logo
SUZHOU KACO VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD. scorpiosyy@foxmail.com
GRM41 Dry Vacuum Pump System 600 L/min KF40 PMSM Energy Efficient Drive for Semiconductor Vacuum Coating

GRM41 Σύστημα αντλίας στεγνής κενού 600 L/min KF40 PMSM Ενεργειακά αποδοτικός κινητήρας για κάλυψη κενού ημιαγωγών

  • Επισημαίνω

    Σύστημα αντλίας στεγνής κενού GRM41

    ,

    Πυρηνικά αποδοτική αντλία κίνησης PMSM

    ,

    Λύση επικαλύψεως με κενό ημιαγωγών

  • Μοντέλο
    GRM41
  • Τύπος
    Σύστημα αντλίας κενού ξηρού
  • Μέγιστη Ταχύτητα Άντλησης
    600 L/min (36 m³/h)
  • Τελική πίεση (Άνοιγμα έρματος αερίου)
    ≤10 Pa
  • Τελική πίεση (Έρμα αερίου κλειστό)
    ≤1 Pa
  • Μέγιστη συνεχής πίεση εισόδου
    1000 mbar
  • Πίεση καυσαερίων
    ≤3000 Pa
  • Ισχύς κινητήρα
    0,75 kW
  • Τύπος κινητήρα
    ΠΜΣΜ (Μόνιμος μαγνητικός συγχρονιστικός κινητήρας)
  • Τροφοδοτικό
    200-240V, Μονοφασικό, 50/60Hz
  • Ονομαστικό ρεύμα
    2.4 Α
  • Σύνδεση εισόδου
    KF40
  • Σύνδεση πρίζας
    KF25
  • Σύνδεση έρματος αερίου
    PT1/4
  • Πίεση έρματος αερίου
    0,02-0,05 MPa
  • Μέγιστη χωρητικότητα υδρατμών
    350 g/h
  • Επίπεδο θορύβου
    ≤ 65 dB
  • Όγκος λαδιού
    0,25 Λ
  • Βάρος
    54 kg
  • Διαστάσεις
    630×347×400 χλστ
  • Κατηγορία Προστασίας
    IP20D
  • Διασύνδεση ελέγχου
    RS485 Απομακρυσμένη παρακολούθηση
  • Θερμοκρασία περιβάλλοντος
    5-40 °C
  • Τόπος καταγωγής
    Zhejiang, Κίνα
  • Μάρκα
    OEM
  • Αριθμό μοντέλου
    GRM41
  • Ποσότητα παραγγελίας min
    1 σετ
  • Τιμή
    negotiable
  • Συσκευασία λεπτομέρειες
    Θήκη από κόντρα πλακέ ποιότητας εξαγωγής με ένθετο αφρού με προστασία από κραδασμούς και φράγμα υγρα
  • Χρόνος παράδοσης
    15-30 εργάσιμες ημέρες μετά την επιβεβαίωση της παραγγελίας
  • Όροι πληρωμής
    T/T
  • Δυνατότητα προσφοράς
    200 σετ το μήνα

GRM41 Σύστημα αντλίας στεγνής κενού 600 L/min KF40 PMSM Ενεργειακά αποδοτικός κινητήρας για κάλυψη κενού ημιαγωγών

Σύστημα ξηρής αντλίας κενού GRM41

Το GRM41 είναι ένα σύστημα ξηρής αντλίας κενού υψηλής απόδοσης χωρίς λάδι, σχεδιασμένο για απαιτητικές διαδικασίες κενού υψηλής καθαρότητας στην κατασκευή ημιαγωγών, την παραγωγή φωτοβολταϊκών κυττάρων και την κατασκευή οθονών επίπεδης επιφάνειας. Εξοπλισμένο με ενεργειακά αποδοτική μονάδα κίνησης PMSM (Μόνιμου Μαγνήτη Σύγχρονος Κινητήρας) με ισχύ εξόδου 0,75 kW, αυτό το συμπαγές σύστημα επιτυγχάνει εντυπωσιακή μέγιστη ταχύτητα άντλησης 600 L/min (36 m³/h) με τελική πίεση ≤1 Pa. Η ενσωματωμένη διεπαφή απομακρυσμένης παρακολούθησης RS485 επιτρέπει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε αυτοματοποιημένα περιβάλλοντα παραγωγής.

Βασικά Χαρακτηριστικά

  • Ενεργειακά Αποδοτική Μονάδα Κίνησης PMSM: Η τεχνολογία σύγχρονου κινητήρα μόνιμου μαγνήτη προσφέρει ανώτερη ενεργειακή απόδοση με κατανάλωση ισχύος 0,75 kW, μειώνοντας το λειτουργικό κόστος διατηρώντας υψηλή απόδοση.
  • Λειτουργία Ξηρού κενού χωρίς Λάδι: Κανένας κίνδυνος μόλυνσης από λάδι στους θαλάμους διεργασιών, εξασφαλίζοντας συνθήκες κενού εξαιρετικά καθαρές, απαραίτητες για την κατασκευή ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών.
  • Υψηλή Απόδοση Κενού: Επιτυγχάνει τελική πίεση ≤1 Pa (με κλειστή βαλβίδα αερίου) και ≤10 Pa (με ανοιχτή βαλβίδα αερίου), κατάλληλη για απαιτητικές εφαρμογές υψηλού κενού.
  • Ενσωματωμένο Σύστημα Βαλβίδας Αερίου: Η ενσωματωμένη βαλβίδα αερίου με σύνδεση PT1/4 διαχειρίζεται υδρατμούς έως 350 g/h, αποτρέποντας τη συμπύκνωση και παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής της αντλίας.
  • Απομακρυσμένη Παρακολούθηση RS485: Η έξυπνη διεπαφή ελέγχου υποστηρίζει απομακρυσμένη λειτουργία, παρακολούθηση παραμέτρων και διαγνωστικές δυνατότητες για ενσωμάτωση στην Βιομηχανία 4.0.
  • Συμπαγής Ελαφρύς Σχεδιασμός: Οι διαστάσεις 630*347*400mm και το βάρος μόλις 54 kg επιτρέπουν εύκολη εγκατάσταση σε χώρους καθαρού δωματίου με περιορισμένο χώρο.
  • Λειτουργία Χαμηλού Θορύβου: Επίπεδο θορύβου ≤65 dB με ενσωματωμένο σιγαστήρα και βαλβίδα αντεπιστροφής, εξασφαλίζοντας άνετα περιβάλλοντα εργασίας.
  • Στιβαρή Κατασκευή: Περίβλημα από κράμα αλουμινίου και χυτοσίδηρο με στεγανοποιητικά στοιχεία από φθοροελαστομερές (FKM) εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη αξιοπιστία και χημική συμβατότητα.
  • Διεπαφές Προτύπου KF: Συνδέσεις εισόδου KF40 και εξόδου KF25 για γρήγορη συναρμολόγηση χωρίς εργαλεία με τυπικά εξαρτήματα κενού.

Τεχνικές Προδιαγραφές

ΠαράμετροςΠροδιαγραφή
ΜοντέλοGRM41
ΤύποςΣύστημα Ξηρής Αντλίας Κενού
Μέγιστη Ταχύτητα Άντλησης600 L/min (36 m³/h)
Τελική Πίεση (Ανοιχτή Βαλβίδα Αερίου)≤10 Pa
Τελική Πίεση (Κλειστή Βαλβίδα Αερίου)≤1 Pa
Μέγιστη Συνεχής Πίεση Εισόδου1000 mbar
Πίεση Εξόδου≤3000 Pa
Ισχύς Κινητήρα0,75 kW
Τύπος ΚινητήραPMSM (Σύγχρονος Κινητήρας Μόνιμου Μαγνήτη)
Τροφοδοσία Ρεύματος200-240V, Μονοφασικό, 50/60Hz
Ονομαστικό Ρεύμα2,4 A
Σύνδεση ΕισόδουKF40
Σύνδεση ΕξόδουKF25
Σύνδεση Βαλβίδας ΑερίουPT1/4
Πίεση Βαλβίδας Αερίου0,02-0,05 MPa
Μέγιστη Χωρητικότητα Υδρατμών350 g/h
Επίπεδο Θορύβου≤65 dB
Όγκος Λαδιού0,25 L
Βάρος54 kg
Διαστάσεις (Μ*Π*Υ)630*347*400 mm
Κλάση ΠροστασίαςIP20D
Διεπαφή ΕλέγχουΑπομακρυσμένη Παρακολούθηση RS485
Θερμοκρασία Περιβάλλοντος5-40 °C

Τυπικές Εφαρμογές

  • Επεξεργασία και κατασκευή πλακετών ημιαγωγών
  • Παραγωγή φωτοβολταϊκών κυττάρων (PVD, PECVD, χάραξη)
  • Παραγωγή οθονών επίπεδης επιφάνειας και OLED
  • Επίστρωση κενού και εναπόθεση λεπτών υμενίων
  • Συστήματα υψηλού κενού για έρευνα και εργαστήρια
  • Βιομηχανία λέιζερ και οπτικών
  • Αντλία υποστήριξης αναλυτικών οργάνων
  • Εκκένωση θαλάμου φορτίου