GRM41 Sistema di pompa a vuoto secco 600 L/min KF40 PMSM Azionamento ad alta efficienza energetica per il rivestimento a vuoto dei semiconduttori
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Sistema di pompa a vuoto a secco GRM41
,Pompa di propulsione ad efficienza energetica PMSM
,Soluzione di rivestimento a vuoto per semiconduttori
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ModelloGRM41
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TipoSistema di pompe per vuoto a secco
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Velocità massima di pompaggio600 l/min (36 m³/ora)
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Pressione finale (gas ballast aperto)≤10 Pa
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Pressione finale (gas ballast chiuso)≤1 Pa
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Pressione di ingresso continua massima1000 mbar
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Pressione di scarico≤3000 Pa
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Potenza del motore0,75 kW
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Tipo di motorePMSM (Motore sincrono a magnete permanente)
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Alimentazione elettrica200-240 V, monofase, 50/60 Hz
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Corrente nominale2,4 A
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Connessione di ingressoKF40
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Connessione di uscitaKF25
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Collegamento del gas ballastPT1/4
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Pressione del gas di zavorra0,02-0,05 MPa
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Capacità massima di vapore acqueo350 g/ora
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Livello di rumore≤ 65 dB
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Volume olio0,25 L
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Peso54 kg
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Dimensioni630×347×400mm
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Classe di protezioneIP20D
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Interfaccia di controlloMonitoraggio remoto RS485
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Temperatura ambiente5-40 °C
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Luogo di origineZhejiang, Cina
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MarcaOEM
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Numero di modelloGRM41
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Quantità di ordine minimo1 set
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Prezzonegotiable
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Imballaggi particolariCustodia in compensato per esportazione con inserto in schiuma antiurto e barriera contro l'umid
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Tempi di consegna15-30 giorni lavorativi dalla conferma dell'ordine
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Termini di pagamentoT/T
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Capacità di alimentazione200 set al mese
GRM41 Sistema di pompa a vuoto secco 600 L/min KF40 PMSM Azionamento ad alta efficienza energetica per il rivestimento a vuoto dei semiconduttori
Sistema di pompa per vuoto a secco GRM41
Il GRM41 è un sistema di pompa per vuoto a secco oil-free ad alte prestazioni progettato per processi di vuoto ad alta purezza in applicazioni esigenti nella produzione di semiconduttori, nella produzione di celle fotovoltaiche e nella fabbricazione di display a schermo piatto. Dotato di un azionamento ad alta efficienza energetica PMSM (motore sincrono a magneti permanenti) con una potenza di uscita di 0,75 kW, questo sistema compatto raggiunge un'impressionante velocità di pompaggio massima di 600 L/min (36 m³/h) con una pressione finale di ≤1 Pa. L'interfaccia di monitoraggio remoto RS485 integrata consente un'integrazione perfetta negli ambienti di produzione automatizzati.
Caratteristiche principali
- Azionamento ad alta efficienza energetica PMSM: La tecnologia del motore sincrono a magneti permanenti offre un'elevata efficienza energetica con un consumo di 0,75 kW, riducendo i costi operativi e mantenendo prestazioni elevate.
- Funzionamento a secco senza olio: Nessun rischio di contaminazione da olio nelle camere di processo, garantendo condizioni di vuoto ultra-pulite essenziali per la produzione di semiconduttori e fotovoltaici.
- Prestazioni di alto vuoto: Raggiunge una pressione finale di ≤1 Pa (gas ballast chiuso) e ≤10 Pa (gas ballast aperto), adatto per applicazioni ad alto vuoto esigenti.
- Sistema di gas ballast integrato: La valvola di gas ballast integrata con connessione PT1/4 gestisce vapore acqueo fino a 350 g/h, prevenendo la condensazione e prolungando la durata della pompa.
- Monitoraggio remoto RS485: L'interfaccia di controllo intelligente supporta il funzionamento remoto, il monitoraggio dei parametri e le capacità diagnostiche per l'integrazione Industry 4.0.
- Design compatto e leggero: Dimensioni di 630*347*400 mm e peso di soli 54 kg consentono una facile installazione in ambienti di camera bianca con spazio limitato.
- Funzionamento a basso rumore: Livello di rumore ≤65 dB con silenziatore e valvola di ritegno integrati, garantendo ambienti di lavoro confortevoli.
- Costruzione robusta: L'alloggiamento in lega di alluminio e ghisa con guarnizioni in fluoroelastomero (FKM) garantisce affidabilità a lungo termine e compatibilità chimica.
- Interfacce standard KF: Connessioni di ingresso KF40 e di uscita KF25 per un montaggio rapido e senza attrezzi con componenti per vuoto standard.
Specifiche tecniche
| Parametro | Specifiche |
|---|---|
| Modello | GRM41 |
| Tipo | Sistema di pompa per vuoto a secco |
| Velocità di pompaggio massima | 600 L/min (36 m³/h) |
| Pressione finale (gas ballast aperto) | ≤10 Pa |
| Pressione finale (gas ballast chiuso) | ≤1 Pa |
| Pressione di ingresso continua massima | 1000 mbar |
| Pressione di scarico | ≤3000 Pa |
| Potenza motore | 0,75 kW |
| Tipo motore | PMSM (motore sincrono a magneti permanenti) |
| Alimentazione | 200-240V, monofase, 50/60Hz |
| Corrente nominale | 2,4 A |
| Connessione di ingresso | KF40 |
| Connessione di uscita | KF25 |
| Connessione gas ballast | PT1/4 |
| Pressione gas ballast | 0,02-0,05 MPa |
| Capacità massima vapore acqueo | 350 g/h |
| Livello di rumore | ≤65 dB |
| Volume olio | 0,25 L |
| Peso | 54 kg |
| Dimensioni (L*P*A) | 630*347*400 mm |
| Classe di protezione | IP20D |
| Interfaccia di controllo | Monitoraggio remoto RS485 |
| Temperatura ambiente | 5-40 °C |
Applicazioni tipiche
- Lavorazione e fabbricazione di wafer di semiconduttori
- Produzione di celle fotovoltaiche (PVD, PECVD, etching)
- Produzione di display a schermo piatto e OLED
- Rivestimento sottovuoto e deposizione di film sottili
- Sistemi di alto vuoto per ricerca e laboratorio
- Industria laser e ottica
- Pompa di pre-vuoto per strumentazione analitica
- Evacuazione camera di carico
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