La pompa GRM4201 è una pompa a vuoto a secco di alta capacità di 4200 m3/h che raggiunge livelli di vuoto eccezionali con un ampio intervallo di pressione di lavoro e una gestione della polvere superiore.motore completamente sigillato raffreddato ad acqua, e controllo PLC intelligente a un pulsante, è ideale per la produzione di celle HJT, produzione di batterie al litio e evacuazione rapida del semiconduttore Load-Lock.
| Parametro | Specificità |
|---|---|
| Velocità di pompaggio | 4200 m3/h |
| La massima pressione | ≤ 0,5 Pa |
| Potenza nominale | 13+10 kW |
| Voltaggio | 380V trifase |
| Pressione dell'acqua di raffreddamento | 0.2-0.5 MPa |
| Flusso dell'acqua di raffreddamento | 8-10 l/min |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 5-25 °C |
| Connessione dell'acqua di raffreddamento | G3/8 |
| N2 Pressione di depurazione | 00,1-0,7 MPa |
| Flusso di depurazione di N2 | 0-120 l/min |
| Connessione di depurazione N2 | G1/4 |
| Connessione di ingresso | ISO 160 |
| Connessione di presa | 50 franchi |
| Livello di rumore | ≤ 75 dB (A) |
| Ambiente operativo | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| Peso | 269 kg |
| Dimensioni (L*W*H) | 1695*600*1450 mm |
Lavoratori, trasferitori, metrologi, litografi
Processo PVD, Prepulizia PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch di ossido, Etch di silicio, Fonte di impianto, Etch di metallo
Dati di riferimento per la determinazione del valore di riferimento