GRM201 เป็นปั๊มระบายความร้อนแห้ง 200 m3/h ที่ใช้พลังงานต่ําและความเร็วในการปั๊มสูง มันจัดการกับก๊าซกระบวนการที่สามารถเผาไหม้ได้ ระเบิดได้ และทําให้มันเหมาะสําหรับ PECVDMOCVD, และกระบวนการครึ่งประสาท SIC-CVD ที่มีความน่าเชื่อถือสูงและต้นทุนการบํารุงรักษาที่ต่ํา
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ความเร็วการสูบ | 200 m3/h |
| ความ กดดัน ที่ สุด | ≤0.5 Pa |
| พลังงานระดับ | 1.9 กิโลกรัม |
| โวลเตชั่น | 380V สามเฟส |
| ความดันน้ําเย็น | 0.2-0.6 MPa |
| การไหลของน้ําเย็น | ≥ 3 ลิตร/นาที |
| อุณหภูมิน้ําเย็น | 5-30 °C |
| การเชื่อมต่อน้ําเย็น | G3/8 |
| N2 ความดันการชําระ | 0.2-0.6 MPa |
| การไหลของ N2 | 12-50 ลิตร/นาที |
| การเชื่อมต่อ N2 Purge | G1/4 |
| การเชื่อมต่อทางเข้า | ISO63 |
| การเชื่อมต่อช่องออก | KF25 |
| ระดับเสียง | ≤ 63 dB ((A) |
| สภาพแวดล้อมการทํางาน | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| น้ําหนัก | 150 กิโลกรัม |
| ขนาด (L*W*H) | 741*344*466 มิลลิเมตร |
การล็อคภาระ การถ่ายทอด เครื่องวัด เครื่องฉลาก
กระบวนการ PVD, การทําความสะอาดก่อน PVD, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
รายละเอียดของการตรวจสอบ