La GRH6001 è una pompa per vuoto a secco ad alta capacità da 6000 m³/h progettata per linee di produzione di semiconduttori e fotovoltaico su larga scala. È dotata di una camera di pompaggio oil-free, ingombro ridotto e basso consumo energetico per applicazioni esigenti ad alto volume.
| Parametro | Specifiche |
|---|---|
| Velocità di pompaggio | 6000 m³/h |
| Pressione finale | ≤0.5 Pa |
| Potenza nominale | 11+7.5 kW |
| Tensione | 380V trifase |
| Pressione acqua di raffreddamento | 0.2-0.6 MPa |
| Flusso acqua di raffreddamento | ≥11 L/min |
| Temperatura acqua di raffreddamento | 5-30 °C |
| Attacco acqua di raffreddamento | G3/8 |
| Pressione purga N2 | 0.2-0.6 MPa |
| Flusso purga N2 | 43-123 L/min |
| Attacco purga N2 | G1/4 |
| Attacco di ingresso | ISO250 |
| Attacco di uscita | KF40 |
| Livello di rumore | ≤70 dB(A) |
| Ambiente operativo | 5~40°C; ≤80% RH |
| Peso | 846 kg |
| Dimensioni (L*L*A) | 1076*516*988 mm |
Load-Lock, Trasferimento, Metrologia, Litografia
Processo PVD, Pre-pulizia PVD, RTA, Strip/Ashing, Etch ossido, Etch silicio, Sorgente di impianto, Etch metallo
HDP-CVD, RTP, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD