GRH3001 3000 M3/H ปั๊มระบายความร้อนแบบแห้ง พร้อมมอเตอร์สมองแม่เหล็กถาวร
-
เน้น
พั๊มระบายความร้อนแห้งของมอเตอร์แม่เหล็กถาวร
,ปั๊มระบายความร้อนแห้ง 3000 m3/h
,ปั๊มสูญเปล่าแห้ง PV แบบครึ่งประสาท
-
ประเภทปั๊มปั๊มสุญญากาศแห้ง
-
ความเร็วในการสูบน้ำ3000 ลบ.ม./ชม
-
แรงกดดันขั้นสูงสุด≤0.5ต่อปี
-
ประเภทมอเตอร์มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร (PMSM)
-
กำลังไฟพิกัด11+7.5 กิโลวัตต์
-
แรงดันไฟฟ้า380V สามเฟส
-
อุณหภูมิน้ำเย็น5-30 องศาเซลเซียส
-
การไหลของน้ำหล่อเย็น≥11ลิตร/นาที
-
N2 กระแสการล้าง43-123 ลิตร/นาที
-
การเชื่อมต่อทางเข้าISO160
-
การเชื่อมต่อทางออกKF40
-
ระดับเสียงรบกวน≤70 ดีบี(เอ)
-
น้ำหนัก770 กก
-
ขนาด (ยาว×กว้าง×สูง)922×516×988 มม
-
อินเตอร์เฟซการควบคุมI/O และ RS485 (โปรโตคอล Modbus)
-
ระบบซีลลิปซีล + Labyrinth Seal พร้อม N2 Purge
-
สถานที่กำเนิดจีน
-
ชื่อแบรนด์GRH
-
ได้รับการรับรองISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
หมายเลขรุ่นGRH3001
-
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ1 ชุด
-
ราคาUSD 18,000-25,000 / Set
-
รายละเอียดการบรรจุกล่องไม้อัดเกรดส่งออกพร้อมแผงกั้นความชื้นปิดผนึกสูญญากาศและแผ่นโฟมกันกระแทก
-
เวลาการส่งมอบ15-30 วันทำการ
-
เงื่อนไขการชำระเงินT/T, L/C, เวสเทิร์นยูเนี่ยน
-
สามารถในการผลิต500 ชุดต่อเดือน
GRH3001 3000 M3/H ปั๊มระบายความร้อนแบบแห้ง พร้อมมอเตอร์สมองแม่เหล็กถาวร
ปั๊มสุญญากาศแห้ง GRH3001
GRH3001 เป็นปั๊มสุญญากาศแห้งขนาด 3000 ลบ.ม./ชม. ที่ออกแบบมาสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ขนาดกลางถึงขนาดใหญ่ ผสมผสานห้องปั๊มแบบไร้น้ำมัน การออกแบบที่กะทัดรัด และการใช้พลังงานต่ำ เพื่อประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในปริมาณมาก
คุณสมบัติหลัก
- มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร — ให้ประสิทธิภาพพลังงานที่เหนือกว่าและการใช้พลังงานที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับมอเตอร์เหนี่ยวนำทั่วไป
- โครงสร้างโรเตอร์ขั้นสูง — ความสามารถในการกำจัดฝุ่นที่เพิ่มขึ้น ทำให้ปั๊มมีความทนทานสูงต่อก๊าซกระบวนการที่มีอนุภาคปนเปื้อน
- ทนทานต่อฝุ่นและไอระเหยของน้ำ — ไม่ไวต่อฝุ่นและไอระเหยของน้ำที่ปนเปื้อนในกระแสแก๊สที่ถูกปั๊ม
- การออกแบบที่กะทัดรัดและรวมเป็นหนึ่งเดียว — ใช้พื้นที่น้อยพร้อมการรวมระบบสูงเพื่อการติดตั้งที่ง่ายในสภาพแวดล้อมโรงงานที่แออัด
- การป้องกันที่ครอบคลุม — ฟังก์ชันการป้องกันในตัวพร้อมความสามารถในการปรับตัวที่แข็งแกร่งสำหรับสภาวะกระบวนการที่หลากหลาย
- การสั่นสะเทือนและเสียงรบกวนต่ำ — ทำงานที่ ≤70 dB(A) ที่แรงดันสุดท้ายเพื่อสภาพแวดล้อมการทำงานที่เงียบขึ้น
- ระบบซีลขั้นสูง — ซีลแบบลิปและซีลแบบเขาวงกต ร่วมกับการไล่ด้วยไนโตรเจน ช่วยป้องกันการไหลย้อนกลับของน้ำมันได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดของสุญญากาศสูงในห้องกระบวนการ
- การควบคุมและตรวจสอบระยะไกล — รองรับอินเทอร์เฟซ I/O และการสื่อสาร RS485 (โปรโตคอล Modbus) เพื่อการรวมเข้ากับระบบอัตโนมัติของโรงงานได้อย่างราบรื่น
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| อัตราการปั๊ม | 3000 ลบ.ม./ชม. |
| แรงดันสุดท้าย | ≤0.5 Pa |
| กำลังไฟที่กำหนด | 11+7.5 kW |
| แรงดันไฟฟ้า | 380V สามเฟส |
| แรงดันน้ำหล่อเย็น | 0.2-0.6 MPa |
| อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น | ≥11 ลิตร/นาที |
| อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | 5-30 °C |
| ข้อต่อทางน้ำหล่อเย็น | G3/8 |
| แรงดันการไล่ด้วย N2 | 0.2-0.6 MPa |
| อัตราการไหลของการไล่ด้วย N2 | 43-123 ลิตร/นาที |
| ข้อต่อการไล่ด้วย N2 | G1/4 |
| ข้อต่อทางเข้า | ISO160 |
| ข้อต่อทางออก | KF40 |
| ระดับเสียงรบกวน | ≤70 dB(A) |
| สภาพแวดล้อมการทำงาน | 5~40°C; ≤80% RH |
| น้ำหนัก | 770 กก. |
| ขนาด (ย*ก*ส) | 922*516*988 มม. |
กระบวนการใช้งาน
กระบวนการสะอาด
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
กระบวนการปานกลาง
กระบวนการ PVD, การทำความสะอาดล่วงหน้า PVD, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
กระบวนการที่รุนแรง
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
อุตสาหกรรมเป้าหมาย
- เซมิคอนดักเตอร์: การกัด, การปลูกไอออน, CVD และแอปพลิเคชันกระบวนการสะอาด ปานกลาง และรุนแรงอื่นๆ
- เซลล์แสงอาทิตย์: เตาหลอมผลึก, กระบวนการผลิตเซลล์
- แบตเตอรี่ลิเธียม: กระบวนการอบแห้งเซลล์ด้วยสุญญากาศ, การเติมอิเล็กโทรไลต์ และการไล่อากาศ
- จอแสดงผลแบบแบนและ LED: กระบวนการผลิตที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความสะอาดสูง
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ผลิตภัณฑ์ของเรามีจำหน่ายทั่วโลก คุณสามารถวางใจได้ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของเรา
