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SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM4201 Dry Vacuum Pump 4200 M³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 For HJT Lithium Battery

Pompa per vuoto a secco GRM4201 4200 m³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 per batteria al litio HJT

  • Evidenziare

    Pompa a vuoto a secco senza olio

    ,

    Pompa per vuoto a secco da 4200 m³/h

    ,

    Pompa per vuoto a secco per batteria al litio HJT

  • Tipo di pompa
    pompa a vuoto a secco
  • Velocità di pompaggio
    4200 m³/h
  • Pressione estrema
    ≤0,5 Pa
  • Tipo di motore
    Motore sincrono a magneti permanenti (PMSM)
  • Potenza nominale
    13+10KW
  • Voltaggio
    Trifase 380V
  • Temperatura dell'acqua di raffreddamento
    5-25 °C
  • Flusso dell'acqua di raffreddamento
    8-10 l/min
  • Flusso di spurgo N2
    0-120 l/min
  • Connessione di ingresso
    ISO160
  • Connessione di uscita
    50 franchi
  • Livello di rumore
    ≤75 dB (A)
  • Peso
    269 CHILOGRAMMI
  • Dimensioni (L × W × H)
    1695×600×1450 mm
  • Interfaccia di controllo
    I/O e RS485 (protocollo Modbus)
  • Sistema di tenuta
    Guarnizione a labbro + Guarnizione a labirinto con spurgo N2
  • Progettazione del cuscinetto
    Supporto per cuscinetti a doppia estremità
  • Modalità di controllo
    PLC intelligente con avvio/arresto con un solo pulsante
  • Luogo di origine
    Cina
  • Marca
    GRM
  • Certificazione
    ISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018, CE, ETL
  • Numero di modello
    GRM4201
  • Quantità di ordine minimo
    1 set
  • Prezzo
    USD 25,000-45,000 / Set
  • Imballaggi particolari
    Custodia in compensato per esportazione con barriera contro l'umidità sigillata sotto vuoto e in
  • Tempi di consegna
    25-40 giorni lavorativi
  • Termini di pagamento
    T/T, L/C, Western Union
  • Capacità di alimentazione
    100 set al mese

Pompa per vuoto a secco GRM4201 4200 m³/H Oil Free PMSM Drive ISO160 KF50 per batteria al litio HJT

GRM4201 Pompa a vuoto a secco

La pompa GRM4201 è una pompa a vuoto a secco di alta capacità di 4200 m3/h che raggiunge livelli di vuoto eccezionali con un ampio intervallo di pressione di lavoro e una gestione della polvere superiore.motore completamente sigillato raffreddato ad acqua, e controllo PLC intelligente a un pulsante, è ideale per la produzione di celle HJT, produzione di batterie al litio e evacuazione rapida del semiconduttore Load-Lock.

Caratteristiche chiave

  • Il motore sincrono a magnete permanente completamente sigillato raffreddato ad acqua con azionamento VFD massimizza la coppia di uscita per processi impegnativi eliminando al contempo il rischio di perdite di olio.
  • Disegno del rotore unico, realizzato su attrezzature avanzate con eccellente precisione geometrica, completamente intercambiabile per basso rumore e lunga durata di vita.
  • Tollerante alla polvere e al vapore acqueo- Insensibile alla polvere e al vapore acqueo trasportati nel flusso di gas pompato.
  • Progettazione compatta e integrata¢ Piccola presenza di prodotti con elevata integrazione del sistema per una facile installazione in ambienti di fabbrica affollati.
  • Protezione completa- funzioni di protezione integrate con una forte capacità di adattamento a diverse condizioni di processo.
  • Basse vibrazioni e rumore¢ Funzionamento a ≤ 75 dB (A) a pressione massima per un ambiente di lavoro più silenzioso.
  • Sistema di sigillamento avanzato¢ Il sigillo labirintico avanzato con barriera di olio labirintico offre prestazioni di sigillamento superiori e una durata di vita prolungata.impedisce la contaminazione dei mezzi di processo del serbatoio di olio, ottenendo un ambiente a vuoto completamente privo di olio.
  • Controllo e monitoraggio a distanzaSupporta l'interfaccia I/O e la comunicazione RS485 (protocollo Modbus) per l'integrazione senza soluzione di continuità nei sistemi di automazione di fabbrica.
  • Progettazione del supporto del cuscinetto a doppia estremitàFornisce un supporto affidabile del rotore, vibrazioni estremamente basse e affidabilità di avvio superiore, rendendolo ideale per condizioni di processo difficili.
  • Motore completamente sigillato raffreddato ad acquaIl motore è completamente sigillato, eliminando il rischio di perdite di olio, migliorando l'affidabilità operativa e prolungando la durata di vita.
  • Sistema di controllo PLC intelligenteLa programmazione intelligente consente l'avvio/arresto con un solo pulsante. Supporta l'interfaccia I/O esterna e la comunicazione RS485 (protocollo Modbus-RTU) per l'integrazione del controllo remoto e del monitoraggio.

Specifiche tecniche

Parametro Specificità
Velocità di pompaggio 4200 m3/h
La massima pressione ≤ 0,5 Pa
Potenza nominale 13+10 kW
Voltaggio 380V trifase
Pressione dell'acqua di raffreddamento 0.2-0.5 MPa
Flusso dell'acqua di raffreddamento 8-10 l/min
Temperatura dell'acqua di raffreddamento 5-25 °C
Connessione dell'acqua di raffreddamento G3/8
N2 Pressione di depurazione 00,1-0,7 MPa
Flusso di depurazione di N2 0-120 l/min
Connessione di depurazione N2 G1/4
Connessione di ingresso ISO 160
Connessione di presa 50 franchi
Livello di rumore ≤ 75 dB (A)
Ambiente operativo 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH
Peso 269 kg
Dimensioni (L*W*H) 1695*600*1450 mm

Processi di applicazione

Processi puliti

Lavoratori, trasferitori, metrologi, litografi

Processi medi

Processo PVD, Prepulizia PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch di ossido, Etch di silicio, Fonte di impianto, Etch di metallo

Processi difficili

Dati di riferimento per la determinazione del valore di riferimento

Industria bersaglio

  • Cella solare a eterogruppo (HJT):Requisiti di vuoto del processo PECVD.
  • Batteria al litio industriale:Asciugatura a vuoto su larga scala e lavorazione degli elettroliti.
  • di potenza superiore a 50 WEvacuazione rapida di carico-blocco e raffreddamento della camera di processo.
  • Rivestimento a vuoto:Applicazioni industriali di blocco del carico dei sistemi di rivestimento PVD/CVD.