GRM4201 เป็นปั๊มสูบสูบแห้งขนาดสูง 4200 m3/h ประสบความสําเร็จระดับสูบเฉพาะอย่างยิ่งกับช่วงความดันการทํางานที่กว้างและการจัดการฝุ่นที่ดีกว่าเครื่องยนต์เย็นด้วยน้ํา ปิดเต็ม, และการควบคุม PLC ที่ฉลาดด้วยปุ่มเดียว, มันเหมาะสําหรับการผลิตเซลล์ HJT, การผลิตแบตเตอรี่ลิเดียม, และการถอนเร็วแบบ Load-Lock semiconductor.
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ความเร็วการสูบ | 4200 m3/h |
| ความ กดดัน ที่ สุด | ≤0.5 Pa |
| พลังงานระดับ | 13+10 กิโลกรัม |
| โวลเตชั่น | 380V สามเฟส |
| ความดันน้ําเย็น | 0.2-0.5 MPa |
| การไหลของน้ําเย็น | 8-10 ลิตร/นาที |
| อุณหภูมิน้ําเย็น | 5-25 °C |
| การเชื่อมต่อน้ําเย็น | G3/8 |
| N2 ความดันการชําระ | 0.1-0.7 MPa |
| การไหลของ N2 | 0-120 ลิตร/นาที |
| การเชื่อมต่อ N2 Purge | G1/4 |
| การเชื่อมต่อทางเข้า | ISO160 |
| การเชื่อมต่อช่องออก | ก.ฟ. 50 |
| ระดับเสียง | ≤ 75 dB ((A) |
| สภาพแวดล้อมการทํางาน | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| น้ําหนัก | 269 กิโลกรัม |
| ขนาด (L*W*H) | 1695*600*1450 มิลลิเมตร |
การล็อคภาระ การถ่ายทอด เครื่องวัด เครื่องฉลาก
กระบวนการ PVD, การทําความสะอาดก่อน PVD, RTA, Strip/Ashing, Oxide Etch, Silicon Etch, Implant Source, Metal Etch
รายละเอียดของการตรวจสอบ