-
เน้น
ปั๊มสุญญากาศแบบแห้งไร้น้ำมัน
,ปั๊มสุญญากาศแห้ง 6000 ลบ.ม./ชม.
,ปั๊มสุญญากาศแห้งสามเฟส
-
ประเภทปั๊มปั๊มสุญญากาศแห้ง
-
ความเร็วในการสูบน้ำ6000 m3/h
-
แรงกดดันขั้นสูงสุด≤0.5ต่อปี
-
ประเภทมอเตอร์มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร (PMSM)
-
กำลังไฟพิกัด11+7.5 กิโลวัตต์
-
แรงดันไฟฟ้า380V สามเฟส
-
อุณหภูมิน้ำเย็น5-30 องศาเซลเซียส
-
การไหลของน้ำหล่อเย็น≥11ลิตร/นาที
-
N2 กระแสการล้าง43-123 ลิตร/นาที
-
การเชื่อมต่อทางเข้าISO250
-
การเชื่อมต่อทางออกKF40
-
ระดับเสียงรบกวน≤70 ดีบี(เอ)
-
น้ำหนัก846 กก
-
ขนาด (ยาว×กว้าง×สูง)1,076×516×988 มม
-
อินเตอร์เฟซการควบคุมI/O และ RS485 (โปรโตคอล Modbus)
-
ระบบซีลลิปซีล + Labyrinth Seal พร้อม N2 Purge
-
สถานที่กำเนิดจีน
-
ชื่อแบรนด์GRH
-
ได้รับการรับรองISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
หมายเลขรุ่นGRH6001
-
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ1 ชุด
-
ราคาUSD 25,000-35,000 / Set
-
รายละเอียดการบรรจุกล่องไม้อัดเกรดส่งออกพร้อมแผงกั้นความชื้นปิดผนึกสูญญากาศและแผ่นโฟมกันกระแทก
-
เวลาการส่งมอบ15-30 วันทำการ
-
เงื่อนไขการชำระเงินT/T, L/C, เวสเทิร์นยูเนี่ยน
-
สามารถในการผลิต500 ชุดต่อเดือน
ปั๊มน้ำมันแห้ง GRH6001 6000 ลบ.ม./ชม. ไม่ใช้น้ำมัน 380V สามเฟส
ปั๊มสุญญากาศแห้ง GRH6001
GRH6001 เป็นปั๊มสุญญากาศแห้งความจุสูง 6000 ลบ.ม./ชม. ออกแบบมาสำหรับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และโซลาร์เซลล์ขนาดใหญ่ มีห้องปั๊มแบบไร้น้ำมัน ขนาดกะทัดรัด และใช้พลังงานต่ำสำหรับการใช้งานปริมาณมากที่ต้องการประสิทธิภาพสูง
คุณสมบัติหลัก
- มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร — ให้ประสิทธิภาพพลังงานที่เหนือกว่าและการใช้พลังงานที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับมอเตอร์เหนี่ยวนำทั่วไป
- โครงสร้างโรเตอร์ขั้นสูง — ความสามารถในการดูดฝุ่นที่เพิ่มขึ้น ทำให้ปั๊มทนทานต่อก๊าซกระบวนการที่มีอนุภาคปนเปื้อนสูง
- ทนต่อฝุ่นและไอระเหยน้ำ — ไม่ไวต่อฝุ่นและไอระเหยน้ำที่ปนเปื้อนในกระแสแก๊สที่ถูกปั๊ม
- การออกแบบที่กะทัดรัดและรวมเป็นหนึ่งเดียว — ใช้พื้นที่น้อยพร้อมการรวมระบบสูงเพื่อการติดตั้งที่ง่ายในสภาพแวดล้อมโรงงานที่แออัด
- การป้องกันที่ครอบคลุม — ฟังก์ชันการป้องกันในตัวพร้อมความสามารถในการปรับตัวที่แข็งแกร่งสำหรับสภาวะกระบวนการที่หลากหลาย
- การสั่นสะเทือนและเสียงรบกวนต่ำ — ทำงานที่ ≤70 dB(A) ที่แรงดันสุญญากาศสูงสุด เพื่อสภาพแวดล้อมการทำงานที่เงียบขึ้น
- ระบบซีลขั้นสูง — ซีลแบบลิปและซีลแบบแลบิรินธ์ร่วมกับการไล่ด้วยไนโตรเจน ป้องกันการไหลย้อนกลับของน้ำมันได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดของสุญญากาศสูงในห้องกระบวนการ
- การควบคุมและตรวจสอบระยะไกล — รองรับอินเทอร์เฟซ I/O และการสื่อสาร RS485 (โปรโตคอล Modbus) เพื่อการรวมเข้ากับระบบอัตโนมัติของโรงงานได้อย่างราบรื่น
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| อัตราการปั๊ม | 6000 ลบ.ม./ชม. |
| แรงดันสุญญากาศสูงสุด | ≤0.5 Pa |
| กำลังไฟที่กำหนด | 11+7.5 kW |
| แรงดันไฟฟ้า | 380V สามเฟส |
| แรงดันน้ำหล่อเย็น | 0.2-0.6 MPa |
| อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น | ≥11 ลิตร/นาที |
| อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | 5-30 °C |
| ข้อต่อทางน้ำหล่อเย็น | G3/8 |
| แรงดันการไล่ด้วย N2 | 0.2-0.6 MPa |
| อัตราการไหลการไล่ด้วย N2 | 43-123 ลิตร/นาที |
| ข้อต่อการไล่ด้วย N2 | G1/4 |
| ข้อต่อทางเข้า | ISO250 |
| ข้อต่อทางออก | KF40 |
| ระดับเสียงรบกวน | ≤70 dB(A) |
| สภาพแวดล้อมการทำงาน | 5~40°C; ≤80% RH |
| น้ำหนัก | 846 กก. |
| ขนาด (ย*ก*ส) | 1076*516*988 มม. |
กระบวนการใช้งาน
กระบวนการสะอาด
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
กระบวนการปานกลาง
กระบวนการ PVD, PVD Pre-Clean, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
กระบวนการรุนแรง
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
อุตสาหกรรมเป้าหมาย
- เซมิคอนดักเตอร์: การกัด, การปลูกไอออน, CVD และกระบวนการสะอาด, ปานกลาง และรุนแรงอื่นๆ
- โซลาร์เซลล์: เตาหลอมผลึก, กระบวนการผลิตเซลล์
- แบตเตอรี่ลิเธียม: กระบวนการอบแห้งสุญญากาศเซลล์, การเติมอิเล็กโทรไลต์ และการไล่แก๊ส
- จอแสดงผลแบบแบนและ LED: กระบวนการผลิตที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความสะอาดสูง
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ผลิตภัณฑ์ของเรามีจำหน่ายทั่วโลก คุณสามารถวางใจได้ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของเรา
