast) | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 Pa |
| แรงดันขาเข้าสูงสุดต่อเนื่อง | 1000 มิลลิบาร์ |
| แรงดันขาออก | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 3000 Pa |
| กำลังมอเตอร์ | 0.75 กิโลวัตต์ |
| ประเภทมอเตอร์ | PMSM (มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร) |
| แหล่งจ่ายไฟ | 200-240V, เฟสเดียว, 50/60Hz |
| กระแสไฟพิกัด | 2.4 A |
| การเชื่อมต่อขาเข้า | KF40 |
| การเชื่อมต่อขาออก | KF25 |
| การเชื่อมต่อ Gas Ballast | PT1/4 |
| แรงดัน Gas Ballast | 0.02-0.05 MPa |
| ความจุไอน้ำสูงสุด | 350 กรัม/ชม. |
| ระดับเสียงรบกวน | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 65 เดซิเบล |
| ปริมาณน้ำมัน | 0.25 ลิตร |
| น้ำหนัก | 54 กก. |
| ขนาด (ยาว*กว้าง*สูง) | 630*347*400 มม. |
| ระดับการป้องกัน | IP20D |
| อินเทอร์เฟซควบคุม | การตรวจสอบระยะไกล RS485 |
| อุณหภูมิแวดล้อม | 5-40 องศาเซลเซียส |
การใช้งานทั่วไป
- การแปรรูปและการผลิตเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
- การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ (PVD, PECVD, การกัด)
- การผลิตจอแบนและ OLED
- การเคลือบสุญญากาศและการเคลือบฟิล์มบาง
- ระบบสุญญากาศสูงสำหรับงานวิจัยและห้องปฏิบัติการ
- อุตสาหกรรมเลเซอร์และทัศนศาสตร์
- ปั๊มรองสำหรับเครื่องมือวิเคราะห์
- การอพยพห้อง Load lock
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ผลิตภัณฑ์ของเรามีจำหน่ายทั่วโลก คุณสามารถวางใจได้ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของเรา
