logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM601 600 M³/H Dry Vacuum Pump ISO100 KF25

ปั๊มสุญญากาศแห้ง GRM601 600 ลบ.ม./ชม. ISO100 KF25

  • เน้น

    ปั๊มสุญญากาศแห้งทางเข้า ISO100

    ,

    ปั๊มสุญญากาศแห้ง 600 ลบ.ม./ชม.

    ,

    ปั๊มสุญญากาศแห้งทางออก KF25

  • ประเภทปั๊ม
    ปั๊มสุญญากาศแห้ง
  • ความเร็วในการสูบน้ำ
    600 ลบ.ม./ชม
  • แรงกดดันขั้นสูงสุด
    ≤0.15 ป่า
  • ประเภทมอเตอร์
    มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร (PMSM)
  • กำลังไฟพิกัด
    1.9+1.9 กิโลวัตต์
  • แรงดันไฟฟ้า
    380V สามเฟส
  • อุณหภูมิน้ำเย็น
    5-30 องศาเซลเซียส
  • การไหลของน้ำหล่อเย็น
    ≥4ลิตร/นาที
  • N2 กระแสการล้าง
    12-50 ลิตร/นาที
  • การเชื่อมต่อทางเข้า
    ISO100
  • การเชื่อมต่อทางออก
    KF25
  • ระดับเสียงรบกวน
    ≤63 เดซิเบล(เอ)
  • น้ำหนัก
    260 กิโลกรัม
  • ขนาด (ยาว×กว้าง×สูง)
    865×344×751 มม
  • อินเตอร์เฟซการควบคุม
    I/O และ RS485 (โปรโตคอล Modbus)
  • ระบบซีล
    ลิปซีล + Labyrinth Seal พร้อม N2 Purge
  • ความเข้ากันได้ของแก๊ส
    ก๊าซกระบวนการไวไฟ ระเบิดได้ และควบแน่นได้
  • สถานที่กำเนิด
    จีน
  • ชื่อแบรนด์
    GRM
  • ได้รับการรับรอง
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
  • หมายเลขรุ่น
    GRM601
  • จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ
    1 ชุด
  • ราคา
    USD 8,000-13,000 / Set
  • รายละเอียดการบรรจุ
    กล่องไม้อัดเกรดส่งออกพร้อมแผงกั้นความชื้นปิดผนึกสูญญากาศและแผ่นโฟมกันกระแทก
  • เวลาการส่งมอบ
    15-30 วันทำการ
  • เงื่อนไขการชำระเงิน
    T/T, L/C, เวสเทิร์นยูเนี่ยน
  • สามารถในการผลิต
    300 ชุดต่อเดือน

ปั๊มสุญญากาศแห้ง GRM601 600 ลบ.ม./ชม. ISO100 KF25

GRM601 ปั๊มดูดฝุ่นแห้ง

GRM601 เป็นปั๊มสูบสูบแห้งขนาด 600 m3/h ที่ใช้พลังงานต่ําและความเร็วการสูบสูงและกระบวนการครึ่งประสาท SIC-CVD.

ลักษณะสําคัญ

  • มอเตอร์ซินโครโนสที่ใช้แม่เหล็กถาวร ส่งประสิทธิภาพพลังงานสูงสุด ด้วยการบริโภคพลังงานที่ต่ํากว่าในอุตสาหกรรม
  • โครงสร้างโรเตอร์ที่พัฒนาขึ้น หน่วยงานการสกัดฝุ่นที่พัฒนาขึ้น ทําให้การทํางานที่น่าเชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่มีอนุภาคหนัก
  • ทนทานฝุ่นและปืนน้ํา✅ ไม่รู้สึกต่อฝุ่นและปืนน้ําที่ล่อเข้าไปในกระแสก๊าซที่ปั๊ม
  • การออกแบบที่กระชับกระชับและรวมหน่วยงานการประกอบงานขนาดเล็กที่มีการบูรณาการระบบสูง เพื่อการติดตั้งง่ายในสภาพแวดล้อมโรงงานที่เต็มไปด้วยคน
  • การ ป้องกัน อย่าง ครบวงจร✅ มีฟังก์ชันป้องกันที่ติดตั้งด้วยความสามารถในการปรับตัวอย่างแข็งแรงต่อสภาพกระบวนการที่แตกต่างกัน
  • การ สั่น สั่น และ เสียง เสียง ต่ําใช้งานที่ ≤ 63 dB ((A) ในความดันสูงสุดสําหรับสถานที่ทํางานที่เงียบลง
  • ระบบประปาที่ทันสมัย✓ ปริมฝีปากและปริม labyrinth ร่วมกับการล้างไนโตรเจนป้องกันน้ํามันไม่ให้ลื่นกลับได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยรักษาความสะอาดในห้องกระบวนการ
  • การควบคุมและติดตามทางไกลรองรับอินเตอร์เฟซ I/O และการสื่อสาร RS485 (โปรโตคอล Modbus) เพื่อการบูรณาการอย่างต่อเนื่องกับระบบอัตโนมัติโรงงาน
  • ก๊าซอันตรายเข้ากันได้✅ การทํางานอย่างปลอดภัยกับก๊าซกระบวนการที่สามารถเผาไหม้ได้ ระเบิดได้ และสามารถบดได้

รายละเอียดเทคนิค

ปริมาตร รายละเอียด
ความเร็วการสูบ 600 m3/h
ความ กดดัน ที่ สุด ≤0.15 Pa
พลังงานระดับ 1.9+1.9 กิโลกรัม
โวลเตชั่น 380V สามเฟส
ความดันน้ําเย็น 0.2-0.6 MPa
การไหลของน้ําเย็น ≥4 ลิตร/นาที
อุณหภูมิน้ําเย็น 5-30 °C
การเชื่อมต่อน้ําเย็น G3/8
N2 ความดันการชําระ 0.2-0.6 MPa
การไหลของ N2 12-50 ลิตร/นาที
การเชื่อมต่อ N2 Purge G1/4
การเชื่อมต่อทางเข้า ISO100
การเชื่อมต่อช่องออก KF25
ระดับเสียง ≤ 63 dB ((A)
สภาพแวดล้อมการทํางาน 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH
น้ําหนัก 260 กิโลกรัม
ขนาด (L*W*H) 865*344*751 มิลลิเมตร

กระบวนการสมัคร

กระบวนการที่สะอาด

การล็อคภาระ การถ่ายทอด เครื่องวัด เครื่องฉลาก

กระบวนการกลาง

กระบวนการ PVD, การทําความสะอาดก่อน PVD, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch

ขั้นตอน ที่ รุนแรง

รายละเอียดของการตรวจสอบ

อุตสาหกรรมเป้าหมาย

  • โครงสารครึ่งประสาน:การถัก, การปลูกไอออน, CVD, PECVD, MOCVD, และ SIC-CVD การใช้งานกระบวนการที่สะอาด / กลาง / รุนแรง
  • โฟตวอลเตีย:เตาเผาเจาะกระจก โครงการผลิตเซลล์
  • แบตเตอรี่ลิเดียม:กระบวนการเปียกเซลล์, เติมอิเล็กทรอลิต, และการออกแก๊ส
  • จอจอแผ่นและ LED:กระบวนการผลิตที่ต้องการสภาพแวดล้อมความสะอาดสูง