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Pompa a vuoto secco di ingresso ISO100
,Pompa a vuoto a secco da 600 m3/h
,KF25 Pompa a vuoto secco di uscita
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Tipo di pompapompa a vuoto a secco
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Velocità di pompaggioun ³ /h da 600 m.
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Pressione estrema≤0,15 Pa
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Tipo di motoreMotore sincrono a magneti permanenti (PMSM)
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Potenza nominale1,9+1,9 kW
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VoltaggioTrifase 380V
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Temperatura dell'acqua di raffreddamento5-30 ° C.
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Flusso dell'acqua di raffreddamento≥4 l/min
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Flusso di spurgo N212-50 l/min
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Connessione di ingressoISO100
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Connessione di uscitaKF25
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Livello di rumore≤63dB(A)
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Peso260 kg
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Dimensioni (L × W × H)865×344×751 mm
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Interfaccia di controlloI/O e RS485 (protocollo Modbus)
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Sistema di tenutaGuarnizione a labbro + Guarnizione a labirinto con spurgo N2
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Compatibilità del gasGas di processo infiammabili, esplosivi e condensabili
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Luogo di origineCina
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MarcaGRM
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CertificazioneISO 9001:2015, ISO 14001:2015, ISO 45001:2018
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Numero di modelloGRM601
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Quantità di ordine minimo1 set
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PrezzoUSD 8,000-13,000 / Set
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Imballaggi particolariCustodia in compensato per esportazione con barriera contro l'umidità sigillata sotto vuoto e in
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Tempi di consegna15-30 giorni lavorativi
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Termini di pagamentoT/T, L/C, Western Union
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Capacità di alimentazione300 set al mese
GRM601 600 M3/H pompa a vuoto secca ISO100 KF25
GRM601 Pompa a vuoto a secco
La pompa GRM601 è una pompa a vuoto a secco da 600 m3/h che offre un basso consumo energetico e un'elevata velocità di pompaggio.e processi di semiconduttori SIC-CVD.
Caratteristiche chiave
- Motore sincrono a magnete permanente ¢ Offre un'efficienza energetica superiore con un basso consumo di energia leader nel settore.
- Struttura avanzata del rotore capacità di estrazione della polvere migliorata garantisce un funzionamento affidabile in ambienti di processo ad alto contenuto di particolato.
- Tollerante alla polvere e al vapore acqueo- Insensibile alla polvere e al vapore acqueo trasportati nel flusso di gas pompato.
- Progettazione compatta e integrata¢ Piccola presenza di prodotti con elevata integrazione del sistema per una facile installazione in ambienti di fabbrica affollati.
- Protezione completa- funzioni di protezione integrate con una forte capacità di adattamento a diverse condizioni di processo.
- Basse vibrazioni e rumore¢ Funzionamento a ≤ 63 dB (A) a pressione massima per un ambiente di lavoro più silenzioso.
- Sistema di sigillamento avanzatoIl sigillo dei labbra e il sigillo del labirinto combinati con la purga di azoto impediscono efficacemente il ritorno dell'olio, mantenendo un'elevata pulizia del vuoto nella camera di processo.
- Controllo e monitoraggio a distanzaSupporta l'interfaccia I/O e la comunicazione RS485 (protocollo Modbus) per l'integrazione senza soluzione di continuità nei sistemi di automazione di fabbrica.
- Compatibile con i gas pericolosi¢ funzionamento sicuro con gas infiammabili, esplosivi e condensabili.
Specifiche tecniche
| Parametro | Specificità |
|---|---|
| Velocità di pompaggio | 600 m3/h |
| La massima pressione | ≤ 0,15 Pa |
| Potenza nominale | 10,9 + 1,9 kW |
| Voltaggio | 380V trifase |
| Pressione dell'acqua di raffreddamento | 0.2-0.6 MPa |
| Flusso dell'acqua di raffreddamento | ≥ 4 L/min |
| Temperatura dell'acqua di raffreddamento | 5-30 °C |
| Connessione dell'acqua di raffreddamento | G3/8 |
| N2 Pressione di depurazione | 0.2-0.6 MPa |
| Flusso di depurazione di N2 | 12-50 l/min |
| Connessione di depurazione N2 | G1/4 |
| Connessione di ingresso | ISO100 |
| Connessione di presa | KF25 |
| Livello di rumore | ≤ 63 dB (A) |
| Ambiente operativo | 5 ~ 40 °C; ≤ 80% RH |
| Peso | 260 kg |
| Dimensioni (L*W*H) | 865*344*751 mm |
Processi di applicazione
Processi puliti
Lavoratori, trasferitori, metrologi, litografi
Processi medi
Processo PVD, Prepulizia PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch di ossido, Etch di silicio, Fonte di impianto, Etch di metallo
Processi difficili
Dati di riferimento per la determinazione del valore di riferimento
Industria bersaglio
- di potenza superiore a 50 WApplicazioni di incisione, impianto ionico, CVD, PECVD, MOCVD e SIC-CVD in processi puliti/medi/duro.
- Fotovoltaico:Forni per la crescita dei cristalli, processi di produzione delle cellule.
- Batteria al litio:Processi di asciugatura a vuoto delle celle, riempimento di elettroliti e disgasamento.
- Display a schermo piatto e LED:Processi di fabbricazione che richiedono ambienti sotto vuoto ad alta pulizia.
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