-
เน้น
380V ปั๊มสูญเปล่าแห้งสามเฟส
,ปั๊มสูบสูบแห้ง 1800 m3/h
,ปั๊มระบายความแห้งกระบวนการครึ่งตัวนํา
-
ประเภทปั๊มปั๊มสุญญากาศแห้ง
-
ความเร็วในการสูบน้ำ1800 ลบ.ม./ชม
-
แรงกดดันขั้นสูงสุด≤0.5ต่อปี
-
ประเภทมอเตอร์มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร (PMSM)
-
กำลังไฟพิกัด7.5+4.5 กิโลวัตต์
-
แรงดันไฟฟ้า380V สามเฟส
-
อุณหภูมิน้ำเย็น10-30 องศาเซลเซียส
-
การไหลของน้ำหล่อเย็น6 ลิตร/นาที
-
N2 กระแสการล้าง4-96 ลิตร/นาที
-
การเชื่อมต่อทางเข้าISO160
-
การเชื่อมต่อทางออกKF40
-
ระดับเสียงรบกวน<70 เดซิเบล(เอ)
-
น้ำหนัก472 กก
-
ขนาด (ยาว×กว้าง×สูง)935×420×795 มม
-
อินเตอร์เฟซการควบคุมI/O และ RS485 (โปรโตคอล Modbus)
-
ระบบซีลลิปซีล + Labyrinth Seal พร้อม N2 Purge
-
สถานที่กำเนิดจีน
-
ชื่อแบรนด์GRH
-
ได้รับการรับรองISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
-
หมายเลขรุ่นGRH1802
-
จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ1 ชุด
-
ราคาUSD 12,000-18,000 / Set
-
รายละเอียดการบรรจุกล่องไม้อัดเกรดส่งออกพร้อมแผงกั้นความชื้นปิดผนึกสูญญากาศและแผ่นโฟมกันกระแทก
-
เวลาการส่งมอบ15-30 วันทำการ
-
เงื่อนไขการชำระเงินT/T, L/C, เวสเทิร์นยูเนี่ยน
-
สามารถในการผลิต500 ชุดต่อเดือน
380V ปั๊มสูญเปล่าแห้งสามเฟส GRH1802 1800 M3/H
ปั๊มสุญญากาศแห้ง GRH1802
GRH1802 เป็นปั๊มสุญญากาศแห้งขนาด 1800 ลบ.ม./ชม. ออกแบบมาสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ที่ต้องการประสิทธิภาพสูง ด้วยห้องปั๊มแบบไร้น้ำมัน ขนาดกะทัดรัด และการใช้พลังงานต่ำ ให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้พร้อมความสามารถในการจัดการฝุ่นที่แข็งแกร่ง
คุณสมบัติหลัก
- มอเตอร์ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวร — ให้ประสิทธิภาพพลังงานที่เหนือกว่าและการใช้พลังงานที่ต่ำกว่าเมื่อเทียบกับมอเตอร์เหนี่ยวนำทั่วไป
- โครงสร้างโรเตอร์ขั้นสูง — เพิ่มความสามารถในการสกัดฝุ่น ทำให้ปั๊มทนทานต่อก๊าซกระบวนการที่มีอนุภาคปนเปื้อนสูง
- ทนทานต่อฝุ่นและไอระเหยของน้ำ — ไม่ไวต่อฝุ่นและไอระเหยของน้ำที่ปนเปื้อนในกระแสแก๊สที่ถูกปั๊ม
- การออกแบบที่กะทัดรัดและรวมเป็นหนึ่งเดียว — ใช้พื้นที่น้อยพร้อมการรวมระบบสูงเพื่อการติดตั้งที่ง่ายในสภาพแวดล้อมโรงงานที่แออัด
- การป้องกันที่ครอบคลุม — ฟังก์ชันการป้องกันในตัวพร้อมความสามารถในการปรับตัวที่แข็งแกร่งสำหรับสภาวะกระบวนการที่แตกต่างกัน
- การสั่นสะเทือนและเสียงรบกวนต่ำ — ทำงานที่ <70 dB(A) ที่แรงดันสุญญากาศสูงสุดเพื่อสภาพแวดล้อมการทำงานที่เงียบขึ้น
- ระบบซีลขั้นสูง — ซีลแบบลิปและซีลแบบเขาวงกต ร่วมกับการไล่ด้วยไนโตรเจน ป้องกันการไหลย้อนกลับของน้ำมันได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ถึงความสะอาดของสุญญากาศสูงในห้องกระบวนการ
- การควบคุมและตรวจสอบระยะไกล — รองรับอินเทอร์เฟซ I/O และการสื่อสาร RS485 (โปรโตคอล Modbus) เพื่อการรวมเข้ากับระบบอัตโนมัติในโรงงานได้อย่างราบรื่น
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
| พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| อัตราการปั๊ม | 1800 ลบ.ม./ชม. |
| แรงดันสุญญากาศสูงสุด | ≤0.5 Pa |
| กำลังไฟที่กำหนด | 7.5+4.5 kW |
| แรงดันไฟฟ้า | 380V สามเฟส |
| แรงดันน้ำหล่อเย็น | 0.3-0.6 MPa |
| อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น | 6 ลิตร/นาที |
| อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | 10-30 °C |
| ข้อต่อทางน้ำหล่อเย็น | G3/8 |
| แรงดันการไล่ด้วย N2 | 0.3-0.6 MPa |
| อัตราการไหลการไล่ด้วย N2 | 4-96 ลิตร/นาที |
| ข้อต่อการไล่ด้วย N2 | G1/4 |
| ข้อต่อทางเข้า | ISO160 |
| ข้อต่อทางออก | KF40 |
| ระดับเสียง | <70 dB(A) |
| สภาพแวดล้อมการทำงาน | 5~40°C; ≤80% RH |
| น้ำหนัก | 472 กก. |
| ขนาด (ย*ก*ส) | 935*420*795 มม. |
กระบวนการใช้งาน
กระบวนการสะอาด
Load-Lock, Transfer, Metrology, Lithography
กระบวนการปานกลาง
กระบวนการ PVD, การทำความสะอาดล่วงหน้า PVD, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
กระบวนการที่รุนแรง
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
อุตสาหกรรมเป้าหมาย
- เซมิคอนดักเตอร์: การกัด, การปลูกไอออน, CVD และแอปพลิเคชันกระบวนการสะอาด, ปานกลาง และรุนแรงอื่นๆ
- เซลล์แสงอาทิตย์: เตาหลอมผลึก, กระบวนการผลิตเซลล์
- แบตเตอรี่ลิเธียม: กระบวนการอบแห้งเซลล์ด้วยสุญญากาศ, การเติมอิเล็กโทรไลต์ และการไล่อากาศ
- จอแสดงผลแบบแบนและ LED: กระบวนการผลิตที่ต้องการสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่มีความสะอาดสูง
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
ผลิตภัณฑ์ของเรามีจำหน่ายทั่วโลก คุณสามารถวางใจได้ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของเรา
